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RF 마그네트론 스퍼터링으로 가스조성비와 기판의 온도를 변화시키면서 TiO2 박막을 성장하였다. XRD, SEM,

AFM 및 분광광도계를 이용하여 박막의 구조와 광학적 특성을 고찰하였다. 박막에는 아나타제 결정성만 관찰되었으며 온

도가 높아질수록 회절 피크의 강도가 증가하였다. 산소농도가 증가함에 따라 기둥구조의 결정성장률이 감소되었으며 굴절

률과 흡수율은 감소하였다. TiO2 박막은 300~400

o

C의 기판온도와 10 %의 O2 분위기에서 성장한 박막의 표면이 매끄럽고

투과특성이 우수한 박막을 얻을 수 있었다.

The TiO2 films were prepared on glass, silicon and quartz substrate at different temperature by radio frequency

reactive magnetron sputtering under different flow ratios of Ar and O2 gases. The films were characterized by X-ray

diffractometer (XRD), scanning electron microscope (SEM), atomic force microscope (AFM) and UV-VIS spectrophotometer.

Only the anatase phase was observed in films and their diffaction peaks increased with temprature of substrate. The size of

crystallites decreased with higher concentration of oxygen. Refractive index and optical absorption of thin films decreased

with higher concentration of oxygen. The thin films which have good transmittance spectra and smooth surface, deposited

in the sputtering ambient with 10 % of O2 at the temperature from 300

o

C to 400

o

C.

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
Characterization of dark core and blue patch in Mong Hsu ruby P. Maneeratanasarn ,P. Wathanakul ,Y.C. Kim ,H.M. Choi ,K.B. Shim pp.55-59

고감도 적외선 이미지 센서 적용을 위한 금속-유전체 복합 박막의 광전자 특성 김예나 ,권순우 ,박승준 ,김우경 ,이한영 ,윤대호 ,양우석 pp.60-64

RF magnetron sputter의 분위기에 따른 TiO₂박막의 특성 박주훈 ,김봉수 ,김병훈 pp.65-69

다공성 (Ca,Mg)_0.15_Zr_0.7_O_1.7_ 세라믹스의 제조 및 특성 김복희 ,김상희 ,최은실 pp.70-74

수열합성법에 의해 합성된 수산화아파타이트 결정의 입자 형상에 관한 EDTA의 영향 최봉석 ,김동현 ,김태완 ,박홍채 ,윤석영 pp.75-81

프리웨팅된 인공경량골재의 흡수 특성 김유택 ,장창섭 ,류유광 pp.82-86

폐도자기를 활용한 도자기 유약 개발 이제일 ,이병하 pp.87-91

저회의 계면 화학적 특성 규명 이기강 pp.92-97

참고문헌 (9건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 1 ] A. Krasilnikova Sytchkova, M.L. Grilli, S. Boycheva and A. Piegari, “Optical, electrical, structural and microstructural characteristics of rf sputtered ITO films developed for art protection coatings”, Appl. Phys. A 89 (2007) 63. 미소장
2 Recent developments in titanium oxide-based photocatalysts 네이버 미소장
3 Effect of oxygen and nitrogen concentration of nitrogen doped TiO x film as photocatalyst prepared by reactive sputtering 네이버 미소장
4 Effects of O2/Ar mixing and annealing on the properties of MgTiO3 films prepared by RF magnetron sputtering 네이버 미소장
5 5 ] C.C. Mardarea, A.I. Mardarea, J.R.F. Fernandes, E. Joanni, S.C.A. Pina, M.H.V. Fernandes and R.N. Correia, “Deposition of bioactive glass-ceramic thin-films by RF magnetron sputtering”, Journal of the European Ceramic Society 23 (2003) 1027. 미소장
6 Magnetron sputter deposition for catalyst synthesis 네이버 미소장
7 Atomic layer deposition of photocatalytic TiO2 thin films from TiF4 and H2O. 네이버 미소장
8 Characterization of titanium–tin composite oxide films and their visible-light photocatalytic properties 네이버 미소장
9 Characterization of SiO2 and TiO2 films prepared using rf magnetron sputtering and their application to anti-reflection coating 네이버 미소장

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