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| 번호 | 참고문헌 | 국회도서관 소장유무 |
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| 1 | Micromachined inertial sensors ![]() |
미소장 |
| 2 | Inertial sensor technology trends ![]() |
미소장 |
| 3 | A vacuum packaged surface micromachined resonant accelerometer ![]() |
미소장 |
| 4 | A resonant accelerometer with two-stage microleverage mechanisms fabricated by SOI-MEMS technology ![]() |
미소장 |
| 5 | A CMOS Readout Circuit for SOI Resonant Accelerometer With 4-$\mu \rm g$ Bias Stability and 20-$ \mu\rm g/\sqrt{{\hbox{Hz}}}$ Resolution ![]() |
미소장 |
| 6 | O. Le Traon, D. Janaiud, B. Lecorre, M. Pernice, S. Muller, and J.-Y Tridera, “Monolithic differential vibrating beam accelerometer within an isolating system between the two resonators”, Proc. IEEE Sensors Conf., pp. 648-651, Irvine, CA, USA, 2005. | 미소장 |
| 7 | Inertial-grade in-plane resonant silicon accelerometer ![]() |
미소장 |
| 8 | W. C. Young and R. G. Budynas, Roark's Formulas for Stress and Strain (7th Edition), McGraw-Hill, New York, p. 229, 2002. | 미소장 |
| 9 | SOI bonded wafer process for high precision MEMS inertial sensors ![]() |
미소장 |
| 10 | Stress characteristics of multilayer polysilicon for the fabrication of micro resonators | 소장 |
| 11 | A Study on the Fabrication of the Lateral Accelerometer using SOG(Silicon On Glass) Process | 소장 |
| 12 | Residual stress and mechanical properties of boron-doped p +-silicon films ![]() |
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