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Furnace is currently the most important doping process using POCl3 in solar cell. However furnace need an expensive equipment cost and it has to purge a poisonous gas. Moreover, furnace typically difficult appling for selective emitters. In this study, we developed a new atmospheric pressure plasma source, in this procedure, we research the atmospheric pressure plasma doping that dopant is phosphoric acid(H3PO4). Metal tube injected Ar gas was inputted 5 kV of a low frequency(scores of kHz) induced inverter, so plasma discharged at metal tube. We used the P type silicon wafer of solar cell. We regulated phosphoric acid(H3P04) concentration on 10% and plasma treatment time is 90 s, 150 s, we experiment that plasma current is 70 mA. We check the doping depth that 287 nm at 90 s and 621 nm at 150 s. We analysis and measurement the doping profile by using SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy). We calculate and grasp the sheet resistance using conventional sheet resistance formula, so there are 240 Ohm/sq at 90 s and 212 Ohm/sq at 150 s. We analysis oxygen and nitrogen profile of concentration compared with furnace to check the doped defect of atmosphere.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
사용자 요구조도 만족 스마트 조명 관리시스템 신대식, 김훈 pp.1-8

5상 5kW 표면부착형 영구자석 동기발전기 운전특성 정형우, 김민회, 송현직, 김동희 pp.9-16

전력수요 변동률을 이용한 연휴에 대한 단기 전력수요예측 김시연, 임종훈, 박정도, 송경빈 pp.17-22

2중 인버터 시스템을 갖는 해상용 풍력발전기의 3상 평형성에 관한 연구 서장호 pp.23-30

방전에너지 제어용 외부 커패시터를 이용한 대기압 마이크로 플라즈마 소스 개발 하창승, 이제현, 손의정, 박차수, 이호준 pp.31-38

단기 전력수요예측 정확도 개선을 위한 대표기온 산정방안 임종훈, 김시연, 박정도, 송경빈 pp.39-43

준평등전계에서의 Dry-Air 노점과 고체절연물 재질 및 형상에 따른 연면방전 특성 연구 민경준, 강병칠, 임동영, 이광식, 박원주 pp.44-49

중성입자빔 가열을 위한 아크 전원 공급장치 설계 및 구현 이희준, 신수철, 이승교, 정용채, 원충연 pp.50-58
열연 마무리 압연기에서 압연속도 학습보상기능개선을 위한 신경망형 공정 모델 홍성철, 이해영 pp.59-67

평판 유도발열체의 거리·주파수 가변특성에 관한 연구 우형균, 신대철 pp.68-74

저압 수용가 설비에서 누전차단기와 서지방호장치 사이의 보호협조 이복희, 김회구, 박희열, 안창환 pp.75-81

누설전류로 인한 전기화재 및 감전사고 예방기법 김동우, 임용배, 이상익, 김재현, 강대철 pp.82-87

스위치드 커패시터를 이용한 동작 주파수에 무관한 정전용량 터치스위치 이무진, 성광수 pp.88-94

새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 인산 도핑 가능성에 관한 연구 조이현, 윤명수, 조태훈, 권기청 pp.95-99

참고문헌 (6건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Solar cell fabrication engineering, Moonundang, J. C. Lee, C, S, Lee, H, Y, Jeon, J. J. Jeon, Korea, pp. 98-110, 2012. 미소장
2 Solar cell Engineering, Green, J. S. Lee, K. H. Kim, Korea, pp. 22-229, 2007. 미소장
3 Mahir Okanovic, Ulrich Jager, Marc Ahrens, Uwe Stute, Andreas Grohe and Ralf Preu. European PV Solar Energy. 24. (21) 2009. 미소장
4 B. S. Tjahjono, Laser Doped Selective Emitter Solar Cells, UNSW, pp. 91-230, 2010. 미소장
5 High Voltage Electric Discharge plasma and Application, Kyobobook, J. I. Kim, M. Y. Lee, Korea, pp.50-150, 2009. 미소장
6 S. W. Jones, Diffusion in Silicon, IC Knowledge LLC, pp. 23-61, 2008 미소장

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