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목차

[표제지]=0,1,1

제출문=i,2,2

요약문=iii,4,4

Summary=vii,8,4

Contents=xi,12,2

목차=xiii,14,1

제1장 개요=1,15,6

제2장 RF MEMS 스위치 개발=7,21,2

제1절 연구개발 방향 설정=9,23,7

제2절 정전구동형 스위치 개발=16,30,26

제3절 DC-DC converter 개발=42,56,31

제4절 압전구동형 PZT 스위치 연구=73,87,14

제3장 FBAR 듀플렉서 개발=87,101,2

제1절 FBAR 공진기 제조=89,103,9

제2절 FBAR 듀플렉서 제조=98,112,6

제3절 상용화 및 양산화=104,118,5

제4장 CSP 패키지 개발=109,123,2

제1절 연구개발 방향 설정=111,125,2

제2절 CSP 패키지 제조=113,127,8

제3절 양산화=121,135,2

[제5장 결론 등]=123,137,5

영문목차

[title page etc.]=0,1,7

Summary=vii,8,4

Contents=xi,12,3

Chapter1. Introduction=1,15,6

Chapter2. Development Of RF MEMS Switch=7,21,2

Section1. Establishment Of R&D Direction=9,23,7

Section2. Development Of Electrostatic Switch=16,30,26

Section3. Development Of DC-DC Converter=42,56,31

Section4. Research On Piezoelectric PZT Switch=73,87,14

Chapter3. Development Of FBAR Duplexer=87,101,2

Section1. Fabrication Of FBAR Resonator=89,103,9

Section2. Fabrication Of FBAR Duplexer=98,112,6

Section3. Commercialization & Mass-Production=104,118,5

Chapter4. Development Of CSP Package=109,123,2

Section1. Establishment Of R&D Direction=111,125,2

Section2. Fabrication Of CSP Package=113,127,8

Section3. Mass-Production=121,135,2

[Chapter5. Conclusions etc.]=123,137,5

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