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목차

표제지=0,1,1

제출문=1,2,2

보고서초록/송계성=3,4,2

요약문=5,6,6

SUMMARY=11,12,2

CONTENTS=13,14,2

목차=15,16,2

제1장 연구개발과제의 개요=17,18,5

제2장 국내외 기술개발 현황=22,23,13

제3장 연구개발 수행 내용 및 결과=35,36,1

3-1절 고주파 수동소자용 박막소재=35,36,1

3-1-1 인덕터 자성박막 제조 및 특성=35,36,36

3-1-2 고주파 커패시터용 유전체=70,71,34

3-1-3 저항박막 소재=103,104,10

3-2절 고주파용 RLC 소자=113,114,1

3-2-1 고주파 인덕터 특성=113,114,30

3-2-2 고주파 커패시터 소자 특성=142,143,11

3-2-3 저항 소자=152,153,10

3-3절 RLC 어레이의 집적화 기술=161,162,1

3-3-1 수동소자 어레이의 설계=161,162,6

3-3-2 리프트 오프 및 식각에 의한 공정=166,167,3

3-3-3 RLC 어레이의 고주파 특성=168,169,6

제4장 목표 달성도 및 관련 분야의 기여도=174,175,3

제5장 연구개발 결과의 활용 계획=177,178,1

제6장 연구개발 과정에서 수집한 해외 과학기술 정보=178,179,1

제7장 참고문헌=179,180,21

영문목차

[title page etc.]=0,1,13

CONTENTS=13,14,4

Chapter 1 Outline of the research project=17,18,5

Chapter 2 Domestic and International situation of technology=22,23,13

Chapter 3 Results of the research=35,36,1

3-1. Thin films materials for RF Passive components=35,36,1

3-1-1 Properties and fabrication of thin films for RF inductor=35,36,36

3-1-2 The properties of Dielectric material for RF capacitor=70,71,34

3-1-3 The properties of thin films material for resistor=103,104,10

3-2. RF Passive components=113,114,1

3-2-1 Properties of RF inductor=113,114,30

3-2-2 Properties of RF capacitor=142,143,11

3-2-3 Resistor=152,153,10

3-3. Integration technology of RLC array=161,162,1

3-3-1 Design of Rf passive array=161,162,6

3-3-2 Processing of lift-off and etching=166,167,3

3-3-3 RF Properties of RLC array=168,169,6

Chapter 4 Achievement and Contribution for the related technical field=174,175,3

Chapter 5 Application plane of research results=177,178,1

Chapter 6 Foreign technical information acquired on the research project=178,179,1

Chapter 7 Reference=179,180,21

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