2.
탄산세륨 전구체를 활용한 반도체 CMP용 세리아 제조 = Preparation and characterization of ceria abrasives for semiconductor CMP from cerium carbonate precursors
장수성, 황소희, 전청민, 박남수, 정재영, 김운중
국내기사 |
융복합지식학회논문지 = (The)society of convergence knowledge transactions. 제13권 제4호 (2025년 12월), p. 109-124 |
융복합지식학회 |
2025. 12. 31 |
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수록정보 : 융복합지식학회논문지 = (The)society of convergence knowledge transactions. 제13권 제4호 (2025년 12월), p. 109-124
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발행사항 : 서울 : 융복합지식학회, 2025. 12. 31