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[표지] 1
제출문 2
기술개발사업 최종보고서 초록 3
기술개발사업 주요 연구성과 8
국문 요약문 14
목차 18
제1장 서론 23
제1절 개발기술의 중요성 및 필요성 23
제2절 국내‧외 관련 기술 및 시장의 현황 25
제3절 기술개발 시 예상되는 기술적‧경제적 파급효과 28
제2장 기술개발 내용 및 방법 29
제1절 최종 목표 및 평가 방법 29
제2절 연차별 개발 내용 및 개발범위 30
제3장 결과 및 향후 계획 35
제1절 연구개발 결과 35
1. 연차 연구개발 추진 일정 35
2. 연차 연구개발 추진 실적 35
3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 38
제2절 연구개발 추진 체계(각 기관/기업별 역할 및 추진 내역) 87
제3절 시장현황 및 사업화 전망 88
제4절 사업비 사용현황 91
제5절 연구개발결과의 활용계획 94
별첨 96
[별첨1] 자체평가서[내용누락;p.74-77] 96
[별첨2] 자체보안관리진단표 97
부록[내용없음] 19
[뒷표지] 99
(그림 1-1) (a) 햇빛에 의한 stray light (b) 반사광을 줄인 편광현상을 이용하여 자동차 번호판 인식율을 향상 23
(그림 1-2) IR cut filter의 개념도 24
(그림 1-3) 카메라 모듈의 구조 24
(그림 1-4) IR Cut Filter 적용 전후 촬영 이미지 24
(그림 1-5) Ghost & Flare image 24
(그림 1-6) 광학 설계 Ghost & Flare 검증 24
(그림 1-7) Reflection VS AOI 25
(그림 1-8) 와이어그리드를 통한 P파투과/S파반사 및 와이어그리드 SEM사진 25
(그림 1-9) (a) 수직,수평방향으로 긁힌 알루미늄 디스크판, (b) 일반적... 26
(그림 1-10) (a) IR Cut Filter (b)반사형 (c) 흡수형 26
(그림 1-11) 광학부품산업 Value Chain 27
(그림 1-12) 국내·외 주요 수요처 현황 28
(그림 2-1) IR cut filter의 스펙트럼 31
(그림 2-2) IR Cut Filter 적용 전후 촬영 이미지 31
(그림 2-3) E-Beam Evaporation 및 Dome, Crucible 32
(그림 2-4) IR cut filter 적용 Lens Module 개략도 32
(그림 2-5) Code V를 이용한 Lens광학설계 32
(그림 2-6) 편광감응형 IR-Cut Filter 적용에 따른 쵤영 이미지 예상 33
(그림 2-7) 나노패턴기반 편광구조 예시(좌) 및 나노패턴의 주기에 따른 p파/s파 대비비 예시(우) 33
(그림 2-8) 금속나노패턴이 형성된 편광변조기 구조변수(좌) 및 영상센서에 적용 예(우) 34
(그림 2-9) 편광 기능이 접목된 IR cut필터 제작 개념도 34
(그림 3-1) VIS반사율 (400-700nm) Simulations 38
(그림 3-2) VIS 투과율 (400-700nm) Simulations 38
(그림 3-3) 고 규격 증착설비 (Evaporation) 및 Dome, Crucible 39
(그림 3-4) Vis 렌즈 투과도 결과 40
(그림 3-5) 설계된 렌즈의 layout 41
(그림 3-6) 설계된 렌즈의 Field curves 42
(그림 3-7) 설계된 렌즈의 MTF(@831p/mm) 43
(그림 3-8) 설계된 렌즈의 Ray aberration curves 43
(그림 3-9) MCS 공차의 종류 44
(그림 3-10) Monte-Carlo simulation을 이용한 수율 분석 45
(그림 3-11) FDTD 기법(좌) 및 광시뮬레이션 구조 예(우) 51
(그림 3-12) Al 나노패턴의 LW 및 Depth변화에 따른 C/R변화(좌) 및 p-파와 s-파의 투과도 변화(우) 51
(그림 3-13) Al 나노패턴의 LW 및 Depth변화에 따른 C/R의 입사각에 따른 편차 ΔC/R 52
(그림 3-14) Al 나노패턴의 LW 및 Depth변화에 따른 C/R 변화율 mapping 53
(그림 3-15) Glass기판위에 형성된 TiO2/SiO2 다층박막 기반의 IR-Cut filter 특성 시뮬레이션 결과 53
(그림 3-16) Al 나노그리드 형성용 Test Mask 패턴 54
(그림 3-17) 8" Glass기판에 형성된 PR패턴(좌)에 대한 CD-SEM(중)결과 및 FIB 단면분석(우) 결과 54
(그림 3-18) 1차 Al 나노와이어 그리드 패턴에 의한 p파/s-파 투과도 곡선(가시광~근적외선) 55
(그림 3-19) 기존 Photolithography공정(좌), Lift-off공정(중) 55
(그림 3-20) Imprinting 공정 흐름도 55
(그림 3-21) Lift-off 공정으로 제작된 샘플들 (좌, 중) 및 Imprinting 공정으로 제작된 샘플(우) 사진 56
(그림 3-22) Lift-off 공정으로 제작된 Al 나노와이어 그리드의 SEM단면 사진 56
(그림 3-23) Al 경사증착 공정으로 제작된 Al 나노그리드의 SEM 단면 사진 57
(그림 3-24) 기존 Al 나노와이어 그리드 vs Al 경사증착으로 제작된 나노와이어... 57
(그림 3-25) (좌)기존 Al 나노와이어 그리드 vs (우) Al 경사증착으로 제작된... 58
(그림 3-26) 기존 Al 나노와이어 그리드(P파 투과도: 파란색) vs Al ... 58
(그림 3-27) 1차 Al 경사증착 나노와이어 그리드 샘플의 단면 SEM 59
(그림 3-28) 1차 Al 경사증착샘플에 대한 P파/S파 투과도 특성(가시광~ 근적외선 영역) 59
(그림 3-29) IR-cut filter가 형성된 8", 0.5t glass기판(좌) 및 형성된 Al 나노그리드 패턴의 구조도 60
(그림 3-30) Al 나노와이어 그리드 제작을 위한 개선된 Photolithography 공정 흐름도 60
(그림 3-31) 개선된 Photolithography 공정으로 제작된 샘플의 SEM 단면도 61
(그림 3-32) 8"Glass 기판위에 개선된 Photolithography 방식으로 제작된 Al 나노 그리드 편광자 61
(그림 3-33) IR Cut 필터 일체형 Al 나노그리드 기반 편광자의 투과도 특성(Al 두께: 270~280nm) 62
(그림 3-34) IR Cut 필터 일체형 Al 나노그리드 기반 편광자의 투과도 특성(Al 두께: 300~320nm) 62
(그림 3-35) Al 경사증착 공정 흐름도 63
(그림 3-36) Al 15nm 두께로 경사증착된 샘플의 SEM 단면도 63
(그림 3-37) Al 10nm 두께로 경사증착된 샘플의 SEM 단면도 63
(그림 3-38) 8"glass 기판에 Al 15nm 두께로 경사증착된 나노와이어 그리드 편광자 사진 63
(그림 3-39) 8"glass 기판에 Al 10nm 두께로 경사증착된 나노와이어 그리드 편광자 사진 63
(그림 3-40) Al 경사증착 방법으로 제작된 편광자의 P파/S파 투과도 곡선 64
(그림 3-41) 상용 편광필름의 P파/S파 투과도 곡선 64
(그림 3-42) IC-Cut 필터와 나노와이어 그리드 편광자에 의한 투과도 변화 비교 64
(그림 3-43) 국내 광학기업 매출 추이(직접경쟁업체) 89
(그림 3-44) 세계 광학기업 매출 추이(직접경쟁업체) 89
(그림 3-45) Filter Wafer 구조체, 제품화 94
(그림 3-46) Lens Module Ass'y 제품화 94
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