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본 논문에서는 AMOLED 디스플레이 구동회로로 사용되는 박막트랜지스터의 구성요소 중에서 반도제 물질 제조의 최근 동향에 대해 논한다. 트랜지스터에 적용을 위해 특성이 좋은 반도체 막을 얻는 방법으로 비정질 실리콘을 다결정 실리콘으로 변화시켜야 하는데 레이저와 열처리 방법이 있으며, 레이저를 이용한 기술에는 SLS(Sequential Lateral Solidification), ELA(Excimer Laser Annealing), TDX(Thin-beam Directional Crystallization), 열처리 기술에는 SPC(Solid Phase Crystallization), SGS(Super Grain Silicon), MIC(Metal Induced Crystallization), FALC(Field Aided Lateral Crystallization)가 대표적이며, 이들에 대해 상세히 설명한다. 본 연구실에서 연구중인 레이저 결정화 기술의 대형 AMOLED 디스플레이 제작을 위한 연구 내용도 다룬다.

This paper discusses recent trends in the fabrication of semiconducting materials among the components of thin film transistors used in AMOLED display. In order to obtain a good semiconductor film, it is necessary to change the amorphous silicon into polycrystalline silicon. There are two ways to use laser and heat. Laser-based methods include sequential lateral solidification (SLS), excimer laser annealing (ELA), and thin-beam directional crystallization (TDX). Solid phase crystallization (SPC), super grain silicon (SGS), metal induced crystallization (MIC) and field aided lateral crystallization (FALC) were crystallized using heat. We will also study research for manufacturing large AMOLED displays.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
융복합시대 간호대학생의 임상실습만족도에 미치는 영향 요인 = Influencing factors of satisfaction of clinical practice in nursing students in the convergence era 이미라, 전현숙 p.55-64

뇌신경계 재활 환자 가족부담감에 미치는 영향에 관한 융합연구 = Convergence study on the influence of the neurorehabilitation patients on family burden 양영미, 조미옥 p.77-85

AMOLED 디스플레이의 박막트랜지스터 제작을 위한 결정화 기술 동향 및 대형화 연구 = Trend of crystallization technology and large scale research for fabricating thin film transistors of AMOLED displays 김경보, 이종필, 김무진, 민영실 p.117-124

혈액 투석 환자의 변비 완화 및 생리적 지표 향상을 위한 융합형 미숫가루 음용 섭취 프로그램 개발 예비 조사 = The effects of misutkaru water drink on relieving constipation and physiological measurements : a preliminary study for the development of convergent misutkaru water drink intake program in patients with hemodialysis 신나연, 박효선 p.40-47

TRIZ 모순분석을 활용한 창의공학설계 교수학습 모델 = Creative engineering design teaching-learning model using TRIZ contradiction analysis 조도은, 김시정 p.130-136

국내 거주 중국인의 주관적 구강 건강 상태와 OHIP-14의 관련성 = Associations between subjective oral health status and OHIP-14 among Chinese residents in South Korea 허성은, 장경애 p.190-200

추천을 위한 키워드 가중치를 이용한 멀티모달 미디어 콘텐츠 분류 = Multimodal media content classification using keyword weighting for recommendation 강지수, 백지원, 정경용 p.1-6

스마트폰 중독 분류군 별에 따른 중학생이 지각한 부모의 양육태도와 학업스트레스 차이 = The differences of perceived parenting attitude and academic stress on smartphone addiction according to the classification of addiction-risk group among middle school students 오윤정, 김향동 p.86-94

가상현실 게임기반 훈련프로그램을 이용한 체간조절훈련이 아급성기 뇌졸중 환자의 균형 및 상지기능에 미치는 영향 = The effect of trunk control training using virtual reality game-based training program on balance and upper extremity function of subacute stroke patients 박삼호, 김병수, 이명모 p.172-179

발달장애인 부모의 대리 의사표시의 정합도와 편향에 관한 연구 = A study on the agreement and bias between parents' proxy report and self-report of people with developmental disabilities 전동일, 전지혜 p.201-209

한국 성인 여성의 폐경 여부가 유방암에 미치는 영향 = Influence of menopause on breast cancer in South Korean adult women 구혜자 p.65-76

변혁적 리더십의 하위요인이 혁신행동에 미치는 영향에 관한 연구 = The effect of transformational leadership’s sub-factors on innovative behavior : the mediating effect of job engagement : 직무열의의 매개효과를 중심으로 심완준, 장은혜, 노경수 p.104-116

암생존자의 스트레스가 우울과 삶의 질에 미치는 영향 = The effects of stress on depression and quality of life in cancer survivors : focusing on the moderating effects of posttraumatic growth : 외상 후 성장의 조절효과를 중심으로 임수업, 김영희 p.95-103

On multipliers of lattice implication algebras for hierarchical convergence models = 계층적 융합모델을 위한 격자함의 대수의 멀티플라이어 Kyoum-Sun Kim, Yoon-Su Jeong, Yong-Ho Yon p.7-13

초등학생의 에너지 절약 실천을 위한 교육용 Game Design 연구 = A study on the educational game design for practicing energy saving in elementary school students 박현주 p.14-20

협력운전을 위한 운전자-차량 인터페이스 연구 = A study on driver-vehicle interface for cooperative driving 양인범 p.27-33

상담심리전공 대학생의 대인 외상 경험과 상담자로서의 성장 과정에 대한 질적 연구 = A qualitative study on the interpersonal trauma experience in counseling psychology major university students and their growth process as counselors 홍예영, 장은진 p.147-157

도구적 일상생활에 초점을 둔 복합인지중재 프로그램이 치매고위험군 노인에게 미치는 영향 = The effects of multimodal cognitive intervention focused on instrumental activities of daily living(IADL) for the elderly with high-risk of dementia : a pilot study : 예비연구 박경영, 신수정 p.210-216

일부 치위생(학)과 학생의 DISC행동유형에 따른 전공만족도와 직업선호도 연구 = A study on the major satisfaction and job preferences of dental hygiene students according to their disc behavioral patterns 이선희, 심현주 p.217-227

가족처럼 살아가는 쪽방촌 알코올 의존자들의 일상 탐구 = A study on alcoholics living like a family in the Jokbang village :focusing on 'relationship' and 'emotional bond' : '관계'와 '유대감'을 중심으로 최미경, 상종열 p.235-242

성인의 우울 및 사회적 자기효능감과 본인인지 구강건강의 융합관계 = Convergent relationship between the depression, social self-efficacy and self-perceived oral health in adults 지민경 p.180-189

UV 레이저응용 마이크로 다공성 EPP 기판의 치과용 핸드피스 흡음성능에 관한 기초연구 = Fundamental study on sound absorption of a dental hand piece using micro-porous EPP substrate processed by UV laser 유동빈, 신명호, 변효진, 최도정, 성규원, 마용원, 신보성 p.158-164

일부 간호대학생의 스트레스, 자아존중감, 자기효능감이 우울에 미치는 영향에 관한 융복합 연구 = A converged study on the effects of self-efficacy on depression stress, self-esteem of nursing students 김정숙, 김성의 p.48-54

위상코드 펄스압축 레이더의 재밍 효과 = Jamming effect of phase-coded pulse compression radar 임중수 p.125-129

초등학생들의 또래관계와 부모관계가 자살생각에 미치는 영향의 융복합적 연구 = A convergence of effects in peer relationship and parental relationship on suicidal ideation in elementary school students : the mediating effects of anxiety : 불안의 매개효과 장인자, 박경남 p.137-146

Faster R-CNN을 활용한 GPR 영상에서의 지하배관 위치추적 성능분석 = Performance analysis of detecting buried pipelines in GPR images using Faster R-CNN 고형용, 김남기 p.21-26

지능형 스피커 중심의 서비스 로봇 시장 분석 = Analysis on service robot market based on intelligent speaker 이성훈, 이동우 p.34-39

스마트폰 활용 교육이 노인들의 자기 효능감, 행복감, 삶의 질에 미치는 효과 = The effect of smartphone education on the quality of life, self-efficacy, well-being for the elderly 서상민 p.165-171

정신장애인의 공공후견서비스 활동 경험과 과제 = Experience and task of public guardianship service activity for the mentally disabled : in perspectives of advocacy : 권익옹호의 관점에서 김효정, 박인환, 최윤영 p.228-234

화장품 로드샵 남성 판매종사원의 서비스품질이 구매의사에 미치는 영향 = Impact of service quality of cosmetic road shop male sales staff on purchase intention 원경희, 정연자 p.243-251

참고문헌 (20건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 M. Diethelm, L. Penninck, S. Altazin, R. Hiestand, C. Kirsch & B. Ruhstaller. (2018). Quantitative analysis of pixel crosstalk in AMOLED displays. Journal of Information Display, 19(2), 61-69. DOI : 10.1080/15980316.2018.1428232 미소장
2 Active matrix organic light emitting diode displays (AMOLED) new pixel design 네이버 미소장
3 V. C. Bender, N. D. Barth, F. B. Mendes, R. A. Pinto, J. M. Alonso & T. B. Marchesan. (2018). A Hardware Emulator for OLED Panels Applied to Lighting Systems. IEEE Journal of Emerging and Selected Topics in Power Electronics, 6(3), 1252-1258. DOI : 10.1109/JESTPE.2018.2842157 미소장
4 IEEE Transactions on Electron Devices information for authors 네이버 미소장
5 C. Y. Liao, S. H. Chen, W. H. Huang, C. H. Shen, J. M. Shieh & H. C. Cheng. (2018). High-Performance Recessed-Channel Germanium Thin-Film Transistors via Excimer Laser Crystallization. IEEE Electron Device Letters, 39(3), 367-370. DOI : 10.1109/LED.2018.2791506 미소장
6 Excimer-Laser-Based, Thin Beam Directional 'Xtallization (TDX) and Thin Beam Based LTPS Technology for Processing Large Area Poly-Silicon 네이버 미소장
7 Y. Kawamura, K. Yamasaki, T. Yamashita, Y. Sugawara & Y. Uraoka. (2010). Crystallization by Green-laser Annealing for Three-dimensional Device Application. Journal of the Korean Physical Society, 56(5), 1456-1460. DOI : 10.3938/jkps.56.1456 미소장
8 Characteristics of Excimer Laser-Annealed Thin-Film Transistors on the Polycrystalline Silicon Morphology Formed in the Single and Double (Overlap) Scanned Area 네이버 미소장
9 Solid-phase crystallization of amorphous silicon nanowire array and optical properties 네이버 미소장
10 Temperature dependence of the growth of super-grain polycrystalline silicon by metal induced crystallization 네이버 미소장
11 High-Performance Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistors Based on Metal-Induced Crystallization in an Oxidizing Atmosphere 네이버 미소장
12 Mechanism of field-aided lateral crystallization of amorphous silicon 네이버 미소장
13 G. A. Bhat, H. S. Kwok & M Wong. (2000). Behavior of the drain leakage current in metal-induced laterally crystallized thin film transistors. Solid-State Electronics, 44(7), 1321-1324. DOI : 10.1016/S0038-1101(99)00328-7 미소장
14 G. H. Jin, S. M. Choi, M. J. Kim, S. C. Kim & J. H. Song. (2012). New Pixel Circuit Design Employing an Additional Pixel Line Insertion in AMOLED Displays Composed by Excimer Laser-Crystallized TFTs. Journal of Display Technology, 8(8), 479-482. DOI : 10.1109/JDT.2012.2191533 미소장
15 Effects of the single and double (overlap) scanned excimer laser annealing on solid phase crystallized silicon films 네이버 미소장
16 Solid-phase crystallization of ultra high growth rate amorphous silicon films 네이버 미소장
17 Effect of excimer laser annealing on a -InGaZnO thin-film transistors passivated by solution-processed hybrid passivation layers 네이버 미소장
18 K. B. Kim, J. P. Lee, M. J. Kim & Y. S. Min. (2019). Characteristics of Excimer Laser-Annealed Polycrystalline Silicon on Polymer layers. Journal of Convergence for Information Technology, 9(3), 75-81. DOI : 10.22156/CS4SMB.2019.9.3.075 미소장
19 H. K. Kim. (2016). A Study on fusion design development direction of the Flexible display base. Journal of Digital Convergence, 14(1), 399-405. DOI : 10.14400/JDC.2016.14.1.399 미소장
20 K. C. Kim. (2017). Development of Shading Tape for Manufacturing of Touch Panel Display with High Screen-to-Body Ratio. Journal of Convergence for Information, 7(4), 75-81. DOI : 10.22156/CS4SMB.2017.7.4.07 미소장

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