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[표지] 1

연구결과 요약문 3

목차 4

1. 연구개발과제의 개요 5

1.1. 연구목표 5

1.2. 연구범위 5

2. 연구수행내용 및 연구결과 6

1. [제목없음] 6

(1) 에치 팩터 향상을 위한 복합 전해에칭 공정 시스템 구축 6

(2) 에치 팩터 향상을 위한 에칭 기초 실험 7

(3) 에치 팩터 향상을 위한 복합 전해에칭 공정 개발 9

(4) 에치 팩터 2를 갖는 패턴 에칭 11

(5) 에치 팩터 3를 갖는 패턴 에칭 12

(6) 에치 팩터 향상을 위한 복합 전해에칭 공정 최적화 13

2. 연구종료기간까지 목표달성 여부 14

(1) 에치 팩터가 향상(에치 팩터 2이상)된 금속 부품의 응용 가능한 구조물 제작 14

(2) 에치 팩터 향상을 위한 복합 전해에칭 공정 최적화 14

3. 연구개발결과의 중요성 14

4. 참고문헌 15

5. 연구성과 16

주관연구책임자 대표적 연구실적 18

〈붙임〉 주관연구책임자(공동연구원 포함) 대표적 논문·특허실적 요약문 19

별첨[내용없음] 4

〈별첨1〉 자체평가 의견서[내용없음] 0

〈별첨2〉 연구개발성과 활용계획서[내용없음] 0

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