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목차
1. 연구개발과제의 개요 7
1) (개발 대상 기술의 개념) 초고밀도 ICT 제품 검사용 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브와 이를 이용한 고생산성의 인라인 검사 장비 7
2) (기술개발의 중요성) 전량 수입에 의존하고 있는 초고밀도 ICT 제품 검사용 아날로그 마이크로포커스 엑스선 튜브의 혁신적 자립을 통한 소재·부품·장비·디바이스 핵심기술 조기 국산화 및 ICT 산업 주도권 장악 8
① 대내외적 상황 8
② 수요기업 요구 8
③ 수입 현황 9
④ 자립 필요성 9
⑤ 기술 수요의 변화 10
2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 10
1) 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 개발 10
가) 나노전자원 기반 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 설계, 단위/모듈 부품 개발 10
나) 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 진공 밀봉 및 안정성 확보 21
다) 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 특성 평가 및 장수명화 29
라) 디지털 마이크로포커스 기술이전 및 사업화 39
2) 멀티 디지털 엑스선 튜브 인라인 검사 장비 개발 46
가) 멀티 디지털 엑스선 튜브 인라인 검사 장비 설계, 단위/모듈 개발 46
나) 멀티 디지털 엑스선 튜브 인라인 검사 장비 제작 및 특성 평가 49
다) 인공지능 검사, 판단 프로세스 개발 53
3) 엑스선 튜브 구동용 고전압 반도체 스위치 부품개발 59
가) 1500 V급 내전압 확보를 위한 Edge Termination 구조 및 다이오드 개발 59
나) 1500 V급 전력 MOSFET 설계, 공정 및 소자 제작 66
다) 1500 V급 MOSFET 소자 특성 고도화 77
4) 고전압 절연 및 엑스선 차폐구조 최적화 및 특성 향상 기술개발 93
가) 고전압 절연 및 엑스선 차폐 소재 설계/후보 소재 평가 93
나) 고전압 절연 및 엑스선 차폐 소재 및 구조 개발 95
다) 엑스선 절연/차폐구조 최적화 98
라) 엑스선 절연/차폐 구조물 특성 향상 및 평가 102
마) 엑스선 절연/차폐 소재 및 특성 예측 105
바) 차폐 소재의 특성 예측 및 차폐 구조 개발 107
3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 111
1) 연구 수행 결과 111
(1) 정성적 연구개발성과 111
(2) 정량적 연구개발성과 118
(3) 세부 정량적 연구개발성과 121
(4) 계획하지 않은 성과 및 관련 분야 기여사항 129
2) 목표 달성 수준 130
4. 목표 미달 또는 미흡한 사항에 대한 원인분석 132
1) 목표 미달 또는 미흡한 연구결과에 대한 원인(사유) 자체분석 내용 132
가) 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 초점크기 132
2) 미달 또는 미흡한 결과물에 대한 보완 활동 132
가) 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 초점크기 132
3) 연구개발 과정의 성실성 135
① 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 135
5. 연구개발성과 및 관련 분야에 대한 기여 정도 136
1) 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 및 인라인 검사 모듈 136
2) 엑스선 튜브 구동용 고전압 반도체 스위치 부품 136
3) 디지털 엑스선 튜브의 절연/차폐 소재 136
6. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 137
1) 향후 5년간 성과활용·확산 활용방안 및 계획(활동계획) 138
2) 주요 성과활용 (기대)성과목표 138
(1) 정성적 목표 138
(2) 정량적 목표 139
3) 성과활용·관리 추진체계 139
4) 기타 139
7. 연구개발성과에 대한 후속연구 및 추가 개발 계획 139
8. 연구개발비 사용실적 140
1) 연구개발비 사용명세서 140
2) 발생이자 사용명세서 140
3) 반납액 명세서 140
붙임 141
1. 사업화대상기술별 기술명세서(해당과제 작성) 141
2. 자체 보안관리 진단표[내용누락;p.142] 147
3. 공개 SW 요약서(공개SW과제만 작성)[내용누락;p.143] 147
[뒷표지] 148
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