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연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 4

1) 수행 과정 4

2) 수행 내용 4

(1) MFIS(금속/강유전체/절연막/반도체) 강유전 트랜지스터(FeFET) 및 강유전 터널 접합(FTJ) 5

(2) a-IGZO MFS(금속/강유전체/반도체) 강유전 박막 트랜지스터(FeTFT) 8

(3) 최종 정량적 목표 11

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 12

1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 12

2) 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임1] 참조 13

3) 목표 달성 수준 13

4) 목표 미달 시 원인 분석(해당 시) 13

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 13

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 14

6. 자체점검표 14

7. 참고문헌 15

붙임 16

1. 세부 정량적 연구개발성과 16

2-1. 연구책임자 대표적 연구실적 17

2-2. 주관연구책임자 대표적 논문·특허실적 요약문 19

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