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[표지] 1

연구결과 요약문 3

목차 4

1. 연구개발과제의 개요 5

1.1. 평판 스테이지 시스템 개요 5

1.2. 국내외 연구동향 5

1.2.1. 관련 연구 동향 5

1.2.2. 관련 연구의 한계 6

1.3. 연구의 필요성 6

1.3.1. 전류추정기의 위상지연으로 인한 진동 발생 6

1.3.2. 고차 동력학 시스템으로 인한 제어기 연산량 증가 6

1.3.3. 시스템 외란에 대한 위치제어기의 성능 저하 6

2. 연구수행내용 및 연구결과 7

2.1. 1차년도 연구수행내용 및 연구결과 7

2.1.1. 연구 목표 7

2.1.2. 연구 내용 7

2.1.3. 세부내용 달성도 판별 8

2.2. 2차년도 연구수행내용 및 연구결과 8

2.2.1. 연구 목표 8

2.2.2. 연구 내용 9

2.2.3. 세부내용 달성도 판별 11

2.3. 3차년도 연구수행내용 및 연구결과 11

2.3.1. 3차년도 연구 목표 11

2.3.2. 3차년도 연구 내용 11

2.2.3. 세부내용 달성도 판별 13

3. 연구개발결과의 중요성 13

3.1. 연구의 창의성 및 도전성 13

3.2. 연구결과의 기술적 가치 및 산업적 가치 13

4. 참고문헌 14

5. 연구성과 16

주관연구책임자(공동연구원 포함) 대표적 연구실적 18

<별첨> 주관연구기관의 자체평가 의견서[내용없음] 4

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