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목차

[표제지]=0,1,1

제출문=i,2,1

요약문=ii,3,3

Summary=v,6,2

Contents=vii,8,2

목차=ix,10,2

그림목차=xi,12,1

표목차=xii,13,1

제1장 연구개발과제의 개요=1,14,1

제1절 연구개발의 목적=1,14,1

제2절 연구개발의 필요성=1,14,3

제3절 연구개발의 범위=3,16,1

제2장 국내ㆍ외 기술개발 현황=4,17,1

제1절 국내ㆍ외 기술개발 현황=4,17,1

제3장 연구개발수행 내용 및 결과=5,18,1

제1절 이론적 접근방법=5,18,1

1. SRIM을 Program을 이용한 최대 에너지 전달 깊이=5,18,1

2. 양극접합(Anodic Bonding) 이론=6,19,7

제2절 실험적 접근방법=13,26,1

1. 실험 방법별 추진체계=13,26,1

2. Pyrex/Si Wafer-Bonding을 위한 최대 에너지 전달 깊이 계산=14,27,2

3. 양성자빔 타입 계산=16,29,2

4. Sample Preparation=18,31,1

5. 양성자빔에 의한 본딩 온도 측정=18,31,1

6. 양성자빔 조사방법=19,32,4

7. 접합 특성 분석 방법=23,36,1

제3절 연구내용=24,37,1

제4절 연구결과=24,37,1

1. 양성자빔 조사에 따른 본딩온도 측정=24,37,7

2. Pyrex Glass와 Si Wafer의 이종접합=31,44,1

3. 전자빔 용접과 특성 비교분석=31,44,5

제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외 기여도=36,49,1

제1절 연구개발 목표의 달성도=36,49,1

1. 연구개발 목표 및 내용=36,49,1

2. 연구개발 목표의 달성도=36,49,2

제2절 관련분야에의 기여도=38,51,1

제5장 연구개발결과의 활용계획=39,52,2

제6장 참고문헌=41,54,1

서지정보양식=42,55,2

표목차

표1. 양극접합에 사용되는 Glass의 특성=11,24,1

표2. Pyrex #7740 Glass의 화학조성=12,25,1

표3. 양성자빔을 이용한 마이크로 용접의 연구내용=24,37,1

그림목차

그림1. 전자빔 용접과 양성자 빔 용접의 비교(이종물질의 단면 접합 용접)=2,15,1

그림2. 다양한 금속, 세라믹에 대한 양성자 침투 깊이(양성자 에너지＝20MeV)=5,18,1

그림3. Si-O-Si 원자성 공유결합=8,21,1

그림4. 양극접합 메커니즘=9,22,1

그림5. 실험 방법별 체계도=13,26,1

그림6. 에너지 대역별 최대 에너지 전달 깊이=14,27,1

그림7. 빔 에너지 12.5MeV일 때 에너지 전달 특성=15,28,1

그림8. Cap 모양의 Pyrex Sample=17,30,1

그림9. 실험에 사용된 Pyrex Glass와 Si Wafer=18,31,1

그림10. 접합면의 온도 측정 방법=18,31,1

그림11. 양성자빔 조사 방법=19,32,1

그림12. Die Level 양성자빔 조사 방법=20,33,1

그림13. Wafer Level 양성자빔 조사 방법=21,34,1

그림14. 다층박막 형태의 시편 접합 시 양성자빔 조사 방법=22,35,1

그림15. 비파괴 분석방법=23,36,1

그림16. 접합 파괴 분석방법=23,36,1

그림17. Thermocouple을 이용한 용접면의 온도측정 방법=26,39,1

그림18. 13 MeV, 200 nA의 조건에서 시간에 따른 온도분포=27,40,1

그림19. 13 MeV, 1 ㎂의 조건에서 시간에 따른 온도분포=28,41,1

그림20. 13 MeV, 10 ㎂의 조건에서 시간에 따른 온도분포=29,42,1

그림21. 30 MeV, 10 ㎂의 조건에서 시간에 따른 온도분포=30,43,1

그림22. 양성자빔 조사에 의해 녹은 Pyrex Glass=33,46,1

그림23. 양성자빔을 이용하여 접합된 Pyrex Glass와 Si Wafer 접합 사진=34,47,1

그림24. 전자빔 용접을 이용하여 접합된 Pyrex/Si Wafer 접합 사진=35,48,1

그림25. 양성자 빔 용접을 이용한 Bio-Chip 밀폐(MEMS 소자의 상ㆍ하부 Pyrex Cover 용접)=40,53,1

영문목차

[title page etc.]=0,1,5

Summary=v,6,2

Contents=vii,8,6

Chapter 1. The Outline Of Research Development=1,14,1

(1) Aim Of Research Development=1,14,1

(2) Necessity Of Research Development=1,14,3

(3) Scope Of Research Development=3,16,1

Chapter 2. The Present Situation Of Technology Development Within Or Out Of The Country=4,17,1

(1) The Present Situation Of Technology Development Within Or Out Of The Country=4,17,1

Chapter 3. The Contents And Results Of Research Development=5,18,1

(1) Theoretical Approach Methods=5,18,8

(2) Experimental Approach Methods=13,26,11

(3) Contents Of Research=24,37,1

(4) Results And Consideration=24,37,12

Chapter 4. The Achievement Of Project Object And Contribution Of The Related Area=36,49,1

(1) The Achievement Of Project Object=36,49,2

(2) The Contribution Of The Related Area=38,51,1

Chapter 5. Proposal For Application=39,52,2

[Chapter 6. Reference etc.]=41,54,2

Bibliographic Information Sheet=43,56,1

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