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Transparent and conductive AZO films were deposited on the glass by using radio frequency (RF) magnetron sputtering with intense electron radiation, simultaneously. After deposition, the effect of electron radiation energy on the optical and electrical properties of AZO was investigated.

In XRD measurements, the films irradiated with intense electron beam show the larger grain size than that of the films prepared without electron radiation. Sheet resistance was also dependent on the electron radiation energy, while the optical transmittance in visible wavelength region was not affected seriously by electron radiation. X?.ray diffraction, UV-Vis spectrophotometer and four point probes were used to observe the crystallization, optical transmittance and sheet resistance, respectively.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
TWB 판넬의 기계적특성 평가에 관한 연구 천창환 ; 한창석 pp.183-190

Cr-Mo계 금형강의 기계적 성질과 MnS 형상 변화에 미치는 Zr첨가의 영향 김남규 ; 전호성 ; 이오연 pp.191-197

개량형 9Cr-1Mo 강의 열화도 평가를 위한 기계적 성질 및 초음파 특성 분석 현양기 ; 원순호 ; 이상훈 ; 손영호 ; 이재훈 ; 김인배 pp.198-204

전자빔 조사에 의해 표면열처리된 AZO 박막의 물성변화에 관한 연구 신창호 ; 정철우 ; 김유성 ; 채주현 ; 김대일 pp.205-209

열처리 기술의 로드맵. 1 : 서론과 일반 열처리편 Takashi Matsuo [저] ; 김응기 번역·정리 pp.210-213
열처리 실패와 그 대책. 3 吉田勝彦 [저] ; 지태구 번역·정리 pp.214-220

참고문헌 (7건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 H. S. Jang, D. H. Choi, Y. S. Kim and D. Kim : Optic. Comm., 278 (2007) 99. 미소장
2 S. Suzuki, T. Miyata, M. Ishii and T. Minami : Thin Solid Films, 434 (2003) 14-19. 미소장
3 A. K. Kulkarni, Kirk H. Schulz, T. S. Lim and M. Khan : Thin Solid Films, 345 (1999) 273. 미소장
4 J. H. Park, J. H. Chae and D. Kim : J. Alloys. Comp., 478 (2009) 330. 미소장
5 G. Haacke : J. Appl. Phys., 47 (1976) 4086. 미소장
6 C. Jeong, C. Shin, and D. Kim : J. Kor. Soc. Heat Treat., 23 (2010) 17. 미소장
7 J. S. Yoo : Solar Energy, 84 (2010) 730. 미소장

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