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표제지

목차

요약 5

제1장 서론 12

제1절 배경 및 필요성 12

제2절 연구목표 및 내용 15

제3절 연구 방법 19

제2장 공공Fab 국내ㆍ외 정책ㆍ투자 동향 21

제1절 서론 21

제2절 주요국 정책동향 23

제3절 주요국 공공Fab 현황 32

제4절 국내 공공Fab 구축ㆍ운영현황 42

제5절 국내 공공Fab 관련 정책 55

제6절 정부 R&D 반도체 시설ㆍ장비 투자 분석 58

제7절 소결 69

제3장 공공Fab 투자 기술분야ㆍ연계영역 발굴 71

제1절 목적 및 방법 71

제2절 워크숍 개최 개요 72

제3절 워크숍 개최 결과 76

제4절 소결 85

제4장 사례연구: 해외 공공Fab 분석 87

제1절 목적 및 방법 87

제2절 사례 1: IMEC(벨기에) 88

제3절 사례 2: 싱가포르 공공Fab 108

제4절 소결 140

제5장 결론 143

제1절 연구내용 및 결과 143

제2절 한계와 향후 과제 147

참고문헌 148

판권기 3

표목차

〈표 1〉 반도체 관련 ICTㆍSW 분야 세부 기술수준평가 결과 12

〈표 2〉 선행연구와의 차별성 18

〈표 3〉 주요국 반도체 정책동향 23

〈표 4〉 해외 주요 공공Fab 33

〈표 5〉 해외 주요 공공Fab의 재정, 교육, 지원 프로그램 세부 내용 34

〈표 6〉 IMEC 파트너를 위한 혜택 38

〈표 7〉 IMEC 클린룸 현황 39

〈표 8〉 나노인프라 주요 현황('22년 기준) 51

〈표 9〉 제5기 나노기술종합발전계획의 나노인프라 관련 주요 내용 57

〈표 10〉 국가나노기술지도의 나노인프라 관련 주요 내용 57

〈표 11〉 최근 5년간('17~'21) 지역별 반도체 시설ㆍ장비 투자현황 63

〈표 12〉 싱가포르 공공Fab 방문 인터뷰 세부 일정표 108

그림목차

[그림 1] 반도체ㆍ디스플레이 R&D 지원 기간별 목표 및 세부 중점기술 13

[그림 2] 동 연구의 비전, 접근 관점, 세부 내용 15

[그림 3] 동 연구의 추진체계 20

[그림 4] 해외 나노반도체 인프라(공공Fab) 기관 33

[그림 5] 미국 NNCI 네트워크의 위치 35

[그림 6] 국내 공공Fab 구축현황 43

[그림 7] 국내 공공Fab 이용건수 추이('13~'22) 50

[그림 8] 나노인프라 연계ㆍ협력 체계 강화 및 통합정보시스템 구축 52

[그림 9] 통합정보시스템 지원 프로세스 53

[그림 10] 코디네이터 제도 53

[그림 11] 통합정보시스템 사후관리 및 기대효과 54

[그림 12] 최근 5년간('17~'21) 부처별 반도체 시설ㆍ장비 투자현황 59

[그림 13] 최근 5년간('17~'21) 연구개발단계별 반도체 시설ㆍ장비 투자현황 61

[그림 14] 최근 5년간('17~'21) 연구수행주체별 반도체 시설ㆍ장비 투자현황 62

[그림 15] 최근 5년간('17~'21) 과학기술표준분류(중분류)별 반도체 시설ㆍ장비 투자현황 65

[그림 16] 최근 5년간('17~'21) 반도체 시설ㆍ장비 투자 매칭펀드 현황 66

[그림 17] 최근 5년간('17~'21) 반도체 시설ㆍ장비 투자(총연구비 기준) 비목별 현황 67

[그림 18] 워크숍 1일차 분과 구성 및 참석자 72

[그림 19] 워크숍 1일차 진행 모습 73

[그림 20] 워크숍 2일차 분과 구성 및 참석자 74

[그림 21] 워크숍 2일차 진행 모습 75

[그림 22] 『반도체 미래기술 로드맵('23.4)』 내 45개 핵심기술 연구주제 76

[그림 23] 워크숍 기술 그룹핑 결과(실리콘 1분과) 79

[그림 24] 워크숍 기술 그룹핑 결과(실리콘 2분과) 79

[그림 25] 워크숍 기술 그룹핑 결과(화합물 1분과) 80

[그림 26] 워크숍 기술 그룹핑 결과(화합물 2분과) 80

[그림 27] 워크숍 기술 그룹 간 연계방안 도출 결과(실리콘 1분과) 81

[그림 28] 워크숍 기술 그룹 간 연계방안 도출 결과(실리콘 2분과) 82

[그림 29] 워크숍 기술 그룹 간 연계방안 도출 결과(화합물 1분과) 83

[그림 30] 워크숍 기술 그룹 간 연계방안 도출 결과(화합물 2분과) 84

[그림 31] 워크숍 기술 그룹 및 연계방안 도출 결과(전 분과 종합) 85

[그림 32] IMEC 현황 88

[그림 33] IMEC Campus 전경 89

[그림 34] IMEC 8대 연구개발 분야에 대한 분류 모식도 90

[그림 35] 반도체 공정 미세화를 통한 순효과 91

[그림 36] IMEC 조직 구성도 92

[그림 37] IMEC 연계 박사 학위 수여 대학 및 각각의 특화 분야 93

[그림 38] 산학 연계 거점으로써 IMEC 학위 진행의 이점 묘사 모식도 94

[그림 39] 친환경적인 반도체 생산 공정 개발을 위한 흐름도 95

[그림 40] IMEC Fab에 설치된 차세대 극자외선(EUV) 노광 장비 96

[그림 41] 녹색 수소 대량 생산을 묘사하는 모식도 97

[그림 42] IMEC 창립 이래 연간 재정 추이 98

[그림 43] IMEC 연간 재정 분포 99

[그림 44] IMEC에서의 기술 개발 이점을 묘사한 모식도 100

[그림 45] IMEC 벤처 창업 육성 프로그램인 IMEC.istart의 현황 101

[그림 46] Applied Materials-NUS 협력형 Lab 방문 및 전문가 인터뷰 117

[그림 47] Nanyang NanoFabrication Centre (N2FC) 방문 및 전문가 인터뷰 129

[그림 48] A*STAR 방문 및 전문가 인터뷰 137

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