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반도체 집적회로 기술의 발전으로 미세 선폭과 다층 배선의 필요성, 엄격한 DOF(depth of focus)에 의해 CMP(chemical mechanical planarization) 공정이 다양하게 발전하고 있다. CMP 공정은 wafer를 pad에 밀착시킨 상태에서 수십~수백 nm 정도 크기의 입자를 가진 slurry를 패드에 분산시켜 산화막 또는 금속 박막의 화학적 반응을 유도함과 동시에 pad의 기계적 힘을 통해 wafer 표면을 평탄하게 하는 공정 중 하나이다. wafer의 polishing 과정에서 발생하는 결함은 링(ring), 스크래치(scratch), 존(zone), 반복(repeat)의 유형으로 분류할 수 있다. CMP 슬러리는 연마 입자, 분산제, 물과 기타 첨가제로 구성된 콜로이드성 용액이다. 연마 입자는 실리카(SiO2), 세리아(CeO2), 알루미나(Al2O3) 등이 사용되며, 필름이나 웨이퍼 재료 종류에 따라 이들 중 선택한다. 이 중, 세리아는 CMP 공정에서 낮은 입자 농도로도 높은 연마율(removal rate) 로 인해 주로 CMP 공정의 연마제로 사용된다. 연마 입자들을 분산시키고 입자 크기분포의 안정성을 높이기 위하여 보통 분산제를 사용한다. 분산제를 첨가함에 따라 슬러리의 입자 크기가 작아지고 분산제의 농도가 증가함에 따라 제타 전위(zeta-potential)가 큰 값을 가지게 되며, 전기적으로 안정화된다. 이 연구에서는 탄산세륨을 전구체로 하여 600~800℃ 온도에서 5시간 동안 소성하여 세리아 분말을 제조하였고, 해당 세리아 분말을 상용 D 분산제와 함께 수직 밀링 공정을 이용하여 슬러리를 제조하였다. 탄산세륨 전구체의 온도별 거동을 확인하기 위해 TGA 분석을 진행하였다. 온도별 세리아 분말의 특성을 평가하기 위해 색차계, SEM, TEM, XRD 분석을 진행하여, 각 조건의 분말이 가진 외형 및 결정 크기를 확인하였다. 제조한 세리아 입자의 1차 입자의 크기는 15 ~ 20 nm 의 크기를 가지고, 2차 입자는 200 nm 크기부터 수 μm까지로 크기가 다양함을 확인하였다. 제조한 슬러리의 물리적·화학적 분석인 pH, Conductivity, 입자 크기, 제타 전위를 측정하여 각 슬러리의 안정성 및 슬러리로서의 적합성을 확인하였다. 각 슬러리의 제거 효율을 측정하기 위해 MRR 테스트를 진행하였고, 제거율은 폴리싱 전후의 두께 차이를 통해 계산되었다. 또한 평탄도는 폴리싱 후의 두께 측정값들의 최소값 및 최대값을 통해 계산되었다. HA800 샘플의 경우, 제타 전위의 절댓값이 40 mV 로 유지되며 안정적인 거동을 보였으며, 제거율 및 비평탄도는 HDP 막질에서는 1018 Å, 4.08, NIT 막질에서는 302.3 Å, 3.89, Poly 233.5 Å, 2.07로, 높은 제거율과 함께 낮은 비평탄도, 높은 선택비를 가진다. 이를 통해 가장 CMP 공정에 적합한 슬러리는 Air 환경에서 800℃ 온도에서 소성한 HA800 샘플이 가장 적합함을 알 수 있다.

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고등학생의 인터넷 과의존과 우울·불안의 관계에서 학업스트레스와 공격성의 병렬 매개효과 = Parallel mediating effects of academic stress and aggression on the relationship between Internet over-dependence and depression/anxiety among high school students 이미영 p. 1-13
AI 리터러시의 정의와 프레임워크 개발을 위한 연구 = A study for the development of the definition and the framework of ‘AI literacy’ : a Delphi study : 델파이 연구를 중심으로 김묘은, 박일준, 김희철 p. 15-30
사각지역에서의 다중 객체 추적 기술을 활용한 객체 재인식 방법 = Object re-identification method using multi-object tracking occlusion area 박성준 p. 31-41
빅데이터를 활용한 계엄 스트레스가 관광인식 변화에 미치는 영향 연구 = A study on the effect of martial law stress on the change in tourism perception using big data 유경미 p. 43-53
산욕초기 산모의 모유수유 실천에 미치는 영향 = Factors influencing breastfeeding practices of mothers in the early postpartum period 고정미 p. 55-65
간호대학생의 불확실성에 대한 인내력 부족이 진로결정자기효능감에 미치는 영향 = The effect of intolerance of uncertainty on career decision-making self-efficacy in nursing students : the mediating role of college life adaptation : 대학생활적응의 매개효과 류정임, 홍인숙 p. 67-78
수경재배 잎들깨(Perilla frutescens) 스마트팜의 수확량 결정 요인으로서 수증기압포차(VPD) = Vapor pressure deficit (VPD) as a determinant of yield in hydroponically cultivated perilla (Perilla frutescens) in smart farms : a three-year analysis : 3개년 분석 박평식, 최효길 p. 79-88
제조 공정 이상탐지의 재현성 향상을 위한 MLflow 기반 노코드 실험 관리 프레임워크 = An MLflow-based no-code framework for enhancing reproducibility in manufacturing anomaly detection 최정문, 이혜주, 박준용, 곽상원, 권지수 p. 89-99
Electrochemical properties of imidazolium-based ionic liquids for non-aqueous vanadium redox flow batteries = 비수계 바나듐 레독스 흐름전지용 이미다졸륨계 이온성 액체의 전기화학적 특성 연구 Si-Bin Lee, Sun-Woo Park, Seong-Ho Choi p. 101-108
탄산세륨 전구체를 활용한 반도체 CMP용 세리아 제조 = Preparation and characterization of ceria abrasives for semiconductor CMP from cerium carbonate precursors 장수성, 황소희, 전청민, 박남수, 정재영, 김운중 p. 109-124
Integrated bibliometric–discourse analysis of engineering research (2005–2024) = 공학 연구(2005-2024)의 통합 서지계량-담화 분석 Myoungho Ha p. 125-134
국가유산을 활용한 디지털 헤리티지 콘텐츠의 발전 과정 연구 = A study on the development process of digital heritage content utilizing national heritage 박보은, 이현석 p. 135-145
3D 캐릭터 신체 부위 변화를 활용한 운동 수행 기록 피드백 방법 연구 = A study on the feedback method of exercise performance data using 3D character body part changes 길영익, 신재광, 최문정, 김알찬 p. 147-159
간호대학생의 디지털헬스리터러시, 셀프리더십, 긍정심리자본이 전공만족도에 미치는 영향 = The effects of digital health literacy, self-leadership, and psychological capital on major satisfaction in nursing students 양승희, 백유미, 전경애 p. 161-171
가짜뉴스 탐지를 위한 BERT 문맥 및 EmoBERTa 감정 특징 기반 하이브리드 아키텍처 = A hybrid architecture for fake news detection using BERT contextual and EmoBERTa emotional features 박준환, 심민경, 이수진 p. 173-187
USP 기반 식품 크라우드펀딩 신제품 온라인 상세페이지 적용 사례연구 = Case study on the application of USP-based food crowdfunding strategy to new product online detail page 강민영, 서예진, 선우은영, 이한진 p. 189-201
DC, IRP의 원리금 비보장 및 전체 상품 운용수익률 예측 모델 연구 = A study on predictive models for investment returns of non-guaranteed and overall defined contribution (DC) and individual retirement pension (IRP) products 안창호, 류희수 p. 203-211
자연재난 저감을 위한 비구조적 대책의 통합적 개선 방안 연구 = Integrated improvement strategies for non-structural measures to reduce natural disasters : focusing on implications from the U.S. FEMA community rating system (CRS) : 미국 FEMA CRS(Community Rating System) 제도의 시사점을 중심으로 유문무 p. 213-223

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