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DC Magnetron Sputtering 법에 의해 ATO 박막 제조시 스퍼터전력 및 산소유량이 전기적 성질에 미치는 영향 / 이환수 ; 이혜용 ; 윤천 1

초록 1

Abstract 1

1. 서론 1

2. 실험방법 1

2.1. 스퍼터 장치 및 타겟 1

2.2. 박막의 물성측정 2

3. 결과 및 고찰 2

4. 결론 5

참고문헌 5

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
PDP 보호막용 MgO 박막의 저전압 특성에 미치는 알카리토금속산화물 첨가 효과 조진희 ;김락환 ;김정열 ;이유기 ;김희재 ;박종완 pp.441-445

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이온 보조 반응법(Ion-assisted-reaction)을 이용한 Polymethylmethacrylate (PMMA)의 표면개질 정선 ;조준식 ;최성창 ;고석근 pp.446-451

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Nb 첨가량에 따른 Zr-0.8Sn-xNb 3원계 합금의 미세조직 및 부식특성 연구 김현길 ;정용환 ;위명용 pp.452-459

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DLTS 방법에 의한 GaAs/Al_x_Ga_1-x_As/GaAs 이종구조의 물성분석에 관한 연구 이원섭 ;최광수 pp.460-466

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Cure kinetics of DGEBA/MDA system with various contents of NPG Hong-Ki Lee ;Yang-Lim Kim ;Jae-Young Lee ;Sang-Wook Kim pp.467-472

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Azo기를 가지는 액정의 광 이성화에 따른 유기 광전도체의 carrier 수송 특성 이봉 ;성정희 ;문창권 pp.473-477

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SiO₂-B₂O₃-CaO-P₂O₅계에서 조성이 Aerosol Flame Deposition법에 의해 제조된 유리박막의 열처리 온도와 굴절률에 미치는 영향 이정우 ;정형곤 ;정석종 ;이형종 ;문종하 pp.478-483

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졸-겔법에 의해 제작된 적외선 센서용 (Pb,La)TiO₃ 강유전체 박막의 특성 서광종 ;장호정 ;장지근 pp.484-490

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금속 불순물 Ca이 Si 기판의 표면 미세 거칠기에 미치는 영향 최형석 ;전형탁 pp.491-495

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Cl₂/H₂ 플라즈마 조건이 n-GaN의 식각 특성 및 저저항 접촉 형성에 미치는 영향 김현수 ;이용혁 ;이재원 ;김태일 ;염근영 pp.496-502

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혼합기체 sputtering법으로 증착된 Cu 확산방지막으로의 Ti-Si-N박막의 특성연구 박상기 ;이재갑 pp.503-508

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여러 분위기에서의 저온 열처리와 폴리머 기판의 표면 morphology가 비정질 Ta₂O₅ 박막 커패시터의 특성에 미치는 영향 조성동 ;백경욱 pp.509-514

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MBE로 성장시킨 In_0.1_Ga_0.9_As에피층의 Photoreflectance 특성 연구 이동율 ;유재인 ;손정식 ;김기홍 ;이동건 ;이정열 ;배인호 ;손영호 ;황도원 pp.515-519

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압출-소결법으로 제조된 (Bi,Sb)₂(Te,Se)₃계 열전재료의 특성 지철원 ;김일호 ;이동희 pp.520-527

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UHV-ICB방법으로 Si (111) 기판 위에 성장된 Y₂O₃박막의 구조적 특성에 관한 연구 이동훈 ;성태연 ;조만호 ;황정남 pp.528-532

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DC Magnetron Sputtering 법에 의해 ATO 박막 제조시 스퍼터전력 및 산소유량이 전기적 성질에 미치는 영향 이환수 ;이혜용 ;윤천 pp.533-537

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금속 배선 공정에서의 reflow 현상 이승윤 ;박종욱 pp.538-543

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참고문헌 (18건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

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번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
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