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[표지]

연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

가. 실리콘 소자 제조공정의 문제와 한계 4

나. 최신 연구 동향 및 해결과제 4

다. 연구 가설 5

(1) 레이저 기반 상향식 제조 플랫폼 제안 5

(2) 천연 실리콘 소자 제안 6

라. 연구 목표 7

마. 연차별 연구 목표 및 내용 7

바. 연구 범위 및 평가 착안점 8

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 9

가. 1차년도 : 레이저 기반 상향식 실리콘 첨가형 원천 제조공정 기술 개발 9

나. 2차년도 : 실리콘 소자 응용을 통한 친환경 상향식 제조공정의 적용 가능성 실증 10

다. 3차년도 : 상향식 제조공정과 천연기판 적용을 통한 Natural Device 실현 12

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 13

1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 13

2) 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임 1] 참조 14

3) 목표 달성 수준 14

4) 목표 미달 시 원인 분석(해당 시) 14

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 15

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 16

6. 자체점검표 17

7. 참고문헌 17

붙임 20

1. 세부 정량적 연구개발성과 20

2-1. 연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 연구실적 24

2-2. 주관연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 논문·특허실적 요약문 25

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