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[표지] 1
제출문 2
목차 3
제1장 서론 5
제1절 과제의 개요 5
1. 신성장동력 장비산업 현황 5
2. 장비 신뢰성 기술 현황 및 문제점 6
3. 장비신뢰성 향상을 위한 해결방안 및 전략 9
4. 개발 기술의 개요 12
제2장 과제 수행의 내용 및 결과 15
제1절 최종 목표 및 평가 방법 15
제2절 단계 목표 및 평가 방법 17
1. 전 공정 장비의 핵심모듈 B10 수명 증가율(포토공정용 스피너장비) 17
2. 조립검사장비의 시스템 수명 증가율(LED 측정 조립장비) 19
3. 그린수송장비의 시스템 신뢰성 증가(머시닝 센터) 22
4. 표준체계 적용 신뢰도 목표 달성율 24
5. 장비 신뢰성 예측 정확도의 평가 방법 25
6. 신뢰성 향상 표준체계 적용 대상 평가 방법 26
제3절 개발내용 및 개발범위 28
1. 연차별 개발 목표 28
2. 1차년도 개발내용 및 개발 범위 29
3. 2차년도 개발내용 및 개발 범위 30
4. 3차년도 개발내용 및 개발 범위 33
5. 4차년도 개발내용 및 개발 범위 36
6. 5차년도 개발내용 및 개발 범위 41
제4절 수행 결과의 보안등급 50
제5절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리현황 51
제3장 결과 53
제1절 연구개발 최종 결과 53
1. 연구개발 추진 일정 53
2. 추진 실적 및 달성 현황 58
3. 연구개발 추진 실적 60
4. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 420
제2절 연구개발 추진 체계 431
1. 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 431
제3절 고용창출효과 435
제4절 자체보안관리진단표 436
제4장 사업화 계획 447
제1절 사업화 계획 447
1. 생산계획 447
2. 투자계획 449
3. 사업화 전략 450
[뒷표지] 453
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