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The improvement of dispersion stability for the primary polishing slurry in a CMP process is achieved to prevent defects produced by agglomeration of the slurry. The dispersion properties are analyzed according to the physical characteristics of each silica sol sample. Further, the difference in the dispersion stability is confirmed as the surfactant content. The dispersibility results measured by Zeta potential suggest that the dispersion properties depend on the content and size of the abrasive in the primary polishing slurry. Moreover, the optimum ratio for high dispersion stability is confirmed as the addition content of the surfactant. Based on the aforementioned results, the long-term stability of each slurry is analyzed. Turbiscan analysis demonstrates that the agglomeration occurs depending on the increasing amount of surfactant. As a result, we demonstrate that the increased particle size and the decreased content of silica improve the dispersion stability and long-term stability.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
Microwave Absorbance of Polymer Composites Containing SiC Fibers Coated with Ni-Fe Thin Films Tian Liu, Sung-Soo Kim, Woo-cheal Choi, Byungil Yoon p.375-378

실리카 코팅과 에칭에 의한 α-FeOOH의 색상변화 연구 = Study of Color Evolution by Silica Coating and Etching based Morphological Control of α-FeOOH 이나리, 유리, 김유진 p.379-383

나노 분말을 Spark Plasma 소결해 제조한 PbTe의 열전 특성 = Thermoelectric Properties of PbTe Prepared by Spark Plasma Sintering of Nano Powders 전은영, 김호영, 김참, 오경식, 정태주 p.384-389

탄탈륨 산화물의 마그네슘 가스환원에 의한 탄탈륨 금속분말 제조 = Fabrication of Metallic Tantalum Powder by Magnesium-gas Reduction of Tantalum Oxide 이동원 p.390-394

계면활성제가 반도체 실리콘 CMP용 슬러리의 분산안정성에 미치는 영향 = Effect of Surfactant on the Dispersion Stability of Slurry for Semiconductor Silicon CMP 윤혜원, 김도연, 한도형, 김동완, 김우병 p.395-401

탄화 규소가 균일 분산된 규화 몰리브데넘계 복합재의 제조 = Fabrication of Molybdenum Silicide-based Composites with Uniformly Dispersed Silicon Carbide 최원준, 박천웅, 김영도, 변종민 p.402-407

고속 화염 용사 공정으로 제조된 WC계 및 Cr₃C₂계 Cermet 코팅 소재의 미세조직 및 마모 특성 = Microstructural and Wear Properties of WC-based and Cr₃C₂-based Cermet Coating Materials Manufactured with High Velocity Oxygen Fuel Process 강연지, 함기수, 김형준, 윤상훈, 이기안 p.408-414

정전분체코팅 공정으로 제조된 SUS316L 분말 다공체의 기공 특성에 관한 연구 = A Study on Pore Properties of SUS316L Powder Porous Metal Fabricated by Electrostatic Powder Coating Process 이민정, 이유정, 김현주, 박만호, 김병기, 윤중열 p.415-419

코어-쉘 구조 SiO₂@Au 나노입자의 in-situ 합성 = Nanostructure Construction of SiO₂@Au Core-Shell by In-situ Synthesis 편무재, 김도경, 정영근 p.420-425

나노 MgO–CaO–Al₂O₃–SiO₂ glass 첨가제를 가진 AlN의 결거동 및 열전도도 = Sintering Behavior and Thermal Conductivity of Aluminum Nitride Ceramics with MgO-CaO-Al₂O₃-SiO₂ Nano-glass Additive 백수현, 김경민, 류성수 p.426-434

탄소 나노 물질의 형상에 따른 구리/탄소나노물질 하이브리드 필러의 전도성 향상 거동 분석 = Effects of Morphologies of Carbon Nanomaterials on Conductivity of Composites Containing Copper/Carbon Nanomaterial Hybrid Fillers 이연주, 홍성욱, 최현주 p.435-440

참고문헌 (18건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 G. B. Basim and B. M. Moudgil: J. Colloid Interface Sci., 256 (2002) 137. 미소장
2 F. I. and G. Ipate: Lubricants, 5 (2017) 15. 미소장
3 C. W. Liu, B. T. Dai, W. T. Tseng and C. F. Yeh: J. Electrochem. Soc., 143 (1996) 716. 미소장
4 E. S. Choi and S. I. Bae: J. Korean Ceram. Soc., 44(2007) 98. 미소장
5 Y. M. Ahn, J. Y. Yoon, C. W. Baek and Y. K. Kim: Wear, 257 (2004) 785 미소장
6 R. Dylla-Spears, L. Wong, P. E. Miller, M. D. Feit, W. Steele, and T. Suratwala: Colloids Surf., A, 447 (2014)32. 미소장
7 J. M. Neirynck, G. R. Yang, S. P. Murarka and R. J. Gutmann:Thin Solid Films, 290-291 (1996) 447. 미소장
8 D. Ng, S. Kundu, M. Kulkarni and H. Liang: J. Electrochem. Soc., 155 (2008) H64. 미소장
9 B. P. Binks, J. A. Rodrigues and W. J. Frith: Langmuir, 23(2007) 3626. 미소장
10 Z. Zhang, W. Liu and Z. Song: Appl. Opt., 49 (2010)5480. 미소장
11 O. Goncharuk, V. M. Gunko, A. Ugnivenko, K. Terpilowski and E. Skwarek: Nano Res. Appl., 3 (2017) 29. 미소장
12 J. M. Byun, C. W. Park, Y. I. Kim and Y. D. Kim: J. Korean Powder Metall. Inst., 25 (2018) 257. 미소장
13 M. G. De Paola, V. Calabrò and M. De Simone: IOP Conference Series: Mater. Sci. Eng., 251 (2017) 012122. 미소장
14 G. S. Cho, D. H. Lee, D. S. Kim, H. M. Lim, C. Y. Kim and S. H. Lee: Korean Chem. Eng. Res., 51 (2013) 622. 미소장
15 J. H. Lee, H. J. Hwang, K. S. Han, K. T. Hwang and J. H. Kim: Korean J. Mater. Res., 26 (2016) 570. 미소장
16 S. Y. Park, H. K. Jeong, M. S. Kim and K. D. Nam: J. Korean Ind. Eng. Chem., 13 (2002) 558. 미소장
17 J. Liu, X. F. Huang, L. J. Lu, M. X. Li, J. C. Xu and H. P. Deng: J. Hazard. Mater., 190 (2011) 214. 미소장
18 C. Celia, E. Trapasso, D. Cosco, D. Paolino and M. Fresta: Colloids Surf., B, 72 (2009) 155. 미소장

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