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[표지] 1

요약문 2

목차 5

1. 연구개발과제의 개요 6

가. 연구개발 기술의 개요 6

나. 연구개발의 필요성 7

다. 본 과제를 통해 해결하고자 하는 핵심 문제 8

라. 문제점의 해결 방법 8

1. 반절연 탄화규소 기판만을 이용한 소자 설계 및 제작 8

2. 탄화규소 소재 특성을 감안한 집적회로 설계 기술 개발 8

3. 탄화규소 기판 표면 특성을 감안한 공정 기술 개발 9

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 10

가. 연구개발 추진 체계 10

나. 기술완성도 제고 계획 11

다. 수행 내용 및 목표 11

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 13

1) 연구수행 결과 13

(1) 정성적 연구개발성과 13

(2) 정량적 연구개발성과 25

(3) 세부 정량적 연구개발성과 27

(4) 계획하지 않은 성과 및 관련 분야 기여사항[내용없음] 32

2) 목표 달성 수준 33

4. 목표 미달 시 원인분석[내용없음] 34

5. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 35

6. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 35

1) 연구개발성과의 관리 계획 35

2) 연구개발성과의 활용 계획 35

별첨자료(참고 문헌 등)[내용없음] 5

[뒷표지] 37

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