본문 바로가기 주메뉴 바로가기
22대 대한민국 국회 국회정보길라잡이 국회의원검색
회원가입 로그인
HOME

정보검색

소장정보 검색

국회도서관 홈으로 정보검색 소장정보 검색

결과 내 검색

동의어 포함

고급검색

인명/단체명

저자정보 상세정보
인명/단체명을 입력하세요.

키워드

  • 대표어

  • 외국어

-

초록보기

O- and Zn-polar ZnO films were grown by DC magnetron sputtering. Growth of high-quality, single-crystal ZnO thin films were confirmed by XRD and pole figure analysis. O-polar ZnO was grown on an Al2O3 substrate, which was confirmed by a slow growth rate (378 nm/hr), a fast etching rate (59 nm/min), and by the hillocks on the surface after etching. Zn-polar ZnO was grown on a GaN/Al2O3 substrate, which was confirmed by a fast growth rate (550 nm/hr), a slow etching rate (28 nm/min), and by pits on the surface after etching. Results from the present study show that it is possible to use DC-sputtering to grow ZnO film with the same polarity as other epitaxial growth methods.

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
Growth of O- and Zn-polar ZnO films by DC magnetron sputtering Jinyeop Yoo, Sungkuk Choi, Soohoon Jung, Youngji Cho, Sangtae Lee, Gyungsuk Kil, Hyunjae Lee, Takafumi Yao, Jiho Chang pp.1-4

선택성장영역 크기에 따른 InGaN/GaN 다중양자우물 청색 MOCVD-발광다이오드 소자의 특성 배선민, 전헌수, 이강석, 정세교, 윤위일, 김경화, 양민, 이삼녕, 안형수, 김석환 [외] pp.5-10

HVPE에 의해 성장된 AlGaN epi layer의 특성 정세교, 전헌수, 이강석, 배선민, 윤위일, 김경화, 이삼녕, 양민, 안형수, 김석환 [외] pp.11-14

Effect of annealing temperature on amorphous indium zinc oxide thin films prepared by a sol-gel spin-coating method Sang-Hyun Lee, Seung-Yup Lee, Byung-Ok Park pp.15-18

동시 증착 스퍼터링 공정에 의해 증착된 Pd-barium zirconate membrane의 구조분석 변명섭, 강은태, 조우석, 김진호, 황광택 pp.19-24

Synthesis of SnO₂nanowires on one-dimensional carbonization cotton fabric Tran Van Khai, Kwang Bo Shim pp.25-28

Importance of convection during physical vapor transport of Hg₂Cl₂in the presence of Kr under environments of high gravitational accelerations Geug-Tae Kim pp.29-35

감마선 조사된 남양진주의 검지 최현민, 이보현, 김영출 pp.36-41

천연 보석의 광학 현상적 digital patterning과 벽면 조형을 위한 interior modeling으로의 design 전개 김은주 pp.42-50

MA법에 의한 V-Co계 비정질합금의 제조 및 구조분석 이충효 pp.51-56

LAS(β-spodumene)와 Fe₂O₃ 첨가에 따른 Al₂TiO₅의 소결체 특성 연구 김상훈, 강은태, 김응수, 황광택, 조우석 pp.57-63

참고문헌 (15건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 1 ] T. Dethprohm, K. Hiramatsu, H. Amano and I. Akasaki, “"Hydride vapor phase epitaxial growth of a high quality GaN film using a ZnO buffer layer”", Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 2688. 미소장
2 The growth of thick GaN film on sapphire substrate by using ZnO buffer layer 네이버 미소장
3 Hydride vapor phase epitaxy growth of GaN on sapphire with ZnO buffer layers 네이버 미소장
4 4 ] S.W. Lee, T. Minegishi, W.H. Lee, H. Goto, H.J. Lee, S.H. Lee, H.-J. Lee, J.S. Ha, T. Goto, T. Hanada, M.W. Cho and T. Yao, “"Strain-free GaN thick films grown on single crystalline ZnO buffer layer with in situ lift-off technique”", Appl. Phys. Lett. 90 (2007) 061907. 미소장
5 The grain size effects on the photoluminescence of ZnO/α-Al2O3 grown by radio-frequency magnetron sputtering 네이버 미소장
6 6 ] J.-H. Lim, C.-K. Kang, K.-K. Kim, I.-K. Park, D.-K. Hwang and S.-J. Park, “V electroluminesecence emission from ZnO light-emitting diodes grown by hightemperature radiofrequency sputtering” Adv. Mater. 18 (2006) 2720. 미소장
7 X. Gu, M.A. Reshchikov, A. Teke, D. Johnstone, H. Morkoc, B. Nemeth and J. Nause, “GaN epitaxy on thermally treated c-plane bulk ZnO substrates with O and Zn faces”, Appl. Phys. Lett. 84 (2004) 2268. 미소장
8 R. Cebulla, R. Wendt and K. Ellmer, “Al-doped zinc oxide films deposited by simultaneous rf and dc excitation of a magnetron plasma: Relationships betweenm plasma parameters and structural and electrical film properties”, J. Appl. Phys. 83 (1998) 1087. 미소장
9 The grain size effects on the photoluminescence of ZnO/α-Al2O3 grown by radio-frequency magnetron sputtering 네이버 미소장
10 X. Wang, Y. Tomita, O.H. Roh, M. Ohsugi, S.B. Che, T. Ishtani and A. Yoshikawa, “Polarity control of ZnO films grown on nitrided c-sapphire by molecular-beam epitaxy”, Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 011921. 미소장
11 H. Tampo, P. Fons, A. Yamada, K.K. Kim, H. Shibata, K. Matsubara, S. Niki, H. Yoshikawa and H. Kanie,“Determination of crystallographic polarity of ZnO layers”, Appl. Phys. Lett. 87 (2005) 141904. 미소장
12 Growth of Polarity-Controlled ZnO Films on (0001) Al2O3 네이버 미소장
13 H. Kato, M. Sano, K. Miyamoto and T. Yao, “Polarity control of ZnO on c-plane sapphire by plasma-assisted MBE”, J. Cryst. Growth 275 (2005) e2459. 미소장
14 Effects of oxygen plasma condition on MBE growth of ZnO 네이버 미소장
15 J.H. Park, S.J. Jang, S.S. Kim and B.T. Lee, “Growth and characterization of single crystal ZnO thin films using inductively coupled plasma metal organic chemical vapor deposition”, Appl. Phys. Lett. 89 (2006) 121108. 미소장

추천서가 (다양한 추천 자료를 만나보세요)

권호기사보기

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 기사목차

권호

기사명 원문보기 기사목차
닫기