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반도체 제조공정에서 양자전이 비행시간 질량분석기를 이용한 Trimethylsilanol 분석 방법에 대한 연구 = A Study on the Trimethylsilanol Analysis Method of Semiconductor Processing using a Proton Transfer Reaction : Time of Flight Mass Spectrometer / 김정호 ; 박진수 ; 민철현 ; 김소영 ; 윤관훈 ; 김신도 1

Abstract 1

요약문 1

I. 서론 2

II. 연구내용 및 방법 2

1. PTR-ToFMS 2

2. PTR-ToFMS 질량교정 4

3. 이온의 통과율(transmission rate)의 측정 및 보정 4

4. Trimethylsilanol(TMS) 시료 및 분석방법 6

III. 측정 및 분석결과 7

1. TMS 질량스펙트럼 특성 7

2. 이동도관 전장강도 변화에 따른 TMS 검출 특성 7

V. 결론 9

References 10

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
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반도체 제조공정에서 양자전이 비행시간 질량분석기를 이용한 Trimethylsilanol 분석 방법에 대한 연구 = A Study on the Trimethylsilanol Analysis Method of Semiconductor Processing using a Proton Transfer Reaction : Time of Flight Mass Spectrometer 김정호, 박진수, 민철현, 김소영, 윤관훈, 김신도 pp.85-95

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참고문헌 (18건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

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번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Defectivity decrease in the photolithography process by AMC level reduction through implementation of novel filtration and monitoring solutions 네이버 미소장
2 Lobert, J. M., Cate, P. W., Ruede, D. J., Wildgoose, J. R., Miller, C. M., and Gaudreau, J. C., “Advances in the understanding of low molecular weight silicon formation andimplications for control by AMC filters,” Proceeding SPIE, 7638, 763832 (2010). 미소장
3 Monitoring of organic contamination in the ambient air of microelectronic clean room by proton-transfer reaction/time-of-flight/mass spectrometry (PTR–ToF–MS) 네이버 미소장
4 High time and mass resolved PTR-TOF-MS measurements of VOCs at an urban site of India during winter: Role of anthropogenic, biomass burning, biogenic and photochemical sources 네이버 미소장
5 Characteristics of Oxygenated-VOCs and Oxidation of Organic Component in PM_1.0_ at an Urban Site of Seoul during June, 2014 소장
6 A compact PTR-ToF-MS instrument for airborne measurements of volatile organic compounds at high spatiotemporal resolution 네이버 미소장
7 Observations of nonmethane organic compounds during ARCTAS − Part 1: Biomass burning emissions and plume enhancements 네이버 미소장
8 Kassebacher, T., Sulzer, P., Jürschik, S., Hartungen, E., Jordan, A., Edtbauer, A., Feil, S., Hanel, G., Jaksch, S., Märk, L., Mayhew, C. A., and Märk, T. D., “Investigations of chemical warfare agents and toxic industrial compounds with proton-transferreaction mass spectrometry for a real-time threat monitoring scenario,” Rapid Communications in Mass Spectrometry, 27, 325-332 (2015). 미소장
9 Analysis of Chemical Accident Causing Substances using PTR-TOF-MS -Case Study of Chemical Accident by Reaction Process with Epoxy and Acrylic Acid- 네이버 미소장
10 Comparison of BVOC Fluxes between Forest and Atmosphere with Different Estimation Methods 네이버 미소장
11 A high resolution and high sensitivity proton-transfer-reaction time-of-flight mass spectrometer (PTR-TOF-MS) 네이버 미소장
12 Comparison of Real-time Mass Spectrums on the Main- and Side-stream Smoke of Cigarette using an Proton Transfer Reaction-Mass Spectrometer (PTR-MS) 소장
13 Lindinger, W., Hansel, A., and Jordan, A., “On-line monitoring of volatile organic compounds at pptv levels by means of proton-transfer-reaction mass spectrometry(PTR-MS)-Medical applications, food control and environmental research,” International Journal of Mass Spectrometry, 173, pp. 191-241 (1998). 미소장
14 De Gouw, J. and Warneke, C., “Measurements of volatile organic compounds in the earth’s atmosphere using proton-transfer-reaction mass spectrometry,” Mass Spectrometry Reviews, 26, 223-257 (2006). 미소장
15 Parametrization of the ion–polar molecule collision rate constant by trajectory calculations 네이버 미소장
16 Proton transfer reaction rate constants between hydronium ion (H 3O +) and volatile organic compounds 네이버 미소장
17 Andrew M. Ellis and Christopher A. Mayhew, Proton Transfer Reaction Mass Spectrometry, John Wiley & Sons, United Kingdom, pp. 90-95 (2014). 미소장
18 Warneke, C., van der Veen, C., Luxembourg, S., de Gouw, J., and Kok, A., “Measurements of benzene and toluene in ambient air using proton-transferreaction mass spectrometry: Calibration, humidity dependence, and field intercomparison,” International Journal Mass Spectrometry, 207, 167-182 (2001). 미소장

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