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[표지]
제출문
보고서 요약서
요약문(SUMMARY)
Contents
목차
제1장 연구개발과제의 개요 14
제1절 서론 16
제2절 연구개발의 필요성 17
제2장 연구개발수행 내용 및 결과 24
제1절 Ni-63 베타전지 효율증대방안 26
1. 기존 연구 26
2. 제안된 베타전지 구조 29
제2절 반도체공정을 이용한 Ni-63 베타전지 제조 31
1. 평면 contact 타입 31
2. 입체형 contact 구조타입 33
제3절 Ni 전해도금 용액 및 첨가제 35
제3장 연구개발결과의 활용계획 38
제4장 참고문헌 42
서지정보양식(BIBLIOGRAPHIC INFORMATION SHEET) 46
표 1. 베타전지용 대표 동위원소 물질들의 특성 17
그림 1. Ni-63 베타선원의 에너지 분포 16
그림 2. 베타전지의 동작원리 17
그림 3. 다양한 베타전지 ; (좌) City Labs 제품, (가운데) Widetronix 제품, (우) KAERI에... 18
그림 4. Tritium 가스 압력에 따라 평면과 pore 구조의 H-3 베타전지의 유효출력 변화 19
그림 5. 박막 두께에 따른 Ni-63의 방사선 스펙트럼(좌)과 제안된 다층구조의 원자력전지(우) 20
그림 6. 베타전지 구조의 다양한 형태와 그에 따른 출력 밀도 21
그림 7. 기존의 베타전지 구조(상)와 3D 구조의 베타전지(하) 21
그림 8. 국내에서 개발한 베타전지 ; (좌) KAERI의 최초 베타전지, (우) Ni-63과 SiC 기반의... 22
그림 9. 기존 베타전지 구조와 3차원 p-n 반도체를 이용한 베타전지 구... 27
그림 10. (a) 수직구조 베타전지의 p+ 전극, (b) 다열의 pn 전극, (c) pn 간격에 따른 베타전지[이미지참조] 27
그림 11. Porous Si과 Pm-147을 이용한 베타전지의 I-V 곡선(좌), Porous Si 내로 입사되... 28
그림 12. Porous Si과 H-3을 이용한 베타전지의 단면구조(좌), pore 상단의 SEM 이미지(가... 28
그림 13. 기존의 일반적인 베타전지(좌) 및 제안된 3차원 구조의 베타전지(우). 29
그림 14. Ni-63 베타전지 제조방안 1. 32
그림 15. Ni-63 베타전지 제조방안 2. 34
그림 16. Damascene 공법(좌)와 전착 형태(우). 35
그림 17. CPU 반도체의 금속배선 단면(좌측 세 개)와 구리배선 공정장치(우). 35
그림 18. Trench 구조 Ni의 시간에 따른 전착 형상(상), 단면 TEM 사진과 첨가제 구조(하). 36
그림 19. Ni 도금을 위한 다양한 첨가제 : 기존의 leveling agent(상), 새로운 첨가제(하). 36
원문구축 및 2018년 이후 자료는 524호에서 직접 열람하십시요.
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