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표제지

Abstract

목차

기호 설명 12

제1장 서론 13

제2장 이론적 배경 15

2.1. 1자유도계의 진동 15

2.2. 다자유도계의 진동 16

2.3. 진동의 발생 19

2.3.1. 회전 불균형 19

2.4. 확대 계수 21

2.5. 전달 함수 22

2.5.1. 1자유도 시스템의 전달 함수 22

2.5.2. 2자유도 시스템의 전달 함수 24

제3장 장비의 동특성 분석 31

3.1. 진동 측정 실험 31

3.1.1. 실험장치 및 Setup 31

3.1.2. 진동 측정 실험 결과 33

3.2. 컴퓨터 시뮬레이션 36

3.2.1. 시뮬레이션 모델 설정 36

3.2.2. 시뮬레이션 해석 결과 37

3.2.3. 주파수 분석실험과 유한요소해석 결과비교 38

제4장 개선안 도출 및 적용 효과 39

4.1. 설계 변경 ＃1 39

4.2. 설계 변경 ＃2 41

4.3. 설계 변경 ＃3 42

제5장 결론 46

참고문헌 47

표목차

[표 3.1] Spec. of the test equipments 31

[표 3.2] Natural frequencies and mode shapes of the polishing machine from experiment 35

[표 3.3] The results from the experiment and the computer simulation 38

[표 4.1] Excitation sources 39

[표 4.2] The comparison between the original model and the alteration ＃1 40

[표 4.3] The comparison between the original model and the alteration ＃2 42

[표 4.4] The comparison between the original model and the alteration ＃3 43

[표 4.5] The comparison between the original model and the alteration ＃1+＃2+＃3 44

그림목차

[그림 1.1] Wafer production process 13

[그림 2.1] One degree of freedom system 15

[그림 2.2] Two degree of freedom system 16

[그림 2.3] Typical mode shapes of a cantilever beam 18

[그림 2.4] A dynamic system with rotating unbalance 19

[그림 2.5] Magnification factor 21

[그림 2.6] Transfer function G(jω) 23

[그림 2.7] Two degree of freedom system 24

[그림 2.8] Transfer function Gp1(jω)(이미지참조) 25

[그림 2.9] Transfer function Gp2(jω)(이미지참조) 26

[그림 2.10] Real and imaginary part of the direct transfer function G₁(jω) 28

[그림 2.11] Real and imaginary part of the cross transfer function G₂(jω) 29

[그림 2.12] Typical mode shapes of a cantilever beam 30

[그림 3.1] The setup for the frequency response test 31

[그림 3.2] The locations of the sensors 32

[그림 3.3] Transfer functions of the polishing machine 33

[그림 3.4] 1st mode shape at 21.2㎐ 34

[그림 3.5] 2nd mode shape at 24.7㎐ 34

[그림 3.6] 3rd mode shape at 28㎐ 35

[그림 3.7] The simulation model for the analysis of the polishing machine 36

[그림 3.8] The 1st mod of the polishing machine(22.1㎐) 37

[그림 3.9] The 2nd mod of the polishing machine(25.5㎐) 37

[그림 3.10] The 3rd mod of the polishing machine(29.5㎐) 37

[그림 3.11] The 4th mod of the polishing machine(31.7㎐) 37

[그림 4.1] Design alteration ＃1 40

[그림 4.2] Design alteration ＃2 41

[그림 4.3] Design alteration ＃3 43

[그림 4.4] The comparison between the original model and the alteration ＃1+＃2+＃3 44

[그림 4.5] Magnitudes of vibrations along total 45

수식목차

수식 2-1. (제목없음) 15

수식 2-2. (제목없음) 15

수식 2-3. (제목없음) 16

수식 2-4. (제목없음) 17

수식 2-5. (제목없음) 17

수식 2-6. (제목없음) 17

수식 2-7. (제목없음) 17

수식 2-8. (제목없음) 17

수식 2-9. (제목없음) 20

수식 2-10. (제목없음) 20

수식 2-11. (제목없음) 20

수식 2-12. (제목없음) 20

수식 2-13. (제목없음) 21

수식 2-14. (제목없음) 21

수식 2-15. (제목없음) 22

수식 2-16. (제목없음) 22

수식 2-17. (제목없음) 23

수식 2-18. (제목없음) 23

수식 2-19. (제목없음) 23

수식 2-20. (제목없음) 24

수식 2-21. (제목없음) 24

수식 2-22. (제목없음) 25

수식 2-23. (제목없음) 25

수식 2-24. (제목없음) 25

수식 2-25. (제목없음) 25

수식 2-26. (제목없음) 26

수식 2-27. (제목없음) 26

수식 2-28. (제목없음) 26

수식 2-29. (제목없음) 27

수식 2-30. (제목없음) 27

수식 2-31. (제목없음) 27

수식 2-32. (제목없음) 27

수식 2-33. (제목없음) 27

수식 2-34. (제목없음) 28

수식 2-35. (제목없음) 28

수식 2-36. (제목없음) 28

수식 2-37. (제목없음) 28

수식 2-38. (제목없음) 29

수식 2-39. (제목없음) 29

수식 2-40. (제목없음) 30

수식 2-41. (제목없음) 30

수식 2-42. (제목없음) 30

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