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목차

표제지=0,1,1

최종보고서=1,2,2

제출문=3,4,1

목차=4,5,1

표 목차=5,6,1

그림 목차=6,7,3

요약문(국문)=9,10,1

SUMMARY(영문요약문)=10,11,1

1. 서론=11,12,1

2. 표면거칠기=12,13,1

2.1 이론적 배경=12,13,7

2.2 전산모의실험=18,19,5

2.3 표면거칠기 측정장치=22,23,10

2.4 실험결과 및 고찰=31,32,9

2.5 결론=39,40,1

참고문헌=40,41,1

3. 합금화도=41,42,1

3.1 이론적 배경=42,43,15

3.2 합금화도 측정 장치=56,57,11

3.3 실험결과 및 고찰=66,67,20

3.4 결론=85,86,1

참고문헌=86,87,1

4. 표면형상=87,88,1

4.1 이론적 배경=87,88,15

4.2 표면형상 측정장치=102,103,7

4.3 실험결과 및 고찰=108,109,23

4.4 결론=130,131,1

참고문헌=131,132,1

5. 표면품질 종합계측시스템=132,133,1

5.1 광학계 구성=132,133,3

5.2 시스템 구성=134,135,2

5.3 기존 제품과의 차이점=135,136,3

6. 결론=138,139,1

표목차

표 4-1 곡률반경의 최대 측정 한계치=130,131,1

표 5-1 개발 시스템과 기존 제품의 차이점=137,138,1

그림목차

그림 2-1. 평균표면거칠기의 정의=13,14,1

그림 2-2. PPI(peaks per inch)의 정의=14,15,1

그림 2-3. 거친 표면의 레이저 광산란 분포=15,16,1

그림 2-4. g에 따른 정반사 산란식의 관계=18,19,1

그림 2-5. 자체상관길이에 따른 정반사광의 세기에 대한 전산모의실험 결과(a) λ=0.63㎛,(b) λ=3.39㎛=20,21,1

그림 2-6. 표면거칠기에 따른 광산란분포=21,22,1

그림 2-7. 표면거칠기에 따른 모사 데이터=22,23,1

그림 2-8. 광학계 구성도=23,24,1

그림 2-9. 표면거칠기 측정용 광학계=23,24,1

그림 2-10. 광학계 이동장치=24,25,1

그림 2-11. 광학계가 장착된 광학계 이동장치=25,26,1

그림 2-12. 신호처리시스템 데이터 구성도=26,27,1

그림 2-13. 신호처리시스템 데이터의 흐름을 내타낸 flow chart=27,28,1

그림 2-14. 광 신호를 포접하여 표면거칠기를 계산하여 화면에 출력하는 flow chart=28,29,1

그림 2-15. 표면거칠기 모니터 화면=29,30,1

그림 2-16. 표면거칠기 측정장치=30,31,1

그림 2-17. 입사각에 따른 정반사광의 세기[원본불량;p.32]=32,33,1

그림 2-18. 레이저 광선의 파장에 따른 평균표면거칠기의 측정치(a) λ=0.63㎛ (b) λ=3.39㎛=33,34,1

그림 2-19. 정지상태에서의 표면거칠기 측정치=34,35,1

그림 2-20. 시편의 이동속도 200mpm인 경우의 표면거칠기 측정치=34,35,1

그림 2-21. 표면거칠기 측정장치의 현장시편 데이터=36,37,1

그림 2-22. 수직진동에 의 한 표면거칠기 오차=37,38,1

그럼 2-23. 길이에 따른 SPM 롤의 표면거칠기 경향=37,38,1

그림 2-24. 자기상관길이 T와 PPI와의 관계. 임계 레벨(a) 0.1 mm,(b) 0.15 mm,(c) 0.20 mm,(d) 0.25 mm=38,39,1

그림 2-25. 광학적 방법과 접촉식 방법에 의한 PPI측정치=39,40,1

그림 3-1. 용융아연도금강판의 제조 라인=45,46,1

그림 3-2. 용융아연도금강판의 합금 형성 기구=46,47,1

그림 3-3. Fe과 Zn의 전기전도도와 반사도=46,47,1

그림 3-4. 광학적 적분기를 사용한 반사도 측정=47,48,1

그럼 3-5. 거친 표면에서의 산란=48,49,1

그림 3-6. 진동에 의한 반사각의 변화=54,55,1

그럼 3-7. 신호처리 알고리즘=56,57,1

그림 3-8. 합금화도 측정 실험장치=58,59,1

그림 3-9. 합금화도 측정시스템 광학계 개략도=59,60,1

그림 3-10. 합금화도 측정시스템 광학계 구성=60,61,1

그림 3-11. 신호처리계=61,62,1

그림 3-12. 메인 시스템의 구성=63,64,1

그림 3-13. 모니터링 시스템의 구성=64,65,1

그림 3-14. 다중-A/D converter의 구성도=66,67,1

그림 3-15. 용융아연 도금강판의 합금화도와 표면거칠기의 관계=67,68,1

그림 3-16. 합금화도와 반사도와의 관계:(a) 표면거칠기 영향 무보정,(b) 표면거칠기에 의한 산란영향을 제거.=68,69,1

그림 3-17. 합금화도 측정의 광학적 방법과 습식방법의 비교:(a) 표면거칠기 영향 무보정,(b) 표면거칠기에 의한 산란영향을 제거.=69,70,1

그림 3-18. (a) 기울기 진동과 (b) 변위진동에 따른 합금화도 측정치의 변화=71,72,1

그림 3-19. 광학적인 방법과 X-선 회절방법에 의한 합금화도 측정치 비교=76,77,1

그림 4-1. 강판의 길이방향 형상(a)과 반곡(b)=87,88,1

그림 4-2. 동일한 간격을 가진 불투명한 줄무늬와 투명한 줄무늬로 구성된 Ronchi ruling grating=88,89,1

그림 4-3. 두 Ronchi-ruling 격자(G1,G2)의 겹침에 의한 모아레 간섭무늬=89,90,1

그럼 4-4. Indicial equation에서의 indexing=89,90,1

그림 4-5. 격자이동에 의한 모아레 간섭무늬의 이동=94,95,1

그림 4-6. 그림자식 모아레 간섭법의 개념도=97,98,1

그럼 4-7. 시편에 의한 격자무늬의 변형=98,99,1

그림 4-8. 시편의 곡률반경 계산=100,101,1

그럼 4-9. 형상측정용 모아레 간섭계=102,103,1

그림 4-10. 한 개의 변형격자를 이용한 모아레 간섭계의 광학계 구성도=102,103,1

그림 4-11. 모아레 간섭제의 광학계 사진=103,104,1

그림 4-12. 두 개의 변형격자를 이용한 모아레 간섭제의 광학계 구성도=105,106,1

그림 4-13. 두 변형시편을 이용한 모아레 간섭계 전체 사진=106,107,1

그림 4-14. 모아레 간섭제의 광학계 사진=107,108,1

그림 4-15. CCD 카메라로부터 받은 영상=108,109,1

그립 4-16. 투영 격자의 촬영 image=109,110,1

그림 4-17. CCD image와 가상격자에 의해 형성된 모아레 무늬=109,110,1

그림 4-18. 투영 격자 image의 세선화 결과=110,111,1

그림 4-19. 세선화된 투영 격자 image에 의한 모아레 무늬=110,111,1

그림 4-20. 모아레 무늬의 세선화=111,112,1

그림 4-21. 평평한 시편에서의 모아레 무늬=111,112,1

그림 4-22. 형상 측정 데이터들의 출력 모습=112,113,1

그림 4-23. 좌우 투영격자들의 촬영 이미지 (a)피치 1/2000 inch인 격자의 투영 이미지 (b)피치 1mm인 격자의 투영 이미지=113,114,1

그림 4-24. 투영각도에 따른 격자의 균일성 실험데이터=(a) 격자의 이미지,(b)각 지점에서의 격자간격과 중앙지점에서의 격자간격과의 차이.=115,116,1

그림 4-25. 두 격자의 중첩에 의한 모아레 무늬=116,117,1

그림 4-26. (a) 변형시편(높이=1.5 mm)에 대한 모아레 무치의 이미지,(b) 투영각도에 따른 모아레 무늬의 천이량을 나타낼 그래프=117,118,1

그림 4-27. (a) 변형시편(높이1.5 mm)에 대한 모아레 무늬의 이미지 (b) 격자 간 각도에 따른 모아레 무늬의 천이량을 나타낸 그래프=120,121,1

그림 4-28. (a) 기울어진 시편에 대한 모아레 무직의 이미지(기울기:0.08) (b) 모아레 무늬 각각의 지점에서 측정한 시편높이에 대한 그래프=121,122,1

그림 4-29. 임의의 지점에서의 높이=122,123,1

그림 4-30. 실험 과정의 flow chart=123,124,1

그림 4-31. (a) 기준시편과 굴곡이 있는 시편의 모아레 이미지(정면) (b) (a)사진의 측면 모습=124,125,1

그림 4-32. 곡률반경 15 mm인 시편에 대한 데이터 (a) 모아레 무늬의 이미지 (b) 시편높이의 그래프=125,126,1

그림 4-33. 곡률반경 17 mm인 시편에 대한 데이터 (a) 모아레 무늬의 이미지 (b) 시편높이의 그래프=126,127,1

그림 4-34. 곡률반경 19 mm인 시편에 대한 데이터 (a) 모아레 무늬의 이미지 (b) 시편높이의 그래프=126,127,1

그림 4-35. 곡률반경 21 mm인 시편에 대한 데이터 (a) 모아레 무늬의 이미지 (b) 시편높이의 그래프=127,128,1

그림 4-36. 곡률반경 23 mm인 시편에 대한 데이터 (a) 모아레 무늬의 이미지 (b) 시편높이의 그래프=127,128,1

그림 4-37. 곡률반경 25 mm인 시편에 대한 데이터 (a) 모아레 무늬의 이미지 (b) 시편높이의 그래프=128,129,1

그림 4-38. 실제 시편의 곡률반경과 모아레 무늬로부터 측정된 곡률반경=129,130,1

그림 4-39. 기울어진 시편(오른쪽)을 통해 측정 가능한 최소 높이=130,131,1

그림 5-1. 표면품질 종합계측 시스템의 광학계 구성도=133,134,1

그림 5-2. 표면품질 종합계측 시스템의 광학계 모듈=134,135,1

그림 5-3. 표면품질 종합계측 시스템의 측정 flow chart=135,136,1