본문 바로가기 주메뉴 바로가기
22대 대한민국 국회 국회정보길라잡이 국회의원검색
로그인 English 국회부산도서관

전체메뉴

HOME

정보검색

소장정보 검색

국회도서관 홈으로 정보검색 소장정보 검색
결과 내 검색 동의어 포함
결과 내 검색 동의어 포함

-

목차보기

[표지]

연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

최종 연구목표 4

멤브레인 게이트 구조의 FET 기반 센서 소자(MGFET) 연구의 필요성 4

3차원 단일 집적 구조가 적용된 고민감도 센서 소자 연구의 필요성 4

1차년도(2021년도) : MGFET 제작을 위한 시뮬레이션 연구 및 저온 단위공정 개발 연구 5

2차년도(2022년도) : MGFET 제작을 위한 시뮬레이션 연구 및 저온 단위공정 개발 연구 5

3차년도(2023년도) : 3차원 단일 집적 구조가 적용된 MGFET 제작 및 어플리케이션 적용 연구 5

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 6

MGFET 멤브레인 시뮬레이션 6

MGFET 소자 공정 설계 6

MGFET 소자 저온 단위공정 개발 연구 7

MGFET 상부 소자 희생층 식각 공정 변수 파악 8

희생층 식각 공정 변수를 반영한 새로운 포토 마스크 제작 8

변수에 따른 희생층 식각 공정의 수율 확인 9

희생층 식각 공정 적용한 MGFET 제작 및 특성 평가 10

하부 소자 위 3차원 단일 집적 구조 멤브레인 게이트 FET 형성 및 하부소자 특성평가 10

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 12

1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 12

2) 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임1] 참조 12

3) 목표 달성 수준 12

4) 목표 미달 시 원인 분석(해당 시) 13

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 13

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 13

6. 자체점검표 14

7. 참고문헌 15

붙임 17

1. 세부 정량적 연구개발성과 17

2-1. 연구책임자 대표적 연구실적 19

2-2. 주관연구책임자 대표적 논문·특허실적 요약문 21

추천서가 (다양한 추천 자료를 만나보세요)

권호기사보기

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 기사목차