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The molybdenum(Mo) doped indium oxide (IMO) films were deposited on glass substrates by RF magnetron sputtering and the films were vacuum annealed at 150, 300, and 450℃, respectively to investigate the influence of the annealing temperature on the electrical and optical properties of the films. The grain size of In2O3(222) plane increased up to 32.93 nm with annealing temperatures and their electrical resistivity decreased from 2.0×10-3 Ωcm to 9.7×10-4 Ωcm at the 450℃ annealing.

The visible transmittance also improved from 77.62 to 80.82% when the annealing temperature increased. The optical band gap of the post-deposition annealed films increased from 3.702 to 3.751 eV proportionally with annealing temperature. The figure of merit shows that the IMO films annealed at 450℃ had better optical and electrical performance than the other films prepared using lowertemperature conditions. The observed results suggested that the post-deposition vacuum annealing is the one of effective process for the increasement of electrical and optical property of IMO thin films.

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Physical properties of disordered perovskite Pb(Sc1/2Nb1/2)O3 ferroelectrics Yeon Jung Kim p. 323-329
Neutron shielding and corrosion behaviors of gadolinium oxide-boron carbide composites coating layers prepared by plasma thermal spray Youl Baik, Dong Geon Lee, Jong Jae Lee, Yong Choi p. 330-338
Electrochemical properties of palladium coatings on copper in terms of thickness and phase structure Young-Min Byoun, Sun-Woo Choi p. 339-346
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이단계 합성법으로 제작된 p-형 셀레늄화 텅스텐(WSe2) 트랜지스터의 전기적 및 시냅스 특성 = Electrical and synaptic characteristics of p-type tungsten diselenide transistor by two-step synthetic method 이현지, 정태원, 한상윤, 김동현, 박상희 p. 352-360
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PF5/C4F8 혼합 가스 기반 저온 SiO2 식각 공정의 플라즈마 화학 및 식각 거동 분석 = Plasma chemistry and etching behavior of low-temperature SiO2 etching using PF5/C4F8 mixed gases 장호준, 김경남 p. 390-397
EV 릴레이용 비시안 은 도금층의 미세조직 안정화와 변색 억제 메커니즘 분석 = Microstructural stabilization and discoloration suppression mechanisms of non-cyanide silver coatings for EV relay applications 서선교 p. 398-403
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극저온 황산에서 양극산화된 A356 합금의 피막 경도 및 내식성 = Corrosion resistance and hardness of anodized A356 aluminum alloy in sulfuric acid at sub-zero temperature 이수민, 이대희, 나대현, 장경수, 문형석, 이정훈 p. 412-417
전기 영동법을 이용한 바인더 없는 LiFePO4 전극 제조 = Fabrication of LiFePO4 electrodes without a binder by electrophoretic deposition 김광현, 탁용석 p. 418-426
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