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Contents

Abstract 7

1. Introduction 10

2. Literature Review 14

2.1. Nanocrystalline Soft Magnetic Thin Films 14

2.2. Microstructure of Deposited Thin Films 19

2.3. Stress of Thin Films 23

2.4. High Frequency Characteristics of Soft Magnetic Thin Films 27

2.5. FeCo Based Alloys 30

2.6. Stripe Domains. 35

2.7. Basic Concept of High Frequency Permeameter 43

3. Experimental Procedures 47

3.1. Fabrication of FeCo Based Magnetic Thin Films 47

3.2. Characterization Methods 51

4. Results and Discussion 53

4.1. Fabrication and Characterization of Fe7Co₃ based Thin films(이미지참조) 53

4.1.1. Fe7Co₃ Thin Films(이미지참조) 53

4.1.2. (Fe7Co₃)₁-xBx Thin Films(이미지참조) 58

4.1.3. (Fe7Co₃)₁-xNx Thin Films(이미지참조) 68

4.1.4. (Fe7Co₃)BN Thin Films(이미지참조) 74

4.2. Theoretical Evaluation of High Frequency Characteristics 85

4.3. Multi-layered Fe7Co₃ Based Alloy Films(이미지참조) 94

4.4. Effect of Oblique Angles 97

5. Conclusions 110

References 113

요지 122

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