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[표지] 1

연구결과 요약문 2

목차 3

1. 연구개발과제의 개요 4

2. 연구수행내용 및 연구결과 4

2.1. 고속이미징 측정을 통한 진동모드별 특성 가시화 및 주파수 분석 4

(1) 마이크로캔틸레버 미소진동 특성 실험 4

(2) 미소진동 가시화를 위한 영상 확대 알고리즘 적용 5

(3) 마이크로캔틸레버 진동 모드 추출 5

2.2. 나노스케일 분자간 작용력에 의한 멀티모드 진동 측정 가시화 7

(1) 실험 및 모드 분해법 7

(2) 멀티모드 진동 측정 및 분석 방법 8

(2) 멀티모드 진동 추출 9

(3) 표면 형상 이미지와 캔틸레버 모드 상관관계 10

2.3. 기능화 팁을 이용한 공진 센서 해석 및 설계 11

(1) 기능화 팁의 모델링 11

(2) 해석 결과 11

(3) 나노 공진 센서 설계 작동 범위 예측 13

3. 연구개발결과의 중요성 14

(1) 고속이미징 측정을 통한 마이크로캔틸레버 진동 모드별 특성 가시화 및 주파수 분석 14

(2) 분자간 작용력에 의한 마이크로캔틸레버 멀티모드 진동 측정 가시화 14

(3) 기능화 팁을 이용한 공진 센서 해석 및 설계 14

4. 참고문헌 14

5. 연구성과 15

〈별첨〉 주관연구기관의 자체평가 의견서[내용없음] 3

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