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목차

[표제지]=0,1,1

제출문=1,2,1

핵심기술개발사업 보고서 초록=2,3,1

목차=3,4,2

제1장 서론=5,6,1

제1절 기술개발의 필요성 및 목표=6,7,1

1. 기술개발의 필요성=6,7,2

2. 국내ㆍ외 기술개발 현황=8,9,41

3. 연차별 연구 개발 목표=49,50,4

제2절 연차별 연구 개발 추진 체계 및 전략=53,54,2

제2장 기술개발 내용 및 방법=55,56,1

제1절 연구개발 내용, 결과 및 달성도=56,57,7

제2절 핵심기술 확보 수준 및 대표적 성과=63,64,1

1. 해당 과제의 기술수준 성취도=63,64,1

2. 대표적 확보 기술 및 성공 사례=64,65,1

제3절 기술개발성과 현황=65,66,1

1. 총괄=65,66,1

2. 논문(3건)=66,67,5

3. 국내외 학술대회 발표(18건)=71,72,15

4. 산업재산권: 건수 및 내용 기재 : 출원(10건), 등록(1건)=86,87,8

5. 국제협력현황=94,95,1

제4절 2단계 연구개발결과 요약=95,96,1

1. 1차년도 연구 개발 결과=95,96,126

2. 2차년도 연구 개발 결과=220,222,146

3. 3차년도 연구 개발 결과=366,368,110

4. 2단계 종합 연구 개발 결과=476,478,15

제3장 결과 및 향후계획=491,493,1

제1절 기술개발성과의 활용 및 실용화 가능성=492,494,1

1. 국내외 시장 현황 및 전망=492,494,1

2. 사업성과=492,494,1

제2절 기술개발을 통해 파생된 성과=493,495,1

1. 기술개발성과의 응용잠재력 및 사업화시의 활용가능성=493,495,1

2. 연구개발성과의 산업ㆍ공공분야 파급효과=493,495,2

3. 기대하지 않은 두드러진 연구 성과=494,496,1

칼라목차

jpg

Figure D.1. PMMA Attenuation Length Versus Photon Energy=192,194,1

Figure D.2(a). The Attenuation Length Of Materials Used as A Pre-Absorber Compared To That Of Gold Absorber=192,194,1

Figure D.2(b). The Attenuation Length Of Materials Used As A Preabsorber Compared To That Of Gold Absorber=193,195,1

Figure D.3. The Attenuation Length Of Materials Used As An X-Ray Mask Blank Compared To PMMA Attenuation Length=193,195,1

그림241. LiGA Spike 제작을 위한 X-Ray 노광 공정도=372,374,1

그림242. LiGA Spike 제작을 위한 후속 공정도=373,375,1

그림261. LiGA 공정 기반의 구동기 제작용 X-Ray 제작=402,404,1

그림262. LiGA Spike 제작을 위한 X-Ray 노광 공정도=403,405,1

95-1,97,1

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