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This study attempted to manufacture a Cu-Ga coating layer via the cold spray process and to investigate the applicability of the layer as a sputtering target material. In addition, changes made to the microstructure and properties of the layer due to annealing heat treatment were evaluated, compared, and analyzed. The results showed that coating layers with a thickness of 520 mm could be manufactured via the cold spray process under optimal conditions. With the Cu-Ga coating layer, the α-Cu and Cu3Ga were found to exist inside the layer regardless of annealing heat treatment. The microstructure that was minute and inhomogeneous prior to thermal treatment changed to homogeneous and dense with a more clear division of phases. A sputtering test was actually conducted using the sputtering target Cu- Ga coating layer (~2 mm thickness) that was additionally manufactured via the cold-spray coating process. Consequently, this test result confirmed that the cold sprayed Cu-Ga coating layer may be applied as a sputtering target material.

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
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열간 등압 성형된 니켈기 초내열 합금 IN 713C 분말 소결체의 특성 평가 김영무, 김은표, 정성택, 이성, 노준웅, 이성호, 권영삼 pp.264-268

평삭공정에서 경면가공을 위한 단결정 및 다결정 다이아몬드 다중공구의 가공성 평가 김창의, 최환진, 전은채, 제태진, 강명창 pp.297-301

공정 계 동결제 슬러리의 동결건조 공정에 의한 Mo 다공체 제조 이규태, 서한길, 석명진, 오승탁 pp.253-257

나노인덴테이션과 유한요소법을 결합한 철 분말의 기계적 물성 취득 정혁재, 이동준, 윤은유, 이언식, 김낙준, 김형섭 pp.280-284

An Investigation of the Stability of Y2O3 and Sintering Behavior of Fe-Based ODS Particles Prepared by High Energy Ball Milling 박은광, 홍성모, 박진주, 이민구, 이창규, 설경원 pp.275-279

A5J32/A5052 이종 알루미늄 합금 겹치기 마찰교반접합부의 인장성질에 미치는 재료배열 및 접합조건의 영향 윤태진, 강명창, 강정윤 pp.302-307

레이저 클래딩법을 이용한 AISI 316L 스테인리스강 내 Y2O3입자의 분산거동 박은광, 홍성모, 박진주, 이민구, 이창규, 설경원, 이양규 pp.269-274

탄소나노튜브 강화 SKD11 냉간금형용 하이브리드 탄소나노소결체 제조 및 특성 평가 정성실, 이대열, 윤국태, 박춘달, 송재선, 문제세 pp.291-296

진동자를 이용한 하이브리드 극초단 펄스 레이저 초정밀가공시스템 개발 및 Cu-Zn합금 응용 최원석, 윤지욱, 조성학, 강명창 pp.308-312

Manufacturing and Macroscopic Properties of Cold Sprayed Cu-Ga Coating Material for Sputtering Target 진영민, 전민광, 박동용, 김형준, 오익현, 이기안 pp.245-252

전도성을 가지는 하이브리드 Ti2AlN 세라믹 복합체의 마이크로 방전드릴링에서 가공성 평가 허재영, 정영근, 강명창, Ahmed Busnaina pp.285-290

참고문헌 (21건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

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번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
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