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The present study covers the ultrasonic patterning process to replicate micro-patterns on a polymer substrate. The ultrasonic patterning process uses ultrasonic waves to generate frictional heat between an ultrasonic horn and the polymer substrate, from which the surface region of the polymer substrate is softened sufficiently for the replication of micro-patterns. The ultrasonic patterning process can divided into two categories according to the direction of vibration transmission: direct patterning and indirect patterning. The direct patterning uses a patterned horn, and the ultrasonic vibration is transferred directly from the patterned horn to the substrate. On the contrary, the indirect patterning process uses a plain horn, and the micro-patterns are engraved on a mold that is located below the substrate. Thus, the micro-patterns are replicated as an indirect manner. In this study, these direct and indirect patterning processes are compared in terms of the replication characteristics. Additionally, the possibility of double-side patterning is also discussed in comparison with the conventional single-side patterning process.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
전자기 유도 방식을 이용한 비접촉식 2차원 위치 센서 유영기, 고국원, 김학수 pp.1159-1163

디스플레이 패널에 집적이 가능한 적외선 포토센서 전호식, 허양욱, 이재표, 한상윤, 배병성 pp.1164-1169

LED Lens의 이심률에 따른 출광 특성 김영철, 유종선 pp.1170-1173

온도에 따른 저항 변화를 보상한 전압 측정 방법 민상준, 김진성 pp.1174-1177

탈황 설비용 유기 라이너의 평가 송요승, 권현옥, 조남인 pp.1178-1182

마이크로캐비티 OLED의 전극과 유기물층 두께가 발광 스펙트럼에 미치는 영향 김창교, 한가람, 김일영, 홍진수 pp.1183-1189

격자형 금형의 냉각효과를 고려한 구형 LNG 탱크용 대형 알루미늄 후판의 열간성형해석 이정민, 이인규, 김대순, 권일근, 이성봉, 김병민 pp.1190-1198

가속도센서와 각속도센서를 이용한 특정 비정상보행에 관한 연구 허근섭, 양승한, 이상룡, 이종규, 이춘영 pp.1199-1206

실험계획법을 이용한 3 자유도 마이크로 병렬기구 플랫폼의 제어 이득 선정 서태원 pp.1207-1213

진동절삭기 구성을 위한 자기변형 재료의 진동 특성 규명 이호철, 김기대 pp.1214-1220

미세 부품 성형을 위한 소형 마이크로 성형시스템 개발 및 재료의 변형 거동 고찰 남정수, 박일구, 이상원, 김홍석 pp.1221-1227

다중재질 접합구조의 등가물성을 이용한 효과적 냉장고 구조 변형 분석에 관한 연구 박정현, 이동규, 박상후, 박기홍, 하병국, 김형식 pp.1228-1235

대형 픙력로터시스템의 정적 공탄성해석을 위한 등가강성모델링 기법 적용에 관한 연구 차진현, 구태완, 김정, 강범수, 송우진 pp.1236-1244

생체구조를 모방한 다층복합재료의 이방성 유효탄성계수 및 저속 충격 해석 이종원, 범현규 pp.1245-1255

초음파 성형시 진동전달 방향에 따른 미세패턴의 전사특성 고찰 서영수, 이기연, 조영학, 박근 pp.1256-1263

참고문헌 (10건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Ultrasonic welding of ceramics/metals using inserts 네이버 미소장
2 Fernandez, V. I. and Bersee, H. E. N., “Ultrasonic welding of advanced thermoplastic composites: An investigation on energy-directing surfaces,” Adv. Polym. Techol., Vol. 29, No. 2, pp. 112-121, 2010. 미소장
3 Hot embossing precise structure onto plastic plates by ultrasonic vibration 네이버 미소장
4 Nanoimprint Lithography Combined with Ultrasonic Vibration on Polycarbonate 네이버 미소장
5 Ultrasonic Nanoimprint on Poly(ethylene terephthalate) at Room Temperature 네이버 미소장
6 Ultrasonic Hot Embossing 네이버 미소장
7 Effects of mold geometries and imprinted polymer resist thickness on ultrasonic nanoimprint lithography 네이버 미소장
8 Direct patterning of micro-features on a polymer substrate using ultrasonic vibration 네이버 미소장
9 Seo, Y. S. and Park, K., “Finite element analysis of an ultrasonic tool horn for pattern forming,” J. of the KSPE, Vol. 28, No. 3, pp. 363-369, 2011. 미소장
10 Effect of Material Flow Direction on the Replication Characteristics of the Ultrasonic Patterning Process 소장

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