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목차

표제지=0,1,1

제출문=0,2,1

요약문=i,3,3

목차=iv,6,2

그림목차=vi,8,2

표목차=viii,10,2

사진목차=ix,11,1

제1장 서론=1,12,1

제1절 연구의 목적=1,12,1

제2절 연구의 내용 및 범위=2,13,2

제2장 이론 및 문헌고찰=4,15,3

제3장 실험 방법=7,18,1

1. 원료의 혼합 및 분쇄=7,18,2

2. 하소조건의 결정=9,20,1

3. pellet 형태의 PZT의 제조=9,20,1

4. pellet 형태의 PZT의 밀도 측정=9,20,2

5. pellet 형태의 PZT의 전극처리 및 전기적 특성 측정=10,21,2

6. PZT pellet의 poling과 압전특성 측정=11,22,3

7. PZT 후막의 제조=13,24,2

8. PZT 시편의 SEM 관찰=14,25,1

제4장 저온소결 PZT 시편의 개발=15,26,1

제1절 Pb(NO₃)₂를 Pb source로 하는 PZT,PZ,PT의 하소조건 결정=16,27,3

제2절 PZT pellet의 예비소결=19,30,2

제3절 PZT pellet의 소결 밀도=21,32,1

제4절 BN을 첨가한 시편의 소결 거동 변화=22,33,1

1. 하소 없이 액상소결조제를 첨가한 PZT의 소결 거동=22,33,2

2. 하소 후 액상소결조제를 첨가한 PZT의 소결 거동=24,35,4

3. 하소 후 BN을 1,3,5 m／o 첨가한 PZT의 소결 거동=28,39,4

제5절 BN과 PbO을 첨가한 PZT 시편의 소결거동=32,43,1

1. PbO를 1 m／o 첨가한 PZT의 소결 거동=32,43,4

2. PbO를 2 m／o 첨가한 PZT의 소결 거동=35,46,4

3. PbO를 3 m／o 첨가한 PZT의 소결 거동=38,49,4

제6절 액상소결 PZT 시편의 SEM 관찰=42,53,10

제7절 액상소결 PZT 시편의 전기적 특성=52,63,1

1. 1 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가한 PZT 시편의 전기적 특성=52,63,3

2. MnO₂를 0.3 w／o 첨가한 PZT 시편의 전기적 특성=54,65,4

3. MnO₂0.3 w／o와 Mb₂O5(이미지참조) m／o를 첨가한 PZT 시편의 전기적 특성=57,68,4

4. PZT 시편의 소결시간의 변화에 따른 전기적 특성=60,71,4

5. PZT 시편의 조성 및 소결조건의 변화에 따른 압전 특성=64,75,4

6. 제품과의 성능 대비 분석 및 향후 방향=67,78,1

제8절 액상소결 PZT 후막의 제조=68,79,3

제5장 결론=71,82,1

1. 연구결과=71,82,2

2. 향후계획=72,83,1

부록=73,84,2

1. 특허명세서:압전소자의 저온소결 방법=75,86,11

그림목차/사진목차

[사진 3-1] planetary mill=8,19,1

[사진 3-2] LF impedance analyzer=10,21,1

[사진 3-3] poling 장치=12,23,1

[사진 3-4] d₃₃ tester=13,24,1

[그림 4-1] PbO를 Pb source로 사용한 PZT 하소분말의 하소온도별 XRD 곡선=17,28,1

[그림 4-2] Pb(NO₃)₂를 Pb source로 사용한 PZT 하소분말의 하소온도별 XRD 곡선=18,29,1

[그림 4-3] Pb(NO₃)₂와 PbO를 0.5:0.5로 사용한 PZT 하소분말의 하소온도별 XRD 곡선=20,31,1

[그림 4-4] 액상소결조제를 첨가하지 않은 조성의 소결 후 밀도 변화=21,32,1

[그림 4-5] 소결조제로 10 m／o BN을 첨가한 소결온도에 따른 소결밀도 변화=23,34,1

[그림 4-6] 하소 후 10 m／o BN을 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.5:0.5:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=25,36,1

[그림 4-7] 하소 후 10 m／o BN을 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.5:0.5:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 XRD 분석결과=26,37,1

[그림 4-8] 하소 후 1 m／o BN을 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=28,39,1

[그림 4-9] 하소 후 3 m／o BN을 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=29,40,1

[그림 4-10] 하소 후 5 m／o BN을 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=31,42,1

[그림 4-11] 1 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=32,43,1

[그림 4-12] 3 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=33,44,1

[그림 4-13] 5 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=34,45,1

[그림 4-14] 1 m／o BN,2 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=35,46,1

[그림 4-15] 3 m／o BN,2 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=36,47,1

[그림 4-16] 5 m／o BN,2 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=37,48,1

[그림 4-17] 1 m／o BN,3 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=38,49,1

[그림 4-18] 3 m／o BN,3 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=39,50,1

[그림 4-19] 5 m／o BN,3 m／o PbO를 첨가한 Pb(NO₃)₂:PbO:ZrO₂:TiO₂＝0.3:0.7:0.53:0.47 조성 시편의 소결온도 변화에 따른 소결밀도의 변화=40,51,1

[사진 4-1] 1 m／o BN,1 m／o PbO를 액상소결조제로 사용한 PZT 시편의 SEM 사진(850℃,1시간 소결)=43,54,1

[사진 4-2] 1 m／o BN,1 m／o PbO를 액상소결조제로 사용한 PZT 시편의 SEM 사진(900℃,1시간 소결)=44,55,1

[사진 4-3] 1 m／o BN,1 m／o PbO를 액상소결조제로 사용한 PZT 시편의 SEM 사진(950℃,1시간 소결)=45,56,1

[사진 4-4] 1 m／o BN,1 m／o PbO를 액상소결조제로 사용한 PZT 시편의 SEM 사진(1000℃,1시간 소결)=46,57,1

[사진 4-5] 5 m／o BN,1 m／o PbO를 액상소결조제로 사용한 PZT 시편의 SEM 사진(800℃,1시간 소결)=48,59,1

[사진 4-6] 5 m／o BN,1 m／o PbO를 액상소결조제로 사용한 PZT 시편의 SEM 사진(850℃,1시간 소결)=49,60,1

[사진 4-7] 5 m／o BN,1 m／o PbO를 액상소결조제로 사용한 PZT 시편의 SEM 사진(950℃,1시간 소결)=50,61,1

[사진 4-8] 5 m／o BN,1 m／o PbO를 액상소결조제로 사용한 PZT 시편의 SEM 사진(1150℃,1시간 소결)=51,62,1

[사진 4-9] 액상소결조제를 사용하지 않은 PZT 후막의 SEM사진=69,80,1

[사진 4-10] 액상소결조제를 사용한 PZT 후막의 SEM사진=70,81,1

표목차

[표 3-1] 본 연구에 사용한 세라믹 분말=7,18,1

[표 4-1] 1 m／o BN,1 m／o PbO 첨가시편의 전기적 특성=52,63,1

[표 4-2] 3 m／o BN,1 m／o PbO 첨가시편의 전기적 특성=53,64,1

[표 4-3] 5 m／o BN,1 m／o PbO 첨가시편의 전기적 특성=54,65,1

[표 4-4] 1 m／o BN과 0.3 w／o MnO₂를 첨가한 시편의 전기적 특성=55,66,1

[표 4-5] 3 m／o BN과 0.3 w／o MnO₂를 첨가한 시편의 전기적 특성=56,67,1

[표 4-6] 5 m／o BN과 0.3 w／o MnO₂를 첨가한 시편의 전기적 특성=57,68,1

[표 4-7] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 1 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가하여 액상소결한 PZT 시편의 전기적 특성=58,69,1

[표 4-8] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 3 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가하여 액상소결한 PZT 시편의 전기적 특성=59,70,1

[표 4-9] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 3 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가하여 액상소결한 PZT 시편의 전기적 특성=60,71,1

[표 4-10] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 1 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가하여 900℃에서 액상소결한 PZT 시편의 전기적 특성=61,72,1

[표 4-11] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 1 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가하여 950℃에서 액상소결한 PZT 시편의 전기적 특성=62,73,1

[표 4-12] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 1 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가하여 1000℃에서 액상소결한 PZT 시편의 전기적 특성=62,73,1

[표 4-13] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 1 m／o BN,1 m／o PbO를 첨가하여 1050℃에서 액상소결한 PZT 시편의 전기적 특성=63,74,1

[표 4-14] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 3 m／o BN을 첨가하여 시간별로 액상소결한 PZT 시편의 압전 특성=64,75,1

[표 4-15] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 1 m／o BN + 1m／o PbO를 첨가하여 시간별로 액상소결한 PZT 시편의 압전 특성=65,76,1

[표 4-16] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 3 m／o BN을 첨가하여 시간별로 액상소결한 직경 20mm PZT 시편의 압전 특성=66,77,1

[표 4-17] 0.5 m／o Nb₂O5(이미지참조),0.3 w／o MnO₂를 첨가하고 3 m／o BN + 1m／o PbO를 첨가하여 시간별로 액상소결한 직경 20mm PZT 시편의 전기적 특성=66,77,1

[표 4-18] 덴마크 Ferroperm사의 lead zirconate titanate의 압전특성=67,78,1

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