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본 연구에서는 다결정 실리콘 태양전지 응용을 위한 다결정 실리콘 씨앗층의 제조와 그의 특성에 관한 연구를

수행하였다. 다결정 실리콘 씨앗층은 glass/Al/Al2O3/a-Si 구조를 이용하여 aluminum-induced layer exchange(ALILE) 공정으

로 제조하였으며, 자연산화막부터 50 nm까지 다양한 크기로 Al2O3 막두께를 변화시켜 알루미늄 유도 결정화 공정에서 산화

막의 두께가 결정화 특성 및 결정결함, 결정크기에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. 연구결과, ALILE 공정으로 생성된

다결정 실리콘막의 결함은 Al2O3 막의 두께가 증가할수록 함께 증가한 반면, 결정화 정도와 결정입자의 크기는 Al2O3막의

두께가 증가할수록 감소하였다. 본 실험에서는 16 nm 두께 이하의 얇은 Al2O3 막의 구조에서 평균 약 10 μm 크기의 subgrain

결정립을 얻었으며, 결정성은 <111> 방향의 우선 배향성 특성을 보였다.

Polycrystalline silicon (pc-Si) films are fabricated and characterized for application to pc-Si thin film solar cells

as a seed layer. The amorphous silicon films are crystallized by the aluminum-induced layer exchange (ALILE) process

with a structure of glass/Al/Al2O3/a-Si using various thicknesses of Al2O3 layers. In order to investigate the effects of the

oxide layer on the crystallization of the amorphous silicon films, such as the crystalline film defects and the crystal grain

size, the Al2O3 layer thickness are varied from native oxide to 50 nm. As the results, the defects of the poly crystalline

films are increased with the increase of Al2O3 layer thickness, whereas the grain size and crystallinity are decreased. In this

experiments, obtained the average pc-Si sub-grain size was about 10 μm at relatively thin Al2O3 layer thickness (≤ 16 nm).

The preferential orientation of pc-Si sub-grain was <111>.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
A-자리 결함 perovskite La_1/3_NbO₃단결정의 유전특성 손정호 pp.249-253

다결정 실리콘 태양전지 제조를 위한 비정질 실리콘의 알루미늄 유도 결정화 공정 및 결정특성 연구 정혜정 ,이종호 ,부성재 pp.254-261

Sol-Gel 법을 이용한 칼슘-알루미네이트계 전자화물 박막의 제조와 특성 김경훈 ,박주석 ,채재홍 ,서원선 ,소성민 ,김태관 ,김형순 ,이병하 pp.262-266

Sol-gel 법메 의하여 제조된 계면활성제 첨가 TiO₂박막 특성 김진호 ,정현호 ,황종희 ,조용석 ,임태영 pp.267-271

2단계 열처리법으로 제조된 석탄바닥재가 주성분인 결정화 유리에 관한 연구 조시내 ,강승구 pp.272-277

Tm₂O₃가 첨가된 MLCC용 BaTiO₃유전체의 전기적 특성 및 열화거동 김도완 ,김진성 ,후이 ,이희수 pp.278-282

Ni 산성염과 Ni 염기성 염의 혼합에 의한 나노 NiO 분말 제조 및 이의 환원 특성 김창삼 ,윤동훈 ,전성운 ,권혁보 ,박상환 pp.283-288

Glycine nitrate process에 의한 SOFC용 Ni-YSZ cermets 제조 이태석 ,고정훈 ,김복희 pp.289-294

Solid-state metathetic synthesis of MWO₄(M=Zn, Co) particles assisted by microwave irradiation Chang Sung Lim pp.295-300

다양한 승온조건으로 제조된 인공골재의 특성 김강덕 ,강승구 pp.301-306

구리를 함유한 탄소소재의 납 및 카드뮴 분석에 관한 연구 최철호 pp.307-313

참고문헌 (8건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

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번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Material considerations for terawatt level deployment of photovoltaics 네이버 미소장
2 A review of thin-film crystalline silicon for solar cell applications. Part 2: Foreign substrates 네이버 미소장
3 Crystal grain nucleation in amorphous silicon 네이버 미소장
4 High-performance thin-silicon-film transistors fabricated by double laser crystallization 네이버 미소장
5 8% Efficient thin‐film polycrystalline‐silicon solar cells based on aluminum‐ induced crystallization and thermal CVD 네이버 미소장
6 6 ] S. Gall, J. Schneider, J. Klein, K. Huebner, M. Muske, B. Rau, E. Conrad, I. Sieber, K. Petter, K. Lips, M.S. Pollach, P. Schattenschneider and W. Fuchs, “Largegrained polycrystalline silicon on glass for thin-film solar cells”, Thin Solid Films 7 (2008) 511. 미소장
7 Efficient solar cells based on fine-grained polysilicon 네이버 미소장
8 8 ] G. Ekanayake, T. Quinn and H.S. Reehal, “Large-grained poly-silicon thin films by aluminium-induced crystallization of microcrystalline silicon”, Jounal of Crystal Growth 293 (2006) 351. 미소장

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