본문 바로가기 주메뉴 바로가기
22대 대한민국 국회 국회정보길라잡이 국회의원검색
회원가입 로그인
HOME

정보검색

소장정보 검색

국회도서관 홈으로 정보검색 소장정보 검색

결과 내 검색

동의어 포함

고급검색

인명/단체명

저자정보 상세정보
인명/단체명을 입력하세요.

키워드

  • 대표어

  • 외국어

-

초록보기

모든 기계 시스템의 변수는 불확실성을 가지고 이는 시스템 성능에 직접적인 영향을 미칠 뿐 아니라 생산성 감소를 야기한다. 특히 MEMS 시스템의 크기는 매우 작으므로 일반적인 기계 시스템에 비해 제조 공차는 상대적으로 커질 수 밖에 없다. 이 제조 공차에 의한 시스템 변수 불확실성은 MEMS 시스템의 성능과 제조 수율에 영향을 미친다. 본 연구에서는 두 가지의 불확실성 해석법을 이용하여

MEMS 가속도계의 시스템 변수 불확실성에 의한 성능의 불확실성 해석을 수행하고 성능분포 및 제조수율을 예측하였다.

All mechanical-system parameters have uncertainty, and this uncertainty directly affects system performances and results in a decrease in the manufacturing outputs. In particular, since the size of a MEMS system is

extremely small, the manufacturing tolerances of a MEMS system are relatively large when compared to the tolerances of a macro-scale system. High manufacturing tolerances result from an increase in the uncertainty of the system parameters, thereby affecting the performances and manufacturing yields. In this paper, the performance uncertainty of a MEMS accelerometer due to system parameter uncertainty is analyzed by using several uncertainty analysis methods. Finally, the performance distributions and manufacturing yields of the MEMS accelerometer are predicted.

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
인터넷 기반의 실시간 협업 설계 시스템 차주헌, 이선호 pp.701-707

하모닉 드라이브의 토크리플 감소를 위한 조인트 토크센서용 스위칭 노치필터 김준홍, 김영렬, 송재복 pp.709-715

Al6061-T6 열처리 잔류응력의 유한요소해석 및 측정 고대훈, 김태정, 임학진, 이정민, 김병민 pp.717-722

다물체동역학기법을 이용한 진공 회로차단기의 캠윤곽 최적설계 장진석, 손정현, 유완석 pp.723-728

TOPSIS를 적용한 CRT 후면유리의 다중목적 형상최적설계 이광기, 한정우, 한승호 pp.729-736

음성-영상 융합 음원 방향 추정 및 사람 찾기 기술 이병기, 최종석, 윤상석, 최문택, 김문상, 김대진 pp.737-743

변형률 구배 소성을 고려한 입자 강화 알루미늄 복합재의 크기 종속 강화 모델링 서영성, 박문식, 송승 pp.745-751

초내열합금 GTD-111의 고온 저주기피로 수명예측 양호영, 김재훈, 유근봉, 이한상, 유영수 pp.753-758

공조용 로터리 압축기 소음저감을 위한 어큐뮬레이터 최적설계 이의윤, 김봉준, 이정배, 성춘모, 이운섭, 이종수 pp.759-766

ELIPM을 이용한 이족보행로봇의 궤적생성 박건우, 최시명, 박종현 pp.767-772

가속도 측정에 있어 고주파 잡음 제거를 위한 기계적 필터의 재료 특성에 관한 실험적 연구 최원영, 유승열, 차기업, 김성수, 노명규 pp.773-778

연마판의 거칠기에 따르는 SiC 세라믹스의 굽힘강도 특성 남기우, 김은선 pp.779-784

다물체 모델링과 근의 특성을 이용한 무릎뼈에 가해지는 압력의 불확실성 추정 연구 남궁홍, 유홍희 pp.785-790

MEMS 가속도계의 성능분포 및 제조수율 예측 김용일, 유홍희 pp.791-798

고장예지를 위한 온도사이클시험에서 칩저항 실장솔더의 고장메커니즘 연구 한창운, 박노창, 홍원식 pp.799-804

압전섬유복합재 외팔보 에너지 회수장치의 출력전압 최대화 김선명, 김철 pp.805-812

연료전지자동차용 초경량 복합재료 탱크의 수소 충전 특성 연구 유계형, 김종열, 이택수, 이중희 pp.813-819

위상최적설계와 형상최적설계를 이용한 크레인의 경량설계 김영철, 홍정기, 장강원 pp.821-826

유한 요소 해석 기법을 이용한 고속 철도 차량의 집전 성능 해석 정성필, 박태원, 김영국, 박찬경, 백진성 pp.827-833

참고문헌 (15건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Micromachined inertial sensors 네이버 미소장
2 A batch-fabricated silicon accelerometer 네이버 미소장
3 A micromechanical capacitive accelerometer with a two-point inertial-mass suspension 네이버 미소장
4 Kuehnel W. and Sherman S., 1994, “A Surface Micromachined Silicon Accelerometer with On-Chip Detection Circuitry,” Sensors and Actuators A, Vol. 45, pp. 7~16. 미소장
5 Modeling the mechanical behavior of bulk-micromachined silicon accelerometers 네이버 미소장
6 Analysis of thin film piezoelectric microaccelerometer using analytical and finite element modeling 네이버 미소장
7 Design and processing experiments of a new miniaturized capacitive triaxial accelerometer 네이버 미소장
8 Development of miniaturized 6-axis accelerometer utilizing piezoresistive sensing elements 네이버 미소장
9 Eckhardt, R., 1987, Stan Ulam, John von Neumann, and the Monte Carlo method, Los Alamos Science Special Issue. 미소장
10 Hasofer, A. M. and N. C. Lind, 1974, “Exact and Invariant Second Moment Code Format,” Journal of the Engineering Mechanics Division, ASCE, Vol. 100, pp. 111~121 미소장
11 Design variable tolerance effects on the natural frequency variance of constrained multi-body systems in dynamic equilibrium 네이버 미소장
12 Design of a vibrating MEMS gyroscope considering design variable uncertainties 소장
13 Rahman, S., Xu, H., 2004, “A Univariate Dimension-Reduction Method for Multi-Dimensional Integration in Stochastic Mechanics,” Probablistic Engineering Mechanics, Vol. 19, pp. 393~408. 미소장
14 Youn, B. D., Xi, Z., Wang, P., 2008, “Eigenvector Dimension Reduction (EDR) Method for Sensitivity-Free Probability Analysis,” Struct Multidisc Optim Vol. 37, pp. 13~28. 미소장
15 Bao, M., 2000, Handbook of Sensors and Actuators Volume 8 Micro Mechanical Transducers: Pressure Sensors, Accelerometers and Gyroscopes. Elsevier. 미소장

추천서가 (다양한 추천 자료를 만나보세요)

권호기사보기

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 기사목차

권호

기사명 원문보기 기사목차
닫기