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레이저 유도 플라즈마 분광 분석 기법을 이용한 Ti 박막의 재료 특성 분석 = Mechanical property analysis of Ti films using laser induced breakdown spectroscopy / 임진택 ; 이우람 ; 김영환 1
[Title] 1
Abstract 3
국문초록 3
I. 서론 3
II. 이론 배경 4
2.1. 박막 기술의 동향 및 전망 4
2.2. Ti 재료 특성 5
2.3. 박막 형성 5
III. 실험 재료 및 방법 5
3.1. DC 마그네트론 스퍼터링 공정 5
3.2. Ti 박막 6
IV. 결과 및 고찰 6
4.1. 스펙트럼 신호 분석 6
4.2. 미세 형상에 따른 재료 특성 8
V. 결론 9
Reference 9
Endnote 11
권호기사
참고문헌 (27건) : 자료제공( 네이버학술정보 )
| 번호 | 참고문헌 | 국회도서관 소장유무 |
|---|---|---|
| 1 | The effect of long-term high temperature exposure on the structure and properties of the titanium alloy Ti 5331S  |
미소장 |
| 2 | Bong-Bu Jung, Hun-Kee Lee, Kyung-Ho Hwang and Hyun-Chul Park, “Observation of Size Effect and Measurement of Mechanical Properties of Ti Thin Film by Bulge Test”, The Korean Society of Mechanical Engineers B, Vol.37(1), 2013. | 미소장 |
| 3 | Bong-Won Kwak, Byung-Su Kim, Jin-Kook Yoon, Kyung-Tae Hong and In-Jin Shon, “Fabrication and Mechanical Properties of Nanostructured TiC-TiAl by the Pulsed Current Activated Sintering”, The Korean Journal of Metals and Materials, Vol. 54(8), 2016. | 미소장 |
| 4 | Microstructural characterizations of magnetron sputtered Ti films on glass substrate |
미소장 |
| 5 | Effect of silicide precipitation on tensile properties and fracture of alloy Ti-6Al-5Zr-0.5Mo-0.25Si |
미소장 |
| 6 | Silicide Precipitation in Alloy Ti-6AI-5Zr-0.5Mo-0.25Si |
미소장 |
| 7 | Chemical Binding States of Ti and O Elements in Anodic Ti Oxide Films | 소장 |
| 8 | Hardness Analysis of Surface Treated Magnesium Alloy using Laser Induced Breakdown Spectroscopy | 소장 |
| 9 | Dong-Hyun Ju, Yong-Ryeol Lee, Young-Hwa Jeong, Hong-So Yang, Sang-Won Park, Doh-Jae Lee, Ho-Jun Song and Yeong-Joon Park, “Effect of Heat Treatment Conditions on Dynamic Anodic Polarization Characteristics and Surface Microstructure of Titanium”, The Korean Society for Dental Materials, Vol. 29(2), 2002. | 미소장 |
| 10 | Evaluation of Elastic Properties for Nanoscale Coating Layers Using IDfrasonic Atomic Force Microscopy | 소장 |
| 11 | Hack Hui Yang and Chong-Sung Park, “The Effects of Anodizing Process Parameters and Oxidation Temperature under Atmospheric Environment on Morphology of the Pure Titanium by Alternating Current Arc-anodizing”, The Korean Institute of Surface Engineering, Vol. 41(1), 2008. | 미소장 |
| 12 | The effects of spark anodizing treatment of pure titanium metals and titanium alloys on corrosion characteristics |
미소장 |
| 13 | Hyun Jun Kwon, Ka Ram Lim, Yong Tae Lee, Dong Geun Lee, Jun Hee Lee and Seung Eon Kim, “Effect of Aging Time and Temperature on Microstructure and Mechanical Properties of Ti-39Nb-6Zr Alloy”, The Korean Journal of Metals and Materials, Vol. 54(12), 2016. | 미소장 |
| 14 | Trend and Prospect of Thin Film Processing Technology | 소장 |
| 15 | Jae Do Kwon, Yong Tak Bae and Sung Jong Choi, “The Evaluation of Mechanical Properties on the Changes of Microstructure for Titanium Alloy (Ti-6Al-4V)”, The Korean Society of Mechanical Engineers A, Vol. 26(4), 2002. | 미소장 |
| 16 | Jeyachandran, Y. L., Karunagaran, B., Narayandass, S. K., Mangalaraj, D., Jenkins, T. E. and Martin, P. J., “Properties of titanium thin films deposited by dc magnetron sputtering”, Materials Science and Engineering: A, Vol. 431(1), 2006. | 미소장 |
| 17 | Jong Do Kim and Ji Sung Kim, “Weldability with Process Parameters During Fiber Laser Welding of a Titanium (Ⅰ) -Effect of Type and Flow Rate of Shielding Gases on Weldability-”, The Korean Society of Mechanical Engineers A, Vol. 40(12), 2016. | 미소장 |
| 18 | Adhesion as an interplay between particle size and surface roughness |
미소장 |
| 19 | On the origin of compressive stress in PVD coatings — an explicative model |
미소장 |
| 20 | Titanium oxide films produced on commercially pure titanium by anodic oxidation with different voltages |
미소장 |
| 21 | Seong-Tak Oh, Kee-Do Woo, Jae-Hwang Kim and Seung-Mi Kwak, “The Effect of Al and V on Microstructure and Transformation of β Phase during Solution Treatments of Cast Ti-6Al-4V Alloy”, The Korean Journal of Metals and Materials, Vol. 55(3), 2017. | 미소장 |
| 22 | Seung Bum Cho, "Characteristic Evaluation of Ti/Ag Metal Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering Depending on Controlled Process Parameters", Unpublished Master, Dissertation, Department of Mechanical Engineering, Seoul National University of Science and Technology Graduate School, 2016. | 미소장 |
| 23 | Sung Han Kim, Seo Han Kim and Pung Keun Song, “Near Infrared Reflecting Properties of TiO2/Ag/TiO2 Multilayers Prepared by DC/RF Magnetron Sputtering”, The Korean Journal of Metals and Materials, Vol. 55(8), 2017. | 미소장 |
| 24 | Structure, internal stresses, adhesion and wear resistance of sputtered alumina coatings |
미소장 |
| 25 | Wooram Lee, “Hardness Measurement and Analysis of Cutting tool using Laser Induced Breakdown Spectroscopy”, Korea Science and Art Forum, Vol. 28(1), 2017. | 미소장 |
| 26 | Effects of anodizing conditions on bond strength of anodically oxidized film to titanium substrate |
미소장 |
| 27 | Effects of oxygen and heat treatment on the mechanical properties of alpha and beta titanium alloys |
미소장 |
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