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발간사
추천의 글 / 최호영
목차
1. 공기조화 및 제어 기초 15
1.1. 습공기(Moist Air) 16
1.2. 습공기 과정 21
1.3. 클린룸 습공기 선도 및 기기 선정 27
1.4. 클린룸 환기효율 및 배기효율 31
1.5. 공조 시스템의 자동 제어 40
1.6. PID 제어 45
1.7. PID 제어기의 게인 튜닝 59
2. 클린룸 공조에너지 절감 기술 74
2.1. 개요 76
2.2. 클린룸 공조에너지 비교 지표와 클린룸 에너지 벤치마킹 81
2.3. 환기횟수 감소 88
2.4. 외기도입량 최적화 101
2.5. 수요기반 풍량 제어 106
2.6. 중앙 풍도 설치 113
2.7. 천장 재순환 시스템 119
2.8. 팬필터유닛 (FFU, EFU 포함) 124
2.9. 저 압력손실 에어시스템 설계 128
2.10. 실내 수분무 가습 132
2.11. 공조기 수분무 가습 144
2.12. 공조기 폐열회수 153
2.13. 외기 냉각(프리쿨링, Free-cooling) 164
2.14. 현열냉각시스템 171
2.15. 공조 운전경로 모니터링 및 최적 제어 175
2.16. 기타 에너지 절감기술 179
3. 공조 운전경로 모니터링 및 최적제어 실증 사례 188
3.1. 공조 운전경로 190
3.2. 최적제어 203
3.3. 공조 운전경로 모니터링 시스템 구축 205
3.4. 공조 운전경로 모니터링 결과 분석 224
3.5 공조기 및 제어 계통 문제점 분석 235
3.6. 개선방안 및 에너지 절감 효과 238
3.7. 추가 고려 사항 243
개발자의 말 / 노광철 246
개발자의 말 / 이윤수 248
판권기 250
그림 1.1. 단열포화장치의 개략도 17
그림 1.2. 습공기선도(h-x 선도)의 각 선들의 의미 19
그림 1.3. 습공기 선도 (대한설비공학회) 20
그림 1.4. 단열혼합과정 22
그림 1.5. 현열가열 과정 23
그림 1.6. 냉각 제습 과정 24
그림 1.7. 가습 과정 26
그림 1.8. 증발 냉각 방식의 개략도 26
그림 1.9. 클린룸 계통도 27
그림 1.10. 외조기 습공기 선도 28
그림 1.11. 순환용 공조기 습공기 선도 29
그림 1.12. 공기 나이 개념 32
그림 1.13. 실내에서 완전혼합 34
그림 1.14. 피스톤 유동 35
그림 1.15. 오염원의 위치가 배기효율에 미치는 영향 36
그림 1.16. 오염물질 제거효율을 고려한 입자농도 37
그림 1.17. 플랜트의 개념도 40
그림 1.18. 수동 제어 예 41
그림 1.19. 자동 제어 예 41
그림 1.20. 오차값을 이용한 자동 제어의 개념도 42
그림 1.21. 개루프 제어 시스템 43
그림 1.22. 플랜트에 발생하는 불확실성 44
그림 1.23. SISO 시스템과 MIMO 시스템의 예 45
그림 1.24. 제어기가 제어값을 결정하는 예시 46
그림 1.25. 피드백 제어시스템의 응답 특성 47
그림 1.26. 시스템의 응답 성능을 나타내는 지표 48
그림 1.27. 스프링-댐퍼 시스템의 상태 방정식 49
그림 1.28. t 도메인과 s 도메인의 관계 50
그림 1.29. 플랜트의 블록 선도 51
그림 1.30. 일반적인 피드백 제어시스템의 블록 선도 52
그림 1.31. 비례 제어(P 제어) 시스템의 블록 선도 53
그림 1.32. 정상상태 오차 54
그림 1.33. Kp 값에 따른 응답의 변화 추이 55
그림 1.34. 비례 적분 제어(PI 제어) 시스템의 블록 선도 56
그림 1.35. Ki 값에 따른 응답의 변화 추이 56
그림 1.36. 비례 적분 미분 제어(PID 제어) 시스템의 블록 선도 57
그림 1.37. Kd 값에 따른 응답의 변화 추이 58
그림 1.38. PID 제어기의 블록선도 58
그림 1.39. Kp의 증가로 인한 효과 62
그림 1.40. Kp의 감소로 인한 효과 62
그림 1.41. 안정도가 나쁜 상태에서 Kp의 감소로 인한 효과 63
그림 1.42. Ki 값의 증가로 인한 변화 64
그림 1.43. Ki 값의 감소로 인한 변화 65
그림 1.44. Kd의 값의 감소로 인한 변화 66
그림 1.45. PID 게인 튜닝에 대한 응답의 양상 변화 66
그림 1.46. 제어 대상 시스템 구조 67
그림 1.47. Kp 값의 변화에 따른 시스템의 응답 결과 68
그림 1.48. Ki 값의 변화에 따른 시스템의 응답 결과 69
그림 1.49. Kd 값의 변화에 따른 시스템의 응답 결과 70
그림 1.50. Kp=50에서 Ki 값의 변화에 따른 시스템의 응답 결과 71
그림 1.51. Kp=50, Ki=50에서 Kd 값 변화에 따른 시스템 응답 결과 72
그림 2.1. 클린룸 에너지 소비량의 예 79
그림 2.2. 클린룸 환기횟수 비교 83
그림 2.3. 클린룸 순환공기 시스템 에너지 효율 비교 84
그림 2.4. 클린룸 냉동기 플랜트 에너지 효율 비교 85
그림 2.5. 클린룸 프로세스 장비 전력 밀도 비교 85
그림 2.6. 클린룸 외조기 공급 시스템 에너지 효율 비교 86
그림 2.7. Mini-Environment의 단위 풍량당 에너지소비량 비교 87
그림 2.8. IEST의 클린룸 권장 환기횟수 (IEST) 88
그림 2.9. 클린룸 레이아웃의 변화 90
그림 2.10. 오염원의 위치가 오염물질 제거효율 미치는 영향 92
그림 2.11. 오염물질 제거효율을 고려한 입자농도 94
그림 2.12. 클린룸 청정도 계산 : 덕트 계통도의 예 95
그림 2.13. 환기횟수에 따른 클린룸 내부 청정도 및 전력량 감소 98
그림 2.14. 환기횟수에 따른 클린룸 팬 에너지 절감 99
그림 2.15. 환기회수에 대한 벤치마킹 데이터 100
그림 2.16. 클린룸 순환공기 시스템 에너지 효율 비교 101
그림 2.17. 클린룸 외기도입량 최적화(배기량 조정을 통한 차압 회복) 104
그림 2.18. 클린룸 공조 팬 에너지 효율 비교(그림 2.2.5와 동일, LBNL) 104
그림 2.19. 가변운전에 따른 공조운전 절감운전 및 복귀 재가동 절차 108
그림 2.20. 가변운전에 따른 클린룸 에너지 절감 포인트 109
그림 2.21. 입자 모니터링 방식 급기 풍량 제어 110
그림 2.22. 클린룸 내 발생량과 환기횟수에 따른 청정도 변화 111
그림 2.23. 입자 모니터링 이용 풍량제어를 통한 연간 팬에너지 소비량 예측 112
그림 2.24. SMART M/E 시스템 구성 113
그림 2.25. 기외정압감소에 따른 FFU 운전 대수 감소 115
그림 2.26. 클린룸 모델 116
그림 2.27. 클린룸 모델별 기류 특성 116
그림 2.28. 중앙풍도 위치에 따른 해석 모델링 117
그림 2.29. 중앙풍도 개수에 따른 기외정압 감소 118
그림 2.30. 중앙풍도 개수및 위치에 따른 기외정압 감소 118
그림 2.31. 천장 재순환형 클린룸 시스템의 구조 120
그림 2.32. 다공율에 따른 에너지소비량 변화 121
그림 2.33. FFU 방식 클린룸과 테스크·엠비언트 클린 공조 시스템 122
그림 2.34. 에너지 절감 개념도 123
그림 2.35. FFU와 EFU 설치 예 125
그림 2.36. 초박형 FFU 126
그림 2.37. 고효율 EFU 도입 및 온실가스·에너지 감축 사례 127
그림 2.38. FFU 순환팬 에너지 효율 벤치마킹 데이터 127
그림 2.39. 클린룸 순환팬 시스템 129
그림 2.40. 순환팬 에너지 효율 벤치마킹 데이터 131
그림 2.41. 순환팬 에너지 효율과 필터 압력손실 132
그림 2.42. 증기 가습시스템 133
그림 2.43. 실내 수분무 가습시스템 134
그림 2.44. 실내 수분무 가습시스템 습공기선도 135
그림 2.45. 2-유체식 노즐의 분사원리 137
그림 2.46. 실내 수분무 가습시스템 개요 139
그림 2.47. 기화식 가습시스템 적용시 겨울철 피크부하 열량흐름 139
그림 2.48. 실내 수분무 가습시스템 적용시 겨울철 피크부하 열량흐름 140
그림 2.49. 기화식 가습시스템과 실내 수분무 가습시스템 적용시 부하 절감량 141
그림 2.50. 월별 가습, 감습량 141
그림 2.51. 실내 수분무 가습시스템 143
그림 2.52. 실내 수분무 가습시스템 설치 143
그림 2.53. 실내 수분무 가습시스템 설치 전후 스팀 사용량 변화 144
그림 2.54. 기화식 가습(에어워셔) 시스템의 예 145
그림 2.55. 에어워셔 수온에 따른 외기 상태변화 146
그림 2.56. 공조기 수분무 가습 적용 예 147
그림 2.57. 외조기 기화식 가습 적용 예 149
그림 2.58. 에코워셔에 의한 냉각, 감습, 가열, 가습 150
그림 2.59. 에코워셔에 외기공조시스템 계략도 151
그림 2.60. 기존 외기공조기 개조 사례 152
그림 2.61. 하이브리드 열회수식 에어워셔 외기공조시스템의 구성 155
그림 2.62. 하이브리드 열회수식 에어워셔 외기공조시스템의 구성 157
그림 2.63. 고온 냉수시스템의 도입을 통한 연간 전력소비량 변화 158
그림 2.64. 냉방시 히트펌프를 이용한 배기열 회수기술 159
그림 2.65. 난방시 히트펌프를 이용한 배기열 회수기술 160
그림 2.66. 외기 온도에 따른 난방 열원별 사용 에너지 비용 비교 그래프 161
그림 2.67. 여름철 외조기의 에너지 소비량 비교 대상 시스템 162
그림 2.68. 대상 시스템별 해석 조건 163
그림 2.69. 에너지 절감량 비교 163
그림 2.70. 프리쿨링 루프의 예 165
그림 2.71. 프리쿨링 방식 167
그림 2.72. 프리쿨링 냉각탑 벤치마킹 데이터 168
그림 2.73. 이중 냉각탑/듀얼 프리쿨링 방식 169
그림 2.74. FCU 현열 냉각시스템 172
그림 2.75. FDCU 시스템 174
그림 2.76. FDCU 현열 냉각시스템 175
그림 2.77. 공조 운전경로 모니터링 개념 176
그림 2.78. 기존 모니터링과 공조 운전경로 모니터링 비교 176
그림 2.79. 공조기의 실제 운전 경로와 최적 운전 경로 178
그림 2.80. 냉수 온수에 따른 냉동기 플랜트 효율 179
그림 2.81. 이중 온도 냉수 시스템의 냉동기 구성도 180
그림 2.82. 이중 온도 냉수 시스템의 냉동기 구성도 182
그림 2.83.압력일정 회전수 제어 시스템 184
그림 2.84. 관로저항특성 예측 제어시스템 185
그림 2.85. 2차 송수펌프 에너지 전력량 분석 사례 186
그림 3.1. 공기조화 설비의 계통도 190
그림 3.2. 공기조화기 구성요소 191
그림 3.3. 자동제어 HMI 화면 192
그림 3.4. 냉방시 공조 운전경로 193
그림 3.5. 난방시 공조 운전경로 193
그림 3.6. 실제 공조 운전경로 194
그림 3.7. 최적 공조 운전경로 195
그림 3.8. 실제 운전경로 vs 최선 운전경로 vs 최적 운전경로 196
그림 3.9. 공조 설비 전체 계통도 198
그림 3.10. 공기조화기 자동제어 계통도 199
그림 3.11. 공기조화시스템에서의 지연 시간 202
그림 3.12. Stroke 변화에 따른 열량/유량변화 지연시간 202
그림 3.13. 공기조화기 프로세스별 운전 경향 204
그림 3.14. 지연시간으로 인한 제어 편차 205
그림 3.15. 공기 흐름 계통도(AHU-001) 207
그림 3.16. 공기 흐름 계통도(AHU-002) 208
그림 3.17. 자동제어 현황 209
그림 3.18. 최적 운전 경로 산출하는 법 I 211
그림 3.19. 최적 운전 경로 산출하는 법 II 211
그림 3.20. 실시간 공조에너지 소비계수(CECR) 산출 212
그림 3.21. 일별 일평균 공조 운전경로 214
그림 3.22. 기존 HMI 시스템과의 연계 215
그림 3.23. 모니터링 시스템 구성요소 216
그림 3.24. 모니터링 시스템 적용 후 계측점 218
그림 3.25. AHU-001 온습도 센서 설치 위치 219
그림 3.26. AHU-002 온습도 센서 설치 위치 219
그림 3.27. 공조기 외부 온습도 센서 설치 220
그림 3.28. SA, RA 온습도 센서설치(AHU-001) 220
그림 3.29. OA 온습도 센서설치(AHU-001) 221
그림 3.30. H/C, C/C 후단 온습도 센서설치(AHU-001) 221
그림 3.31. C/C, RH/C, 가습기 후단 온습도 센서설치(AHU-001) 222
그림 3.32. SA, RA, OA 온습도 센서 설치(AHU-002) 222
그림 3.33. C/C 후단 온습도 센서 설치(AHU-002) 223
그림 3.34. RH/C, H/C, 가습기 후단 온습도 센서 설치(AHU-002) 223
그림 3.35. 모니터링 시스템 설치 224
그림 3.36. 모니터링 프로그램 및 HMI 구현 224
그림 3.37. AHU-001의 개선 전 운전경로 효율 225
그림 3.38. AHU-001의 최적 운전경로 226
그림 3.39. AHU-002 공조 운전경로 효율 231
그림 3.40. AHU-002 최적 운전경로 효율 231
그림 3.41. bypass 밸브의 개방 235
그림 3.42. 외기에 의한 코일 동파 236
그림 3.43. AHU-001의 프로세스별 운전 경향 236
그림 3.44. PID 변경 전 공조기 온도 상태 237
그림 3.45. 열교환기 또는 Air Mixer를 통한 동파방지 238
그림 3.46. High select control logic 계통도 240
그림 3.47. High select control logic 240
그림 3.48. 자동제어 프로그램 로직 개선 242
그림 3.49. 피드포워드 제어 244
그림 3.50. 냉방운전 + 스팀가습 245
그림 3.51. 수분무 가습 방식 245
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