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n this study, a micro gas sensor for NOx was fabricated using a microelectromechanical system (MEMS)technology and sol-gel process. The membrane and micro heater of the sensor platform were fabricated by a standard MEMS and CMOS technology with minor changes. The sensing electrode and micro heater were designed to have a co-planar structure with a Pt thin film layer. The size of the gas sensor device was about 2 mm × 2 mm. Indium oxide as a sensing material for the NOx gas was synthesized by a sol-gel process. The particle size of synthesized In2O3 was identified as about 50 nm by field emission scanning electron microscopy (FE-SEM). The maximum gas sensitivity of indium oxide, as measured in terms of the relative resistance (Rs=Rgas/Rair), occurred at 300oC with a value of 8.0 at 1 ppm NO2 gas. The response and recovery times were within 60 seconds and 2 min, respectively. The sensing properties of the NO2 gas showed good linear behavior with an increase of gas concentration. This study confirms that a MEMS-based gas sensor is a potential candidate as an automobile gas sensor with many advantages: small dimension, high sensitivity, short response time and low power consumption.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
산화질소 검출용 마이크로 가스센서 제조공정 김정식, 윤진호, 김범준 pp.299-303

Cu, Zn, Sn의 스퍼터링 적층방법과 황화 열처리공정이 Cu₂ZnSnS₄태양전지재료 특성에 미치는 효과 박남규, 비나야쿠마, 김의태 pp.304-308

고상반응법으로 합성한 분말로부터 Gd_1.5_Ba₂Cu₃O_7-y_ 벌크 초전도체의 제조 김용주, 박승연, 유병윤, 박순동, 김찬중 pp.309-315

습식 식각에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 및 전기적 특성변화. 1, 불산 농도에 따른 표면형상 변화 김준우, 강동수, 이현용, 이상현, 고성우, 노재승 pp.316-321

습식 식각에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 및 전기적 특성변화. 2, 표면거칠기와 전기적 특성의 상관관계 김준우, 강동수, 이현용, 이상현, 고성우, 노재승 pp.322-328

단결정 0.7Pb(Mg_⅓_Nb_⅔_)O₃-0.3PbTiO₃의 상전이에 미치는 전장의 영향 이은구 pp.329-333

p-Si 기판에 성장한 BaTiO₃박막의 두께와 구조적 특성과의 관계 민기득, 이종원, 김선진 pp.334-338

TiH₂/camphene 슬러리의 동결건조 및 열처리에 의한 Ti계 다공체의 제조 서한길, 김영도, 석명진, 오승탁 pp.339-343

정수 슬러지를 혼합한 계룡산 철화 분청사기 고강도 소지 개발 임성호, 이병하 pp.344-352

참고문헌 (14건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 N. Taguchi, Japan Patent, no. 45-38200 (1962). 미소장
2 D. E. Williams, Sens. Actuators B: Chem., 57, 1 (1999). 미소장
3 E. Jones, The pellistor catalytic gas detector, in: P. T. Mosley and B. C. Tofield (Eds.), Solid State Gas Sensors, p. 17-24, Adam Hilger, Bristol, UK (1987). 미소장
4 W. Y. Chung and D. D. Lee, Thin Solid Films, 200, 329 (1991). 미소장
5 M. Levy, J. Physique Coll., 6(41), 335 (1980). 미소장
6 T. A. Tones, J. G. Firth and B. Mann, Sens. Actuators B: Chem. 8, 281 (1985). 미소장
7 K. Saji, in Proc. Int. Meet. on Chemical Sensors (Fukuoka, Japan, 1983) p. 171. 미소장
8 P. J. Shaver, Appl. Phys. Lett., 11, 255 (1967). 미소장
9 J. C. Loh, Japan Patent, no. 43-28560 (1967). 미소장
10 J. -H. Yoon and J. -S. Kim, Solid State Ionics, 192(1), 668 (2011). 미소장
11 B. -J. Kim, H. -J. Lee, J. -H. Yoon and J. -S. Kim, Sens. Lett., 10(1-2), 1 (2012). 미소장
12 S. -D. Kim, B. -J. Kim, J. -H. Yoon and J. -S. Kim, J. Kor. Phys. Soc., 51(6), 2069 (2007). 미소장
13 P. Ivanov, E. Llobet, F. Blancoa, A. Vergara, X. Vilanova, I. Gracia, C. Cane and X. Correig, Sens. Actuators B: Chem. 118, 311 (2006). 미소장
14 T. Siciliano, A. Tepore, G. Micocci, A. Serra, D. Manno and E. Filippo, Sens. Actuators B: Chem. 133(1), 321 (2008). 미소장

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