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본 연구에서는 반도체 제조 공정에서의 웨이퍼 불량 패턴 검출을 위해 CNN 기반 및 Vision Transformer(ViT) 기반 알고리즘을 활용하였으며 동일한 학습용 하드웨어 및 소프트웨어 환경에서 분석을 진행하였다. 공개 WM-811K 데이터셋을 기반으로Accuracy, F1, Precision, Recall을 포함한 총 17개의 지표를 사용하여 웨이퍼 빈 맵 패턴 분류 성능을 평가하였다. 검증 결과,EfficientNetV2-M이 가장 높은 성능을 달성하였으며, Swin-L 또한 상위 모델로 평가되어 향후 연구 및 실제 응용에 대한 기대를높였다. 본 연구는 지도 학습 기반 구조를 중심으로 최신 딥러닝 모델들의 웨이퍼 불량 검출 성능을 비교하기 위한 객관적인 벤치마크를 제시한다.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
SWIR/NIR 밴드 최적화와 맥락 학습 기반 데이터 증강을통한 멀티 스펙트럴 산불 탐지 기법 = Multispectral wildfire detection via SWIR/NIR band optimization and context-aware data augmentation 김수안, 서형원, 박천음, 장한얼 p. 399-407
양방향 비디오 예측 정보 결합을 통한 시간적 행동 검출 = Temporal action detection via bi-directional video prediction fusion 권희원, 정찬호 p. 408-411
마이크로스트립 전송선로를 이용한 이중대역 모노펄스 비교기 시뮬레이션 및 분석 = Simulation and analysis of dual-band monopulse comparator using microstrip transmission line 표성민, 남형석, 서정원, 이상윤, 홍권기 p. 412-419
광범위 출력전압 제어가 가능한 LLC 공진형 전력변환기 = An LLC resonant power converter capable of wide-range output voltage control 정강률, 남주현 p. 420-432
In-situ 분석을 통한 모드 전이형 멤리스터의 전기 전도 메커니즘 규명 = In-situ investigation of electrical conduction mechanisms in dual-mode memristors 이동구, 이정규 p. 433-438
트렌치 산화갈륨 JBS 다이오드의 전기적 특성 분석 = Electrical characterization of trench β-Ga2O3 JBS diodes 강현도, 박승현, 김예진, 김민석, 최진우, 이건희, 구상모 p. 439-445
Hybrid 8T SRAM의 면적 축소 및 성능 향상을 위한 설계 방법에 관한 연구 = A study on the design method for area reduction and performance improvement of hybrid 8T SRAM 조근호 p. 446-450
대규모 가속기 네트워크 설계를 위한 적응형 탐색 및 패킷 단위 근사 모델 = Adaptive exploration and packet-grained approximation model for large-scale accelerator network design 이재석, 박성경, 박성정 p. 451-461
트래픽 패턴 인지형 하이브리드 멀티캐스트 라우팅 기법 = Traffic-pattern-aware hybrid multicast routing scheme 신혜성, 박성경, 박성정 p. 462-472
딥러닝 기반 EO/IR 영상 호모그래피 추정 = Deep image homography estimation for EO/IR images 이도현, 박정호, 김성용, 조규태 p. 473-481
항공 영상 기반 회전 추정 정합과 합성 데이터 생성 파이프라인을 통한 객체 탐지 및 변화 탐지 = Rotation estimation-based registration and synthetic data pipeline for object and change detection in aerial imagery 이도현, 강선종, 류경봉, 김성철, 김성용, 조규태 p. 482-491
배터리 State-of-Charge 추정을 위한 Wireless BMS 시스템의 설계 = Design of wireless battery management system for battery state-of-charge estimation 공민석, 김원채, 최지웅, 이주석, 이성수 p. 492-501
하드웨어 지원 NPU 가상화 스케줄링 기법을 통한 딥러닝 애플리케이션 가속화 = Acceleration of deep learning applications through hardware-assisted NPU virtualization scheduling 진종환, 김정욱, 김동순 p. 502-510
포인트와 밀도 표현 간 상호 감독을 통한 군중 계수 = Mutual supervision between point and dnsity representations for crowd counting 임정호, 남기훈 p. 511-516
2차 시스템의 Lyapunov 재설계 기반 비선형 PID 제어 = Lyapunov redesign-based nonlinear PID control for secondorder systems : application to quadrotor hovering control : 쿼드로터 호버링 제어 응용 정재연, 곽민석, 배수한, 최호림 p. 517-527
Integration of MEMS microfabrication and optical trapping in a disposable lab-on-a-chip flow cytometer Dae-Yun Lim, Dong-Su Kim p. 528-535
공간복원 기술을 이용한 실내 경로 시각화 시스템 = Indoor path visualization system based on 3D scene reconstruction 이민석, 곽수영 p. 536-544
이차전지 배터리팩 용접공정에서의 안전관리를 위한 열화상 카메라 기반 이상 감지 시스템 = Thermal imaging camera-based anomaly detection system for safety management in secondary battery pack welding processes 김한진, 김영진, 이원표, 채석병, 박태형 p. 545-553
링 오실레이터와 기계학습 기법을 이용한 칩 내부 금속 배선의 저항 및 정전용량 추정 = Resistance and capacitance estimation of on-chip metal layers via ring oscillators and machine learning techniques 한창호 p. 554-560
혼합 용매를 사용한 정공수송층 및 이를 적용한 양자점 발광 다이오드의 특성 향상 연구 = Enhancement of quantum dot light-emitting diodes using a mixed solvent for hole transport layer 강희은, 이주완, 민신희, 강석근, 이동구 p. 561-567
뉴로모픽 응용을 위한 이중 모드 멤리스터의 단기 및 장기 기억 특성 구현 = Implementation of short-term and long-term memory characteristics in dual-mode memristors for neuromorphic applications 허건, 박규태, 김동욱, 홍채린, 이동구, 이정규 p. 568-573
주파수 신호의 2차원 변환과 CNN을 활용한 상수도 누수 탐지 모델 = Water leakage detection in water distribution networks via 2D frequency signal transformation and CNN 오지훈, 강용식, 장한얼 p. 574-583
반도체 웨이퍼 빈 맵 불량패턴 분류를 위한 다양한 인공지능 알고리즘 적용 및 비교 분석에 관한 연구 = Comparative study of AI algorithms for defect pattern classification in semiconductor wafer bin maps 강승한, 김우람, 제갈원, 이성현 p. 584-591
전기차 구동모터용 인버터의 차량 적용성 평가를 위한 테스트 플랫폼 개발 = Development of test platform to evaluate vehicle applicability of inverter for electric vehicle traction motor 김연우, 김세환, 김인호, 김민재, 이의형, 이성원 p. 592-600
가소제 종류에 따른 카르복시메틸 셀룰로오스 기반 스트레처블 필름의 기계적 및 전기적 특성 = Effect of plasticizer type on mechanical and electrical properties of carboxymethyl cellulose-based stretchable films 김서연, 장현준, 이주호, 성백상, 강혜린, 장소희, 이재현, 김용현, 이종희 p. 601-609
UV photodetection enhancement of UV/O3-treated AlGaN/GaN Schottky HEMTs Youngjin Choi, Goeun Ham, Jisoo Kim, Kwangeun Kim p. 610-615
중소규모 건물의 단기 전력 소비량 예측을 위한 BiLSTM 기반 학습 전략 연구 = BiLSTM-based training strategy for short-term power consumption forecasting in small and medium-sized buildings 주숙희, 전윤호 p. 616-626
Impact of electrode geometry on the efficiency of InGaN/GaN micro-LEDs Kwangeun Kim p. 627-631
ESPRIT 기반 실시간 DoA 측위 시스템의 FPGA 구현 및 검증 = FPGA implementation and real-time verification of an ESPRIT-based real-time DoA positioning system 민경육, 김전호, 이제희, 정정화, 이성진, 민경육 p. 632-639
실리콘 기판 위에서의 금속 배선 형성을 위한 DED 공정 = DED process for metal interconnects formation on silicon substrates 윤치재, 임수빈, 박준영, 최균석, 김민회 p. 640-645
100 MeV 양성자 조사에 따른 금속 박막의 구조적·화학적 결함 분석 = Structural and chemical defect analysis of metal thin films irradiated with 100 MeV protons 김민섭, 조영우, 이용복 p. 646-651
모터 3상 전류 신호의 Space-Filling Curve기반 데이터 정렬에 따른 2D-CNN 학습 특성 분석 = Analysis of 2D-CNN learning characteristics based on space-filling curve-driven data ordering of three-phase motor current signals 고영진, 김경민 p. 652-661
ADC 기반 TDC 비선형성 보정을 위한 기울기 보정 기법 = Slope calibration method for nonlinearity correction in ADC-assisted TDCs 최예광, 김영식, 김신웅 p. 662-667
저전력 형광 기반 영상 센서 플랫폼을 이용한 연성 필러의 외력 크기 및 방향 분석 = Analysis of force magnitude and direction in flexible pillars using a low-power fluorescence-based imaging sensor platform 서동민, 박재민, 윤승민, 오상우 p. 668-675
MgO 기반 MIS 구조의 내방사선 특성 분석 = Radiation tolerance analysis of MgO-based MIS structures 이금화, 박진석, 이용복, 김승환 p. 676-681
SAM 기반 향상된 Copy-Paste 데이터 증강을 통한 고정밀 선박 탐지 = Enhanced copy-paste data augmentation using SAM for precise ship detection 박진형, 이지상, 표성민, 장한얼 p. 682-691
차선 추적과 IPM을 이용한 저연산량의 차선이탈 경고 방식 = A low-computation lane departure warning method using lane tracking and IPM 이찬호, 호콩안 p. 692-698
PLECS 호환용 DSP 기반 PMSM 제어시스템의 성능향상 기법 개발 = Development of performance improvement technique for a PMSM control system based on DSP compatible with PLECS 이태성, 신현재, 이재석 p. 699-705
비직선 구간에 자동 용접이 가능한 적응형 오토캐리지 시스템에 관한 연구 = A study on adaptive auto carriage systems available for an automatic welding against non-straight paths 이창호, 조현철 p. 706-711
Plus DR 제어를 위한 과전압 가중치 기반 EV 충전 분배 방법 = Overvoltage weight-based EV charging distribution method for plus DR control 임강현, 윤기환, 배국열, 성윤동, 김청훈, 강모세 p. 712-721

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