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국내기사 Investigation of electrical conduction in low-dielectric-constant SiOC(-H) thin films deposited by using PECVD R. Navamathavan ; Chang Young Kim ; Heang Seuk Lee ; Jong-Kwan Woo ; Younghun Yu ; Chi Kyu Choi ; Heon Ju Lee

수록정보 : (The)journal of the Korean physical society. vol. 55 no. 1 (2009. 7), pp.227-231
발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2009.07.15

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서울관정기간행물실(524호)

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국내기사 Interface characterization and current conduction in low-dielectric constant SiOC(-H) films with a MIS structure R. Navamathavan, Chang Young Kim, Chi Kyu Choi, Heon Ju Lee

수록정보 : Journal of the Korean physical society. vol. 55 no. 5 Pt.1 (2009. 11), pp.1955-1959
발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2009.11.14

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국내기사 Plasma diagnostics during plasma-enhanced chemical-vapor deposition of low-dielectric-constant SiOC(-H) films from TES/O₂ precursors R. Navamathavan ; An Soo Jung ; Chang Young Kim ; Chi Kyu Choi ; Heon Ju Lee

수록정보 : (The)journal of the Korean physical society. vol. 53 no. 3 (2008. 9), pp.1468-1474
발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2008.09.12

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국내기사 Morphological and Compositional Changes at the SiOC(-H)/p-Si(100) Interface Region Prepared by Using PECVD Heang Seuk Lee, Chang Young Kim, R. Navamathavan, Jong-Kwan Woo, Younghun Yu, 이광만, 최치규

수록정보 : The journal of the Korean physical society. vol. 55 no. 3 Pt. 2 (2009. 9), pp.1087-1092
발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2009.09.15

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국내기사 A study of the properties of the Cu/SiOC-H/p-Si100and Cu/TaN/SiOC-H/p-Si100 interface Chang Young Kim, R. Navamathavan, Heang Seuk Lee, Younghun Yu, Jong-Kwan Woo, Chi Kyu Choi

수록정보 : Journal of the Korean physical society. vol. 55 no. 5 Pt.1 (2009. 11), pp.1960-1964
발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2009.11.14

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서울관정기간행물실(524호)

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국내기사 Bonding configuration and electrical properties of carbon-incorporated low-dielectric-constant SiOC(-H) films with nano-pore structures deposited by using PECVD Chang Young Kim ; An Soo Jung ; R. Navamathavan ; Chi Kyu Choi

수록정보 : (The)journal of the Korean physical society. vol. 53 no. 5 Pt. I (2008. 11), pp.2621-2626
발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2008.11.15

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국내기사 Nano-mechanical analyses of low-dielectric-constant SiOC(-H) thin films deposited by using plasma-enhanced chemical-vapor deposition An Soo Jung ; Chang Young Kim ; R. Navamathavan ; Chi Kyu Choi ; Jong-Kwan Woo ; Kwang-Man Lee

수록정보 : (The)journal of the Korean physical society. vol. 53 no. 5 Pt. I (2008. 11), pp.2512-2517
발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2008.11.15

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