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Dense and periodic arrays of holes and Si nano dots were fabricated on silicon substrate. The nanopatterned holes were approximately 15~40 nm wide, 40 nm deep and 40~80 nm apart. To obtain nano-size patterns, self-assembling diblock copolymer were used to produce layer of hexagonaly ordered parallel cylinders of polymethylmethacrylate (PMMA) in polystyrene(PS) matrix. The PMMA cylinders were degraded and removed with acetic acid rinse to produce a PS. 100 -thick Au thin film was deposited by using e-beam evaporator. PS template was removed by lift-off process. Arrays of Au nano dots were transferred by using Fluorine-based reactive ion etching(RIE). Au nano dots were removed by sulfuric acid. Si nano dots size and height were 30~70 nm and 10~20 nm respectively.

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
면광원 램프 및 이를 이용한 LCD TV용 백라이트 박종리 ;김청수 ;임성규 pp.1-8

전기도금 공정으로 제조한 Bi-Te 박막의 열전특성 및 미세열전소자 형성용 포토레지스트 공정 이광용 ;오태성 pp.9-15

블록 공중합체 박막을 이용한 실리콘 나노점의 형성 강길범 ;김성일 ;김영환 ;박민철 ;김용태 ;이창우 pp.17-21

무연 솔더바에 대한 신뢰성 평가기준에 관한 연구 최재경 ;박재현 ;박화순 ;안용식 pp.23-33

다양한 유무연 도금 리드프레임에 적용된 Sn-8Zn-3Bi 솔더 접합부의 열충격 신뢰성 평가 한성원 ;조일제 ;신영의 pp.35-40

PCB내 1005 수동소자 내장을 이용한 diplexer 구현 및 특성 평가 박세훈 ;윤제현 ;유찬세 ;김필상 ;강남기 ;박종철 ;이우성 pp.41-47

AuSn 솔더 박막의 스퍼터 증착 최적화와 접합강도에 관한 연구 김동진 ;이택영 ;이홍기 ;김건남 ;이종원 pp.49-57

나노 입자를 이용한 PCB 기반 후막 가스 센서 박성호 ;이충일 ;송순호 ;김용준 pp.59-63

참고문헌 (8건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (1997) Block Copolymer Lithography: Periodic Arrays of ~1011 Holes in 1 Square Centimeter, 미소장
2 (2000) Ultrahigh-Density Nanowire Arrays Grown in Self-Assembled Diblock Copolymer Templates, 미소장
3 (2001) Integration of self-assembled diblock copolymers for semiconductor capacitor fabrication, 미소장
4 (2001) Large area dense nanoscale patterning of arbitrary surfaces, 미소장
5 Perpendicular lamellae induced at the interface of neutral self-assembled monolayers in thin diblock copolymer films 네이버 미소장
6 (2003) Volume Contractions Induced by Crosslinking: A Novel Route to Nanoporous Polymer Films, 미소장
7 (2002) Optimization of Diblock Copolymer Thin Film Self Assembly, 미소장
8 (2007) Tungsten Nanodot Arrays Patterned Using Diblock Copolymer Templates, 미소장

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