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We report a Fabry-Perot interferometer (FPI)-based multi-channel micro-spectrometer used for multi-gas measurement in the spectral range of 3-5 m and its gas sensing performance. The fabricated infrared (IR) spectrometer consists of two parts: an FPI on the top side for selective IR filtering and a V2O5-based IR detector array on the bottom side for the detection of the filtered IR. Experimental results show that the FPI-based multi-channel gas sensor has reliability and selectivity for simultaneously detecting environmentally harmful gases such as CH4, CO2, N2O and CO in the spectral range of 3-5 m. The fabricated FPI-based multi-channel gas sensor also demonstrated that a reliable and selective detection of gas concentrations ranging from 0 to 500 ppm is feasible. In addition, the electrical characteristics demonstrate a superior response performance in regards to the selectivity in the multi-target gases.

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
Bond strength of TiO₂coatings onto FTO glass for a dye-sensitized solar cell Deuk Yong Lee, Jin-Tae Kim, Young-Hun Kim, In-Kyu Lee, Myung-Hyun Lee, Bae-Yeon Kim pp.395-401

A multi-channel gas sensor using Fabry-Perot interferometer-based infrared spectrometer Ju Chan Choi, June Kyoo Lee, Seong Ho Kong pp.402-407

Dispersive delay lines based on the use of narrow open metal reflectors and fan-shaped transducers K.C. Lee, V.P. Plessky, S.M. Balashov, C.W. Nam, C.U. Kim pp.408-412

A wide dynamic range CMOS image sensor based on a pseudo 3-transistor active pixel sensor using feedback structure Myunghan Bae, Sung-Hyun Jo, Minho Lee, Ju-Yeong Kim, Jinhyeon Choi, Pyung Choi, Jang-Kyoo Shin pp.413-419

상대습도계의 온도 의존성과 경년변화의 통계적 분석 김종철, 최병일, 우상봉, 양인석 pp.420-424

나노입자가 코팅된 그래핀 기반 수소센서의 제작과 그 특성 김강산, 정귀상 pp.425-428

가시광통신 시스템에서 2색 LED를 이용한 잡음광의 영향 감소 이성호 pp.429-433

엔진 오일의 열화 감지를 위한 드레인 밸브 일체형 센서 김재화, 박세광 pp.434-439

마이크로 머시닝으로 제작한 기계적 가이드를 갖는 정전용량 선형 인코더 강대실, 문원규 pp.440-445

초음파 및 수열처리법에 의한 ZnO/SnO₂센서의 저농도 VOC 감응특성 유준부, 도승훈, 변형기, 허증수 pp.446-450

다공성 Cr₂O₃나노육각기둥을 이용한 C₂H_5_OH 센서 정현묵, 이종흔 pp.451-455

Au/SnO₂core-shell 나노구조 센서의 구동온도가 CO 감도에 미치는 영향 유연태 pp.456-460

참고문헌 (10건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 D. Cristea, M. Kusko, R. Muller, E. Manea, and D. Syvridis, “Design and experiments for tunable optical sensor fabrication using (111)-oriented silicon micromachining”, Sens. Actuators A, Vol. 113, pp. 312- 318, 2004. 미소장
2 A. T. T. D. Tran, Y. H. Lo, Z. H. Zhu, D. Haronian, and E. Mozdy, “Surface micromachined Fabry-Perot tunable filter”, IEEE Photonic Tech Letters, Vol. 8, pp. 393-395, 1996. 미소장
3 L. y. Lin, J. L. Shen, M. C. Uw, and A. M. Sergent,“Tunable three-dimensional solid Fabry-Perot etalonsfabricated by surface-micromachining”, IEEE PhotonicTech Letters, Vol. 8, pp. 101-103, 1996. 미소장
4 M. Noro, K. Suzuki, N. Kishi, H. Hara, T. Watanabe, and H. Iwaoka, “CO2/H2O gas sensor using a tunable Fabry-Perot filter with wide wavelength range”, Proc. of IEEE conf. on Micro Electro Mechanical Systems, pp. 319-322, Kyoto, Japan, 2003. 미소장
5 C. Calaza, L. Fonseca, M. Moreno, S. Marco, C. Cane, and I. Gracia, “A surface micromachining process for the development of a medium-infrared tunable Fabry- Perot interferometer”, Sens. Actuators A, Vol. 113, pp. 39-47, 2004. 미소장
6 Progress with optical gas sensors using correlation spectroscopy 네이버 미소장
7 Electrically tuneable micromachined fabry-perot interferometer in gas analysis 네이버 미소장
8 Design of CO, CO 2 and CH 4 gas sensors based on correlation spectroscopy using a Fabry–Perot interferometer 네이버 미소장
9 H. Ding, j. Liang, J. Cui, and X. Wu, “A novel fiber Fabry-Perot filter based mixed-gas sensing system”, Sens. Actuators B, Vol. 138, pp. 154-159, 2009. 미소장
10 Micro-Electro-Mechanical-Systems-Based Infrared Spectrometer Composed of Multi-Slit Grating and Bolometer Array 네이버 미소장

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