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목차

표제지=0,1,1

제출문=0,2,1

보고서 초록/남효진=1,3,1

요약문=2,4,3

SUMMARY=5,7,4

CONTENTS=9,11,1

목차=10,12,1

제1장 연구개발 과제의 개요=11,13,1

제1절 연구개발 개요 및 목적=11,13,2

제2절 연구개발 필요성=13,15,3

제2장 국내외 기술개발 현황=16,18,1

제1절 연구개발 현황=16,18,2

제2절 현 기술상태의 취약성=17,19,2

제3절 앞으로의 전망=18,20,1

제4절 기술도입 가능성=18,20,1

제3장 연구개발수행 내용 및 결과=19,21,1

제1절 연구개발 내용 및 방법=19,21,4

제2절 유전체박막 기술=23,25,37

제3절 미세가공 및 집적화 기술=60,62,10

제4절／제3절 소자 제작기술=70,72,36

제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도=106,108,1

제1절 계획대비 달성도=106,108,1

제2절 공공기능 수행=107,109,3

제5장 연구개발 결과의 활용계획=110,112,1

제6장 참고문헌=111,113,3

특정연구개발사업 연구결과 활용계획서=114,116,11

영문목차

[title page etc.]=0,1,10

CONTENTS=9,11,2

Chapter 1. Introduction=11,13,1

Section 1. Outline and purpose of research=11,13,2

Section 2. Necessities of research=13,15,3

Chapter 2. State of the art=16,18,1

Section 1. Status of research=16,18,2

Section 2. Present status and problems=17,19,2

Section 3. Prospective=18,20,1

Section 4. Possibility of import of technology=18,20,1

Chapter 3. Results of the project=19,21,1

Section 1. Development methods=19,21,4

Section 2. Dielectric film technology=23,25,37

Section 3. Micromachining and integration technology=60,62,10

Section 4. Device technology=70,72,36

Chapter 4. Achievements and contribution of the project=106,108,1

Section 1. Achievements and results status=106,108,1

Section 2. Public function=107,109,3

Chapter 5. Future plan of the project=110,112,1

Chapter 6. References=111,113,14

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