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In this study, a high performance rotary magnet type magnetron source for roll-to-roll sputter system has been developed. We analyzed the density of magnetic field as a function of size variation of the magnet which are in the center and edge of the target. The target efficiency showed the best result when the width of center magnet, the width of edge magnet, the angle of edge magnet, and the rotation angle of Yoke are 20mm, 10mm, 56° , and 16°, respectively. On the basis of the results of magnet array, Roll-to Roll magnetron source was fabricated and tested. The uniformity of the film thickness and that of the sheet resistance was ±1.62% and ±4.13%, and the resistivity was 2.79× 10-3 Ω·㎝.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
결정질 실리콘 태양전지를 위한 고주파 PECVD SiNx막 연구 김정환, 서화일, 노시철, 최정호, 정종대 pp.7-11

대면적 플랙시블 기판용 회전자석형 마그네트론 소스 개발 조찬섭, 이종현, 윤성호, 김봉환, 김광태, 정영철 pp.1-6

탄소주입 실리콘 산화막 위에 성장한 투명전극 ZnO박막의 광학적 특성 오데레사 pp.13-16

웨이퍼 이송 로봇의 잔류진동 저감을 위한 입력성형 기법의 적용 안태길, 김국원, 임재철, 김성근 pp.33-38

LGT를 이용한 고온, 고압용 동압 센서 개발 권혁제, 이영태, 이경일, 김동수, 김영덕 pp.17-21

중공형 구형 은입자의 함량변화에 따른 에폭시 수지조성물의 전도특성 연구 김환건, 임륜우 pp.23-26

그레이스케일 영상에서 표준 편차를 이용한 문자 분할 정민철 pp.27-31

TRIZ(6SC)를 활용한 잉곳 인상모듈 및 실리콘 단결정 잉곳 제조장치의 창의적 설계 홍성도, 허용정 pp.1-6

공압출 다층 플라스틱 필름 라인을 위한 결함 검사 시스템 한종우, 최영규, 무하마드 타릭 마흐무드 pp.45-51

InP 식각정지층을 갖는 InAlAs/InGaAs/GaAs MHEMT 소자의 항복 특성 시뮬레이션에 관한 연구 손명식 pp.53-57

Equipment Fan Filter Unit(EFFU)의 Particle 제거 성능평가 방법 이양우, 안강호 pp.59-62

진공 솔더링 공정 중 웨이퍼 온도균일화 제어 강민식, 지원호, 윤우현 pp.63-69

Si-adhesive 층의 불량에 따른 정전척 온도분포 이기석 pp.71-74

충격보강제가 보강된 PPS(polyphenylene sulfide)/MWCNT(multi-walled carbon nanotube) 나노복합체의 물성연구 박지수, 남병욱, 김승범 pp.75-80

부착 질량을 가지는 탐침 탄소-나노튜브 공진기의 모델링 및 시뮬레이션 최태호, 김태은, 이준하 pp.81-84

PLC와 CF메모리를 이용한 FAT32 파일시스템 구현 김명균, 양오, 정원섭 pp.85-91

참고문헌 (9건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Transparent films on polymers for photovoltaic applications 네이버 미소장
2 C. Guille´n and J. Herrero, "Comparison study of ITO thin films deposited by sputtering at room temperature onto polymer and glass substrates," Thin Solid Films Vol. 480–481, pp. 129–132, 2005. 미소장
3 Permeation barrier properties of thin oxide films on flexible polymer substrates 네이버 미소장
4 Characteristics of flexible indium tin oxide electrode grown by continuous roll-to-roll sputtering process for flexible organic solar cells 네이버 미소장
5 J. T. Hawton, Jr. et al,, U.S. Patent 4,179,351, Dec. 18, 1979. 미소장
6 J. N. W. Parker et al,, U.S. Patent 5,242,566, Sep. 7, 1993. 미소장
7 Anderson et al., U.S. Patent 4,995,958, Feb.26, 1991. 미소장
8 Harra et al., US 5,417,833 May 23, 1995. 미소장
9 디보스체르윌머트, 한국특허등록 10-0570334, 2006년 4월. 미소장

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