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각분해 전자 에너지 분석기의 제작에 관한 연구 / 권순남 ; 이명호 ; 송호식 ; 박소아 ; 이충만 ; 정광호 1

요약 1

Abstract 1

1. 서론 1

2. 에너지 분석기 설계 2

3. 분석기 분해능 확인 3

4. 결론 및 개선점 4

참고문헌 4

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
진공네트웍 압력분포 해석의 일반화 인상렬 pp.1-8

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각분해 전자 에너지 분석기의 제작에 관한 연구 권순남 外 pp.9-12

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방사광을 이용한 Si 웨이퍼 표면불순물 검출감도 향상 김흥락 外 pp.13-19

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Si(100)표면에 대한 plasma 처리 효과 조재원 ; 이재열 pp.20-25

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Co-Cr박막의 미세구조 변화에 따른 자기적 특성 김경환 ; 손인환 pp.26-30

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Ti underlayer를 갖는 Al-1%Si박막배선에서의 일렉트로마이그레이션 현상에 관한 연구 유희영 ; 김진영 pp.31-35

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이온빔 스퍼터링으로 제작된 다이아몬드성 카본 필름의 전계 방출 특성 안상혁 外 pp.36-42

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이온빔보조증착법으로 합성한 hexagonal BN막의 hexagonal ring의 배열과 결정성 박영준 外 pp.43-50

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수소화된 비정질 실리콘박막의 안정성향상에 관한 연구 이재희 pp.51-54

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이온 산란 몬테칼로 계산에 의한 시료 물질의 스퍼터링 김영삼 外 pp.55-62

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고밀도 플라즈마를 사용한 Cl₂/Poly-Si 건식 식각 이휘건 pp.63-69

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전자빔 증착법으로 증착한 MgO-CaO 박막의 교류형 PDP 보호막 적용을 위한 저전압 특성 연구 조진희 外 pp.70-74

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4MHz I-PVD장치에서 정합회로를 이용한 플라즈마 제어 주정훈 pp.75-82

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참고문헌 (6건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

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번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (Reference title not available) 미소장
2 (Reference title not available) 미소장
3 (Reference title not available) 미소장
4 (Reference title not available) 미소장
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