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삼극형(triode type) 전자 방출원을 프린팅된 CNT(Carbon Nanotube) 에미터를 이용하여 제작하였다. 후면노광(Back Exposure)방법으로 CNT 에미터의 높이를 균일하게 하고, 나노 Ag를 첨가하여 CNT와 전극 사이의 접착력 및 전기전도성을 높임으로써 고전압, 고전류 구동 시 신뢰성을 확보하였다. 게이트 높이가 에미터 길이에 비해 비교적 높은 매크로 게이트 구조를 사용하여 누설 전류가 적고 안정적인 구동이 가능하였다. 제작된 삼극형 전자 방출원은 DC 전압이 인가된 상태에서 일정 시간 동안 전계방출 전류를 측정하여 신뢰성을 평가하였다. 가열 배기 에이징(Aging) 과정을 거친 경우 약 12 시간 동안 안정적인 전계방출 특성을 보였다. 이 때 게이트 누설전류는 약 10 % 미만이었다.

The electron emission source of triode type has been fabricated using CNT paste. The nano Ag particle and photosensitive polymers were added to the CNT paste. The surface roughness of the CNT emitter was uniform by the back exposure method. The added nano Ag particle improves the adhesion and the electric conductance with small variation in the CNTs and between electrode. After the aging with heat-exhausting, the reliability of the triode CNT electron source was secured in the high voltage and current operation for 12 hours. At this time, the gate leakage current was about 10 % less than.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
삼극형 CNT 전자원에 대한 신뢰성 평가 강준태 ;김대준 ;정진우 ;김동일 ;김지선 ;이형락 ;송윤호 pp.79-84

O₂/SF₆/CH₄플라즈마를 이용한 플렉시블 Polycarbonate와 PMMA의 건식 식각 주영우 ;박연현 ;노호섭 ;김재권 ;이제원 pp.85-91

AC-PDP에서 저압의 높은 Xe함량 방전기체의 진공자외선 발광특성 손창길 ;김성환 ;정승호 ;한용규 ;엄환섭 ;최은하 pp.92-96

Plasma를 이용한 세정액의 활성화와 시료 표면의 탄성계수 및 강도 변화에 대한 연구 김수인 ;김현우 ;노성철 ;윤덕진 ;장홍준 ;이종림 ;이창우 pp.97-101

RF 플라즈마에 의해 생성된 산소 플라즈마의 발광 스펙트럼 김도엽 ;김민수 ;김태훈 ;김군식 ;최현영 ;조민영 ;전수민 ;박성동 ;김진하 ; pp.102-107

InAs/GaSb 응력초격자를 이용한 적외선검출소자의 제작 및 특성 연구 김준오 ;신현욱 ;최정우 ;이상준 ;김창수 ;노삼규 pp.108-115

실리콘 애벌런치 LED의 설계요소에 대한 분석 이정용 pp.116-126

적외선검출소자를 위한 GaSb 결정 및 MBE로 성장한 GaSb/SI-GaAs 박막의 진성결함에 관한 연구 김준오 ;신현욱 ;최정우 ;이상준 ;노삼규 pp.127-132

분광타원법을 이용한 스퍼터된 Ta₂O₅ 박막의 광학적 특성 김선희 ; 이의현 ; 정인우 ; 현장훈 ; 이성용 ; 강만일 ; 류지욱 pp.133-140

RF Magnetron Sputtering법으로 제작된 (Pb_0.92_La_0.08)(Zr_0.65_Ti_0.35_)O₃박막의 Ar/O₂분압비에 따른 강유전 특성연구 김상지 ;윤지언 ;황동현 ;이인석 ;안정훈 ;손영국 pp.141-146

PDMS 기능성 박막을 이용한 적은 게이트 누설 전류 특성을 가지는 유기트랜지스터의 제작 김성진 pp.147-150

참고문헌 (15건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Ray H. Baughman, Anvar A. Zakhidov, and Walt A. de Heer, Science 297, 787 (2002). 미소장
2 W. A. de Heer and A. Châtelain, D. Ugarte, Science 270, 1179 (1995). 미소장
3 A. G. Rinzler, J. H. Hafner, P. Nikolaev, P. Nordlander, D. T. Colbert, R. E. Smalley, L. Lou, S. G. Kim, and D. Tománek, Science 269, 1550 (1995). 미소장
4 N. S. Lee, D. S. Chung, I. T. Han, J. H. Kang, Y. S. Choi, H. Y. Kim, S. H. Park, Y. W. Jin, W. K. Yi, M. J. Yun, J. E. Jung, C. J. Lee, J. H, You, S. H. Jo, C. G. Lee, and J. M. Kim, Diamond Relat. Mater. 10, 265 (2001). 미소장
5 Y. Saito and S. Uemura, Carbon 38, 169 (2000). 미소장
6 R. Rosen, W. Simendingerand C. Debbault, H. Shimoda, L. Fleming, B. Stoner, and O. Zhou, Appl. Phys. Lett. 76, 1668 (2000). 미소장
7 H. Sugie, M. Tanemura, V. Filip, K. Iwata, K. Takahashi, and F. Okuyama, Appl. Phys. Lett. 78, 2578 (2001). 미소장
8 J. M. Bonard, C. Klinke, K. A. Dean, and B. F. Coll, Phys. Rev. B 67, 115406 (2003). 미소장
9 T. Fujieda, K. Hidaka, M. Hayashibara, T. Kamino, H. Matsumoto, Y. Ose, H. Abe, T. Shimizu, and H. Tokumoto, Appl. Phys. Lett. 85, 5739 (2004). 미소장
10 G. Zhang, J. Chen, S. Z. Deng, J. C. She, and N. S. Xu, Ultramicroscopy, In Press, Corrected Proof, Available online 18 November (2008). 미소장
11 D. J. Kim, Y. H. Song, J. W. Jeong, J. H. Lee, and K. Y. Kang, SID 2006, Digest of Technical Papers, 663 (2006). 미소장
12 Y. M. Wong, W. P. Kang, J. L. Davidson, B. K. Choi, W. Hofmeister, and J. H. Huang, Diamond Relat. Mater. 14, 2069 (2005). 미소장
13 H. Y. Choi, W. S. Chang, H. S. Kim, Y. H. Park, and J. U. Kim, Phys. Lett. A 357, 36 (2006). 미소장
14 J. W. Jeong, Y. H. Song, D. J. Kim, S. H. Lee, J. H. Lee, and K. Y. Kang, IDW 2005, Proceedings of the 12th IDW, 1683 (2005). 미소장
15 C. G. Lou, X. B. Zhang, W. Lei, and C. Qi, Appl. Surf. Sci. 251, 254 (2005). 미소장

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