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AZO transparent conductive thin films were grown on SiO₂/Si and glass substrates using diethylzinc (DEZ) and trimethylaluminium (TMA) as the precursor and H2 as oxidant by atomic layer deposition. The structural, electrical, and optical properties of the AZO films were characterized as a function of film thickness at a deposition temperature of 150 oC. The AZO films with various thicknesses show well-crystallized phases and smooth surface morphologies. The 190-nm-thick AZO films grown on Corning 1737 glass substrates exhibit rms(root mean square) roughness of 8.8 nm, electrical resistivity of 1.5 x 10-3 Ω-cm, and an optical transmittance of 84 % at 600 nm wavelength. Atomic layer deposition technique for the transparent conductive oxide films is possible to apply for the deposition on flexible polymer substrates.

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
HfO₂/Hf/Si MOS 구조에서 나타나는 HfO₂ 박막의 물성 및 전기적 특성 배군호 ;도승우 ;이재성 ;이용현 pp.101-106

P3HT/POSS 합성 활성층을 이용한 OTFT 소자의 대기안정성 향상 박정환 ;한교용 pp.107-113

Post-CMP Cleaning에서 PVA 브러시 오염이 세정 효율에 미치는 영향 조한철 ;유민종 ;김석주 ;정해도 pp.114-118

기준저항 보상회로를 이용한 비냉각형 볼로미터 검출회로의 설계에 관한 연구 유승우 ;곽상현 ;정은식 ;성만영 pp.119-122

전류모드에 따른 전해도금된 마이크로 비아의 전기적 특성 연구 차두열 ;강민석 ;조세준 ;장성필 pp.123-127

이온주입 공정을 이용한 4H-SiC p-n Diode에 관한 시뮬레이션 연구 이재상 ;방 욱 ;김상철 ;김남균 ;구상모 pp.128-131

BTMSM/O₂ 유량변화에 따른 SiOCH 박막의 저유전 특성 박인철 ;김홍배 pp.132-136

원자층 증착법으로 제조된 Al-doped ZnO 투명전도막의 특성평가 정현준 ;신웅철 ;윤순길 pp.137-141

Class Ⅰ Flextensional 변환기의 주파수 특성 변화 강국진 ;백종후 ;이영진 pp.142-150

전도성 CNT 박막의 온도에 따른 저항 변화도 연구 권민규 ;홍용택 pp.151-157

Zn₂SiO₄:Mn,Ga 형광체의 제조와 발광특성 이지영 ;유윤식 ;유 일 pp.158-162

하이퍼브랜치 PPV를 이용한 유기 EL 소자의 제작 인인식 pp.163-168

대전입자형 디스플레이의 응답특성 이동진 ;김영조 pp.169-173

고온초전도체와 유전체 삽입 공동 공진기를 이용한 발진기의 위상잡음 개선에 관한 연구 이원희 pp.174-177

PL법 환경을 고려한 배전 케이블 종단부의 전기적 사고 연구 김상현 ;최재형 ;최진욱 ;백승명 pp.178-183

아크지속시간 측정을 통한 나선형 Ⅵ 전극의 전극배치에 따른 아크제어 성능비교 김병철 ;박홍태 ;오일성 ;임기조 pp.184-190

참고문헌 (11건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Properties of TCO Fabricated with Annealing Temperature of Al Doped ZnO Film for Solar Cell Application 소장
2 김양도, "신기술 동향 : 원자층증착 기술의 특성 및 전망", 공학교육, 12권, 3호, p. 51, 2005. 미소장
3 Electrical, optical, and structural properties of indium–tin–oxide thin films for organic light-emitting devices 네이버 미소장
4 Transparent conducting aluminum-doped zinc oxide thin films for organic light-emitting devices 네이버 미소장
5 Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering on Si Substrates 소장
6 Structural, electrical, and optical properties of transparent conductive oxide ZnO:Al films prepared by dc magnetron reactive sputtering 네이버 미소장
7 Transparent ZnO:Al films prepared by co-sputtering of ZnO:Al with either a Zn or an Al target 네이버 미소장
8 Highly conductive and transparent aluminum-doped zinc oxide thin films prepared by pulsed laser deposition in oxygen ambient 네이버 미소장
9 Influence of substrate temperature on the orientation and optical properties of sputtered ZnO films 네이버 미소장
10 C. S. Barett and T. B. Massalski, "Structure of Metals", Pergamon, Oxford, p. 205, 1980. 미소장
11 Preparation, properties, and characterization of thin ferroelectric films of lead titanate 네이버 미소장

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