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연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

연구개발의 목적 4

무기물 기반 에피택셜 박막의 필요성 4

에피택셜 박막 전사 및 무기물 기반 플렉서블 소자의 국내·외 연구 현황 4

에피택셜 다강체 연구의 국내·외 연구 현황 4

수행하고자 했던 목표 5

연구범위 5

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 6

2.1. 1차년도 6

2.1.1. 희생막 제조-Sr₃Al2₂O₆ 6

2.1.2. 희생막 제조-MoO₃ 7

2.2. 2차년도 8

2.2.1. α-MoO₃ 박막 증착 8

2.2.2. α-MoO₃ 박막 증착 최적화 9

2.3. 3차년도 10

2.3.1. 자성박막 전사 10

2.3.2. 유전박막 전사 11

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 11

1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 11

2) 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임1] 참조 12

3) 목표 달성 수준 12

4) 목표 미달 시 원인 분석(해당 시) 12

4-1) 목표 미달 원인(사유) 자체분석 내용 12

4-2) 자체 보완활동 12

4-3) 연구개발 과정의 성실성 12

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 12

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 13

연구 결과의 활용방안 13

파급 및 기대효과 13

6. 자체점검표 14

7. 참고문헌 14

붙임 16

1. 세부 정량적 연구개발성과 16

2-1. 연구책임자 대표적 연구실적 20

2-2. 주관연구책임자 대표적 논문·특허실적 요약문 21

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