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[표지]

연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

가. 연구개발의 목적 및 필요성 4

나. 연구개발의 가설 및 최종 목표 4

다. 연구범위 및 내용 4

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 4

가. 접촉저항 감소 4

나. 플라즈마 상태연구 5

가) 질소 플라즈마에 관한 질량 및 에너지 분석 5

나) 수소 플라즈마에 관한 질량 및 에너지 분석 7

다) 중수소 플라즈마에 관한 질량 및 에너지 분석 8

다. n형 그래핀 반도체 합성 9

라. p형 FET 성능 향상 10

마. n형 FET 성능 향상 10

바. 그래핀 기반 p-n 다이오드 및 인버터 제작 10

가) p-n 다이오드 형성 10

사. 수소화그래핀 스핀현상 연구 12

가) 수소화 그래핀의 자기저항(Magnetoresistance, MR) 연구 12

나) Non-local 측정법을 통한 수소화 그래핀의 스핀-궤도 결합 연구 12

아. 추가 연구 내용 1 13

가) 그래핀에 n, p형 반도체 특성을 유발하는 요인 인자 분석 13

자. 추가 연구내용 2 13

가) 그래핀의 습윤성을 소수성에서 극친수성까지 체계적으로 변화시키는 방법 개발 13

차. 추가 연구내용 3 13

가) 그래핀에 복잡한 구조의 패턴을 최소한의 공정과 손상으로 구현하는 방법 개발 13

카. 추가 연구내용 4 14

가) Co₃O₄/Pd 초격자에 양성자를 조사하여 계면에서 거대한 오비탈 이방성을 유발 14

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 14

가. 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 14

나. 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임1] 참조 14

다. 목표 달성 수준 15

라. 목표 미달 시 원인 분석(해당 시) 16

가) 목표 미달 원인(사유) 자체분석 내용 16

나) 자체 보완활동 16

다) 연구개발 과정의 성실성 17

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 17

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 18

가. 연구성과의 활용 18

나. 추가 연구의 필요성 18

다. 타 연구에의 응용 18

6. 자체점검표 19

7. 참고문헌 21

붙임 24

1. 세부 정량적 연구개발성과 24

2-1. 연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 연구실적 28

2-2. 주관연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 논문·특허실적 요약문 29

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